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電場下の金属/固体界面における金属原子のイオン化と拡散の理論

研究課題

研究課題/領域番号 17K05488
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 物性Ⅰ
研究機関千葉大学

研究代表者

中山 隆史  千葉大学, 大学院理学研究院, 教授 (70189075)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2017年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード金属/固体界面 / 電場環境下 / イオン化 / 侵入拡散 / 金属イオン / 点欠陥 / クラスター / 第一原理計算 / 金属電極 / 絶縁・半導体 / 有機固体 / 原子空孔 / ドーパント / ワイドギャップ半導体 / 二酸化ケイ素 / ギャップ状態 / イオン価数 / 表面・界面物性 / 物性理論 / 計算物理 / 半導体物性 / イオン拡散
研究成果の概要

本研究では、量子力学に基づく大型数値計算を用いて、電場下の様々な金属/固体界面における金属原子や点欠陥のイオン化および侵入拡散の仕組みを調べた。その結果、(1)金属原子の電子状態は界面近傍で金属誘起ギャップ状態(MIGS)と混成するため、金属原子は界面からMIGSの侵入長だけ離れた位置でイオン化すること、(2)金属原子と金属電極間では電子移動が起き、イオン価数は界面からの距離と共に変化し、侵入の拡散障壁は電場強度にほぼ線形に減少すること、(3)これら侵入拡散現象は、固体の誘電率等の物質パラメータと電場強度を変数とした普遍的なモデル表式(物理描像)で記述されること等を明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

金属/固体界面において金属層に電圧をかけると金属原子がイオン化して固体内に侵入・拡散していくことが知られているが、どのような仕組みでイオン化が起こるか、どのような電場強度で拡散が始まるかは明らかでなかった。本研究では、量子力学に基づく数値計算を行い、これらの疑問点を世界で初めて解明した。特に、界面からの距離に依存したイオン価数の変化や拡散のエネルギーバリアを記述する普遍的な表式を導出し、界面における「イオン化と拡散の理論」を構築したことは学術的に大きな意義を持つ。本結果は、近年のナノデバイスの劣化を理解し、新しい電子デバイス開発に多くの知見を与えると期待される。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (40件)

すべて 2019 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (12件) (うち国際共著 1件、 査読あり 12件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (23件) (うち国際学会 17件、 招待講演 3件) 備考 (2件)

  • [国際共同研究] Inst.Phys., Azerbaijan Nat. Sci. Academy(アゼルバイジャン)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [国際共同研究] Inst.Phys., Azerbaijan Nat. Sci. Academy(アゼルバイジャン)

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [国際共同研究] Inst.Phys., Azerbaijan Nat. Sci. Academy(アゼルバイジャン)

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Effect of electric field on formation energies of point defects around metal/SiC and metal/GaN interfaces: First-principles study2019

    • 著者名/発表者名
      R. Nagasawa, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: 9 ページ: 091006-091006

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3839

    • NAID

      210000156878

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Origin of Fermi-level depinning at TiN/Ge(001) interfaces: first-principles study2019

    • 著者名/発表者名
      T. Nishimoto, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: 6 ページ: 061007-061007

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab1c6d

    • NAID

      210000155856

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Resonance-enhanced tunneling current through Si-p/n junction with additional dopants; theoretical study2019

    • 著者名/発表者名
      S. Cho, S. Iizuka, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: 6 ページ: 061004-061004

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab1717

    • NAID

      210000155673

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical studies on the switching mechanism of VMCO memories2019

    • 著者名/発表者名
      T. Nakanishi, K. Chokawa, M. Araidai, T. Nakayama, K. Shiraishi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 215 ページ: 110997-110997

    • DOI

      10.1016/j.mee.2019.110997

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal-atom penetration and diffusion in organic solids: difference between σ- and π- orbital molecular systems2019

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 印刷中

    • NAID

      210000156689

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Origin of Fermi-level depinning at metal/Ge interfaces: first-principles study on effect of segregation2019

    • 著者名/発表者名
      T. Nishimoto, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 印刷中

    • NAID

      210000156461

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Physics of Fermi-Level "Unpinning" at Metal/Ge Interfaces; First-Principles View2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, T. Nishimoto
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 86 号: 7 ページ: 291-298

    • DOI

      10.1149/08607.0291ecst

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural and Charging Stability of Metal Nanodot Memory in SiO2; First-Principles Study2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, S. Yamazaki, Y. Shiraishi
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 86 号: 2 ページ: 69-75

    • DOI

      10.1149/08602.0069ecst

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Acceleration of metal-atom diffusion under electric field at metal/insulator interfaces: First principles study2018

    • 著者名/発表者名
      R.Nagasawa, Y.Asayama, T.Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57 号: 4S ページ: 04FB05-04FB05

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fb05

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] First-principles study of giant thermoelectric power in incommensurate TlInSe22018

    • 著者名/発表者名
      Ishikawa M.、Nakayama T.、Wakita K.、Shim Y. G.、Mamedov N.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 123 号: 16

    • DOI

      10.1063/1.5011337

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Metal-atom Ionization and Diffusion under Electric Field around Metal/insulator Interfaces; First-principles View (invited paper)2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, Y. Asayama, R. Nagasawa
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 80 号: 1 ページ: 285-293

    • DOI

      10.1149/08001.0285ecst

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Material engineering for silicon tunnel field-effect transistors: isoelectronic trap technology2017

