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Si-3次元フォノニック結晶が熱電特性に与える影響

研究課題

研究課題/領域番号 17K05032
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 応用物性
研究機関奈良先端科学技術大学院大学

研究代表者

石河 泰明  奈良先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 准教授 (70581130)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード3次元周期的ナノ構造 / 液体材料 / テンプレート / 液体シリコン / 半導体物性 / 熱工学 / 材料加工・処理
研究成果の概要

熱電素子の変換効率向上には、半導体内にナノ構造を導入し、それによる熱の伝搬を抑制することが重要である。本研究では、ナノ構造を半導体膜内に簡単に形成する手法を提案し、導入したナノ構造が熱の伝搬に与える影響を検討した。
レーザーを利用したナノ構造形成法により、ZnOやSi半導体膜内に3次元周期的ナノ構造の形成に成功した。また、ZnO-3次元周期的ナノ構造体の熱伝導率を計測したところ、従来薄膜の200分の1程度まで熱伝導率が低減できることを見出し、本研究で導入した手法が、熱電素子高効率化に期待できることを示した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

身の回りには利用できていない熱が多量に存在し、かつそれらは廃棄されている。これら廃熱を高効率に再利用する熱電素子を環境にやさしい材料で実現することが求められている。またナノ構造形成には、複雑なプロセスが必要であった。本研究では、環境にやさしいZnOやSi材料を用い、かつ簡単なプロセスで熱電特性の改善が可能なナノ構造形成に成功した。形成したナノ構造は周期的特性を有している。この構造特性が熱電特性の改善に有効であることは理論的には示されていたが、実験的にも本研究で明らかになり、理論的考察の確からしさを支持する結果となった。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2020 2019 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件)

  • [国際共同研究] KAIST(韓国)

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [国際共同研究] KAIST(韓国)

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Removing Process of the Three-Dimension Periodic Nanostructure Fabricated from KMPR Photoresist2019

    • 著者名/発表者名
      Xudongfang Wang, Yasuaki Ishikawa, Shinji Araki, Mutsunori Uenuma, and Yukiharu Uraoka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SD ページ: SDDF08-SDDF08

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab0dea

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書 2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Nanoshell-Based 3D Periodic Structures by Templating Process using Solution-derived ZnO2017

    • 著者名/発表者名
      Araki Shinji、Ishikawa Yasuaki、Wang Xudongfang、Uenuma Mutsunori、Cho Donghwi、Jeon Seokwoo、Uraoka Yukiharu
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 12 号: 1 ページ: 419-419

    • DOI

      10.1186/s11671-017-2186-6

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] ZnO溶液を用いたテンプレートプロセスによる三次元周期的ナノ構造の作製2020

    • 著者名/発表者名
      王 旭東方, 石河 泰明, 上沼 睦典, 浦岡 行治
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Effects of phase shift mask design on three-dimension nanostructure fabrication2020

    • 著者名/発表者名
      Pongsakorn Sihapitak, Yasuaki Ishikawa, Xudongfang Wang, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Removing Process of the Three-Dimension Periodic Nanostructure Fabricated from KMPR Photoresist2018

    • 著者名/発表者名
      Xudongfang Wang, Yasuaki Ishikawa, Mutsunori Uenuma and Yukiharu Uraoka
    • 学会等名
      31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Three-dimension periodic nano-structure fabricated by proximity nano-patterning process2017

    • 著者名/発表者名
      Xudongfang Wang, Yasuaki Ishikawa, Shinji Araki, Yukiraru Uraoka, and Seokwoo Jeon
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子ディスプレイ研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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