| 研究課題/領域番号 |
17K06013
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機工業材料
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
村上 達也 北陸先端科学技術大学院大学, ナノマテリアルテクノロジーセンター, 技術専門職員 (90397232)
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| 研究分担者 |
増田 貴史 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 講師 (70643138)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2019年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2018年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2017年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 溶液プロセス / SiC / 液体プロセス / シリコンカーバイド / 溶液 / 液体SiC / H 転移・離脱反応 |
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| 研究成果の概要 |
液体SiCは、原料であるCyclopentasilane (CPS: Si5H10) に不飽和炭素化合物を混合し、光や熱を照射することで得る事が出来る。本研究を通し、CPSから生成する反応中間体 (活性種) に関する情報を初めて得る事ができた。具体的には、CPS光反応は室温の熱で発生した高次シランが反応の起点になる、続いて、高次シランの光吸収によりケイ素活性種（silylene）が発生している、最後に、このsilyleneが不飽和炭化水素化合物の付加反応を誘起している事を見出した。今後は反応中間体構造の同定と「液体SiC→固体SiC」変換過程の構造・状態変化の解明に取り組む。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
液体SiC材料は熱や光で脱水素化する事で半導体SiC となる新物質である。このSiC は化学的安定性、高い機械強度、不純物ドーピングによるp/n 型特性の出現等、優れた特性を兼ね備えている。液体SiC分子内では、単独のSi とC 物質では見られないH 転移・離脱反応が発現する。本研究の目的は「液体SiC」を舞台とし、脱水素化過程に伴う「液体SiC→固体SiC 相転移機構」を解明することである。そしてH の働きの理解の元でSiC の物性を引き出し、低摩耗性の機械保護膜や高耐熱SiC-TFT への応用等、過酷な環境下で動作可能な素子の開発を追及する。
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