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ナノスケールイオン移動に基づく可変容量素子の創製

研究課題

研究課題/領域番号 17K05065
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

鶴岡 徹  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 主席研究員 (20271992)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード可変容量素子 / 電気化学二重層 / リチウム固体電解質 / 電圧制御型発振器 / ナノイオニクス / 電圧制御型発振回路 / 酸化物 / 高分子 / 固体電解質
研究成果の概要

白金(Pt)/リチウムリン酸窒化物(LiPON)/Pt構造におけるLiイオン移動を利用して、可変容量機能を実証した。静電容量は主にLiPONとPtの界面に形成される電気化学二重層(EDL)に由来する。電圧印加により正極のLiイオンが負極に移動し、高電圧では正極のEDL容量が著しく減少する。その結果、LiPON容量素子は、電圧印加とともに容量が減少する。また、この可変容量素子を共振回路に組み込み、電圧制御型発振器(VCO)を構築した。このVCOは入力直流電圧の増加に伴い出力波形の発振周波数が指数関数的に上昇する。この結果はイオン移動型可変容量素子の有用性を示唆する。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は酸化物固体電解質中のイオン(と電子)の移動により、誘電率や実効膜厚の変化などヘテロ界面の特性を劇的に変える「ナノイオニクス」の概念に基づく融合的な研究領域の開拓を狙ったものであり、従来の半導体の電子伝導を利用する「ナノエレクトロニクス」との対比という観点から学術的意義は大きい。その一例としてイオン移動型可変容量素子の実証を行い、当初想定していなかった電圧制御型発振器への組み込みにも成功した。固体電池応用に注目が集まるリチウム固体電解質のエレクトロニクス応用への有用性を示したことは社会的な意義も大きいと考える。

報告書

(6件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2021 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (9件) (うち国際共著 2件、 査読あり 9件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Impact of moisture absorption on the resistive switching characteristics of a polyethylene oxide-based atomic switch2021

    • 著者名/発表者名
      K. Karthik, A. Gubicza, M. Aono, K. Terabe, I. Valov, T. Tsuruoka
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry C

      巻: 9 号: 34 ページ: 11198-11198

    • DOI

      10.1039/d1tc01654g

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] A voltage-controlled oscillator using variable capacitors with a thin dielectric electrolyte film2020

    • 著者名/発表者名
      Tohru Tsuruoka, Jin Su, Kazuya Terabe
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 2 号: 9 ページ: 2788-2797

    • DOI

      10.1021/acsaelm.0c00481

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Changes in the temperature dependence of Ag/Ta2O5/Pt gapless-type atomic switches caused by desorption/adsorption of water molecules from/into the Ta2O5 matrix2020

    • 著者名/発表者名
      Maiko Mikami, Naoya Tanahashi, Tohru Tsuruoka, Tsuyoshi Hasegawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal fo Applied Physics

      巻: 60 号: SC ページ: SCCF05-SCCF05

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abe7d5

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Significant roles of the polymer matrix in the resistive switching behavior of polymer-based atomic switches2019

    • 著者名/発表者名
      Krishnan Karthik、Aono Masakazu、Terabe Kazuya、Tsuruoka Tohru
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 44 ページ: 445301-445301

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab35bf

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic Layer Deposition of a Magnesium Phosphate Solid Electrolyte2019

    • 著者名/発表者名
      Su Jin、Tsuruoka Tohru、Tsujita Takuji、Nishitani Yu、Nakura Kensuke、Terabe Kazuya
    • 雑誌名

      Chemistry of Materials

      巻: 31 号: 15 ページ: 5566-5575

    • DOI

      10.1021/acs.chemmater.9b01299

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of moisture and redox reactions in VCM and ECM resistive switching memories2018

    • 著者名/発表者名
      I. Valov and T. Tsuruoka
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 51 ページ: 413001-413001

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Thermally stable resistive switching of a polyvinyl alcohol-based atomic switch2018

    • 著者名/発表者名
      K. Krishnan, M. Aono, and T. Tsuruoka
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry C

      巻: 6 号: 24 ページ: 6460-6464

    • DOI

      10.1039/c8tc01809j

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The rate limiting process and its activation energy in the forming process of a Cu/Ta2O5/Pt gapless-type atomic switch2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shigeoka, T. Tsuruoka, T. Hasegawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal fo Applied Physics

      巻: 57 号: 3 ページ: 035202-035202

    • DOI

      10.7567/jjap.57.035202

    • NAID

      210000148716

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Operating mechanism and resistive switching characteristics of two- and three-terminal atomic switches using a thin metal oxide layer2017

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuruoka, T. Hasegwa, K. Terabe, M. Aono
    • 雑誌名

      Journal of Electroceramics

      巻: 39 号: 1-4 ページ: 143-156

    • DOI

      10.1007/s10832-016-0063-9

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 原子層堆積法によるリン酸マグネシウム固体電解質膜の作製2019

    • 著者名/発表者名
      鶴岡 徹, 蘇 進, 辻田卓司, 西谷雄, 濱村朋史, 稲富友, 名倉健祐, 寺部 一弥
    • 学会等名
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of a Magnesium Phosphate Electrolyte Film using Atomic Layer Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      SU, Jin, TSURUOKA, Tohru, Takuji Tsujita, Yu Nishitani, Tomofumi Hamamura, Yuu Inatomi, Kensuke Nakura, Kazuya Terabe
    • 学会等名
      32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノスケールのイオン伝導と酸化還元反応を利用した原子スイッチの開発2019

    • 著者名/発表者名
      鶴岡徹
    • 学会等名
      群馬先端材料シンポジウム2019
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 原子スイッチ型ReRAMの動作機構とシナプス機能2018

    • 著者名/発表者名
      鶴岡徹,寺部一弥
    • 学会等名
      電気化学会第85回大会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Quantized conductance and synaptic functions realized by oxide nanoionics devices2017

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuruoka
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部セミナー
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [産業財産権] 可変容量素子、共振器および可変容量素子の使用方法2019

    • 発明者名
      鶴岡徹、寺部一弥
    • 権利者名
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2023-01-30  

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