| 研究課題/領域番号 |
17K05038
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 (2019)
東北大学 (2017-2018) |
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研究代表者 |
冨田 大輔 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 特任准教授 (30431472)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2017年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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| キーワード | アモノサーマル / 熱力学性質 / 状態方程式 / PVT性質 / 窒化物 |
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| 研究成果の概要 |
腐食性の高い流体の高温高圧条件で測定可能な定容積法によるPVT測定装置を開発し、アモノサーマル法によるGaN単結晶育成が行われている温度、圧力領域におけるアンモニア+ハロゲン化アンモニウム混合系のPVT測定を行った。アンモニア純成分についてもPVT測定を行い、REFPROPの計算値との比較をしたところ、REFPROPの適用範囲外である723～798 Kの範囲においては温度上昇に伴い本研究による実測値との偏差が増大した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
開発した定容積法によるPVT測定装置で測定したPVTデータはアモノサーマル法によるGaN単結晶成長プロセスシミュレーションの発展に大きく貢献し、学術的意義は大きい。アモノサーマル法は窒化ガリウムだけでなく、III族窒化物である窒化アルミニウムや窒化インジウム、さらにはその混晶を作製できる応用範囲の広い技術である。これらの結晶を作製する際にも、超臨界アンモニア+ハロゲン化アンモニウム混合系が溶媒として利用される。豊富な熱物性データに基づく相関式の開発とそれに基づく窒化物単結晶成長プロセスシミュレーションの確立により最先端材料の開発を効率的に推進できると考えられ社会的意義は大きいと言える。
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