    • 著者名/発表者名
      T. Mori, S. Iizuka, T. Nakayama
    • 雑誌名

      MRS communications

      巻: 7 号: 3 ページ: 541-550

    • DOI

      10.1557/mrc.2017.63

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Physics of Gap-state Control at Metal/Semiconductor Junctions; Schottky Barrier and Interface Defects2019

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama
    • 学会等名
      19th International Workshop on Junction Technology (IWJT 2019), Kyoto Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Scattered distribution of oxygen vacancies in anatase TiO2 film; first-principles study on VMCO-memory characteristics2019

    • 著者名/発表者名
      T. Oikawa, R. Nagasawa, M. Araidai, K. Shiraishi, T. Nakayama
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and materials (SSDM 2019), Nagoya Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Generation of one-dimensional metal-atom nano-rods in insulating SAM films: first-principles study2019

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, T. Nakayama
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and materials (SSDM 2019), Nagoya Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] New types of resonant tunneling currents at Si-p/n junctions; Theoretical design2019

    • 著者名/発表者名
      S. Cho, T. Nakayama
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and materials (SSDM 2019), Nagoya Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] First-principles study of defect properties in radiation-detectable TlBr2019

    • 著者名/発表者名
      M.Ishikawa, T.Nakayama, K.Wakita, Y.G.Shim, T.Onodera, N.Mamedov
    • 学会等名
      The 46th International Symposium on Compound Semiconductor, Nara Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Why Fermi-level Pinning is broken at some Metal/Ge Interfaces: based on first-principles study of TiN/Ge(001)2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, T. Nishimoto
    • 学会等名
      9th Int. SiGe Technol. and Device Meeting & 11th Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Hetero-structures
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Resonance-enhanced Tunneling Current through Doped Si-p/n Junction; Theoretical Study2018

    • 著者名/発表者名
      S. Cho, S. Iizuka, T. Nakayama
    • 学会等名
      2018 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Origin of Fermi-level depinning at metal/Ge interfaces: first-principles study2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nishimoto, T. Nakayama
    • 学会等名
      14th Int. Conf. Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Metal-atom Penetration into Organic Solids: Difference between σ- and π-orbital Molecular Systems2018

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, T. Nakayama
    • 学会等名
      14th Int. Conf. Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electronic and optical properties of 2-dimensional incommensurate Tl-based semiconductors: First-principles study on TlInS2 ,TlGaSe2 and TlGaS22018

    • 著者名/発表者名
      M. Ishikawa, T. Nakayama, K. Wakita, Y. G. Shim, N. Mamedov
    • 学会等名
      34th Int. Conf. Physics of Semiconductors (ICPS2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Physics of Fermi-Level "Unpinning" at Metal/Ge Interfaces; First-Principles View2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, T. Nishimoto
    • 学会等名
      Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (AiMES 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural and Charging Stability of Metal Nanodot Memory in SiO2; First-Principles Study2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, S. Yamazaki, Y. Shiraishi
    • 学会等名
      Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (AiMES 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Metal-atom distribution and its effects on carrier transport in organic semiconductors2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Tomita, K. Kawabata, T. Nakayama
    • 学会等名
      19th Int. Symp.Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Metal-atom distribution and its effects on carrier transport in organic semiconductors2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Tomita, K. Kawabata, T. Nakayama
    • 学会等名
      UK Semiconductors 2018
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 金属/半導体・絶縁体界面のショットキーバリアと安定性:gap状態の役割2018

    • 著者名/発表者名
      中山隆史
    • 学会等名
      日本学術振興会第154委員会 第107回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] TiN/Ge界面のショットキーバリアに関する第一原理計算による検討Ⅱ -乱れた界面のショットキーバリア-2018

    • 著者名/発表者名
      西本俊輝、中山隆史
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属原子の有機分子膜への侵入過程に関する理論的検討-ペンタセンの場合2018

    • 著者名/発表者名
      渡邊駿汰,中山隆史
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属/SiO2界面における電場下での金属原子の拡散2018

    • 著者名/発表者名
      長澤立樹、浅山佳大、中山隆史
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Metal-atom Ionization and Diffusion under Electric Field around Metal/insulator Interfaces; First-principles View2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, Y. Asayama, R. Nagasawa
    • 学会等名
      232nd ECS MEETING
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Acceleration of metal-atom diffusion under electric field at metal/insulator interfaces: First principles study2017

    • 著者名/発表者名
      R.Nagasawa, Y.Asayama, T.Nakayama
    • 学会等名
      2017 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] First-principles study of optical properties in incommensurate TlInS2 ,TlGaSe2 and TlGaS22017

    • 著者名/発表者名
      M.Ishikawa, T.Nakayama, K.Wakita, Y.G.Shim, N.Mamedov
    • 学会等名
      29th Int. Conf. Defects in Semiconductors (ICDS29)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] TiN/Ge界面のショットキーバリアに関する第一原理計算による検討2017

    • 著者名/発表者名
      西本俊輝、中山隆史
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属原子の有機SAM膜への侵入過程に関する理論的検討2017

    • 著者名/発表者名
      渡邊駿汰,中山隆史
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [備考] 千葉大学理学研究院中山研究室ホームページ

    • URL

      http://phys8.s.chiba-u.ac.jp/nakayamal/index.html

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書 2018 実施状況報告書
  • [備考] 千葉大学理学研究院中山研究室ホームページ

    • URL

      http://phys8.s.chiba-u.ac.jp/nakayamal/index/html

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2022-02-22  

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