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電空ハイブリッド超精密鉛直位置決めステージの高機能化

研究課題

研究課題/領域番号 17K06098
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関福岡工業大学

研究代表者

加藤 友規  福岡工業大学, 工学部, 准教授 (20390429)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2017年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワード超精密位置決め / 電空ハイブリッド / バランスシリンダ / 圧力制御 / 力制御 / 外乱オブザーバ / 工具損耗推定 / エアパワー / 機械要素 / マイクロ・ナノデバイス / 機械力学・制御 / 知能機械 / 機械工作・生産工学
研究成果の概要

本研究課題においては、超精密工作機械に使用される電空ハイブリッド方式の超精密鉛直位置決めステージ(電空ハイブリッド鉛直ステージ)の高機能化を目的とし、次の成果を得た.
・工作機械のツールチェンジ時のバランスリシンダ内の圧力をフィードフォワード制御により補償する方法について、消費エネルギーの観点から 検証実験を行い、リニアモータの出力を有効に軽減できていることを確認した。
・電空ハイブリッド鉛直ステージのバランスシリンダ内の圧力を制御することによる力制御の方法を提案し、鉛直方向の切削力は外乱オブザーバにより推定できることや、 ステージの定位性について確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究では、空気圧サーボの制御技術を応用することにより、超精密工作機械に使用される電空ハイブリッド方式の超精密鉛直位置決めステージの高機能化を目的とした。
工作機械のツールチェンジ時のバランスリシンダ内の圧力を適切に制御する方法を提案して、効果を実証した。また、ステージの力制御と力推定に関する方法を提案し、特性を評価した。
超精密生産加工の高効率化・高精度化に貢献するひとつの基礎技術を確立したという所に、学術的・社会的な意義がある。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (31件)

すべて 2019 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 10件、 オープンアクセス 5件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 10件) 備考 (2件)

  • [国際共同研究] キングモンクット工科大学ラカバン校(タイ)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [国際共同研究] ノッティンガム大学(英国)

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [国際共同研究] キングモンクット工科大学ラカバン校(タイ)

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Step Response Characteristics of Anisotropic Gel Actuator Hybridized with Nanosheet Liquid Crystal2019

    • 著者名/発表者名
      Kino Hitoshi、Fukuoka Institute of Technology 3-30-1 Wajiro-higashi, Higashi-ku, Fukuoka-shi, Fukuoka 811-0295, Japan、Kiyota Akihiro、Inadomi Takumi、Kato Tomonori、Fujioka Hiroyuki、Miyamoto Nobuyoshi
    • 雑誌名

      Journal of Robotics and Mechatronics

      巻: 31 号: 5 ページ: 647-656

    • DOI

      10.20965/jrm.2019.p0647

    • NAID

      130007731545

    • ISSN
      0915-3942, 1883-8049
    • 年月日
      2019-10-20
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧のフィードフォワード制御2019

    • 著者名/発表者名
      築山 義信、加藤 友規、中垣 瞬、徐 有衛
    • 雑誌名

      日本フルードパワーシステム学会論文集

      巻: 50 号: 1 ページ: 18-24

    • DOI

      10.5739/jfps.50.18

    • NAID

      130007644375

    • ISSN
      1349-7022, 1880-3121
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Basic Study of Heating Response Measurement for Nanosheet Particle/Polymer Composite Gel Actuator with Anisotropic Contraction2019

    • 著者名/発表者名
      Kino Hitoshi、Kiyota Akihiro、Miyamoto Nobuyoshi、Inadomi Takumi、Kato Tomonori、Fujioka Hiroyuki
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 804 ページ: 17-21

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.804.17

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Application of Diamond Fly Cutting to Improve Form Accuracy by In-Process Measurement and Control for Ordinary Milling Machines2019

    • 著者名/発表者名
      Wang Jin Hui、Yazawa Takanori、Gu Guo Chen、Kato Tomonori、Otsubo Tatsuki
    • 雑誌名

      Applied Mechanics and Materials

      巻: 894 ページ: 21-28

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amm.894.21

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧のフィードフォワード制御2019

    • 著者名/発表者名
      築山義信、加藤友規、中垣瞬、徐夕衛
    • 雑誌名

      日本フルードパワーシステム学会論文集

      巻: 印刷中

    • NAID

      130007644375

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Basic Study of Heating Response Measurement for Nanosheet-particles/Polymer Composite Gel Actuator with Anisotropic Contraction2019

