| 研究課題/領域番号 |
17K05119
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
二宮 啓 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (10402976)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2018年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2017年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | イオンビーム / 真空エレクトロスプレー / 二次イオン質量分析 / 帯電液滴 / 二次イオン収率 / エレクトロスプレー液滴イオンビーム / スパッタ率 / 有効収率 / 試料電圧パルス化 / イメージング |
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| 研究成果の概要 |
真空エレクトロスプレー液滴イオンビームを一次イオンとして用いる二次イオン質量分析の性能を大幅に向上させることを目的として、1つの帯電液滴がいくつの二次イオンを発生させることができるか、また対象試料1分子が消費されたときにいくつの二次イオンが生成されるかを実験的に精密に評価することができた。またこれまでは真空エレクトロスプレー液滴イオンビームに含まれる帯電液滴の大きさや電荷の分布など基本的な情報がほとんどなかったが、本研究においてそれらの情報を得ることができた。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
二次イオン質量分析(SIMS)の対象は、従来無機試料であったが、クラスタービームが一次イオンとして利用できるようになってからは有機試料の分析にも応用される。しかしながら、これまでに実用化されたクラスタービームでは有機試料を対象とするときのSIMSの感度が低いことが問題であった。本研究では真空エレクトロスプレー液滴イオン(V-EDI)ビームを用いることでSIMSの感度を2桁以上向上できることが示された。V-EDIビーム銃を市販のSIMS装置で利用できるようになれば、様々な産業分野での応用が期待される。
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