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi KINO、Akihiro KIYOTA、Nobuyoshi MIYAMOTO、Takumi INADOMI、Tomonori KATO、Hiroyuki FUJIOKA
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] エアタービンを用いた空気圧式ボール発射装置の高機能化と性能試験2018

    • 著者名/発表者名
      加藤 友規、西田 一矢、後藤 大樹、三村 政司
    • 雑誌名

      設計工学

      巻: 53 号: 7 ページ: 527-540

    • DOI

      10.14953/jjsde.2017.2765

    • NAID

      130007402956

    • ISSN
      0919-2948, 2188-9023
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Improvement of dynamic characteristics of manipulator driven by a gas-liquid phase-change actuator using an antagonistic drive2018

    • 著者名/発表者名
      Kato Tomonori、Higashijima Kenya、Kuradome Yusuke、Noguchi Kohei、Ono Manabu
    • 雑誌名

      MATEC Web of Conferences

      巻: 192 ページ: 02015-02015

    • DOI

      10.1051/matecconf/201819202015

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Tool wear estimation method in milling process using air turbine spindle rotation-control system equipped with disturbance force observer2018

    • 著者名/発表者名
      Kato Tomonori、Otsubo Tatsuki、Shimazaki Kohei、Matsuguchi Shotaro、Okamoto Yusuke、Yazawa Takanori
    • 雑誌名

      International Journal of Hydromechatronics

      巻: 1 号: 4 ページ: 384-402

    • DOI

      10.1504/ijhm.2018.097288

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on Tool Wear In-Process Estimation for Ball End Mill Using Rotation Control Air Turbine Spindle2017

    • 著者名/発表者名
      Yusuke OKAMOTO, Takanori YAZAWA, Tomonori KATO, Kazuya NISHIDA, Shinya MORIYAMA, Yukio MAEDA, Tatsuki OTSUBO
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 749 ページ: 94-100

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.749.94

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Proposal of the Concept of a Breathing Assist System for Saxophone Players with Breathing Problems2019

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Kohei Shimazaki, Songmoung Nundrakwang, Pavarit Chuprasert, Thumwarin Pitak
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Engineering, Applied Sciences and Technology
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Force Control for Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device2019

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Tomohiro Tanaka, Youwei Xu, Kohei Shimazaki
    • 学会等名
      The 34th Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] エアタービンスピンドルの回転数制御における外力推定と切削抵抗に関する考察2019

    • 著者名/発表者名
      島崎皓平,加藤友規,大坪樹,永尾宗三郎,矢澤孝哲
    • 学会等名
      2019年春季フルードパワーシステム講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置の力制御方法の提案と考察2019

    • 著者名/発表者名
      徐有衛,加藤友規,田中智博,島崎皓平
    • 学会等名
      2019年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] エアタービンスピンドルの回転数制御を用いた加工力推定に関する考察2019

    • 著者名/発表者名
      島崎皓平,加藤友規,大坪樹,古賀尉人,松藤敏矢,矢澤孝哲
    • 学会等名
      2019年秋季フルードパワーシステム講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Diamond Fly Cutting Applied to Improve Form Accuracy by In-process Measurement and Control on an Ordinary Milling Machine2018

    • 著者名/発表者名
      Jinhui Wang, Takanori Yazawa, Guochen Gu, Tomonori Kato, Tatsuki Otsubo
    • 学会等名
      International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies 2018 (IC3MT 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Basic Study of Response Measurement for Nanosheetparticles/Polymer Composite Gel Actuator with Anisotropic Contraction2018

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi KINO, Akihiro KIYOTA, Nobuyoshi MIYAMOTO, Takumi INADOMI, Tomonori KATO, Hiroyuki FUJIOKA
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomechanics and Nanocomposites (ICNN5)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Toward an Understanding of Nanosheet Object Motion from Noisy Microscopy Images Using Deep-Learning Approach2018

    • 著者名/発表者名
      Jarupat Sawangphol, Rachanart Soontornvorn, Hiroyuki Fujioka, Shinya Anraku, Nobuyoshi Miyamoto, Tomonori Kato, Hitoshi Kino, Akinori Hidaka, Hiroyuki Kano
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomechanics and Nanocomposites (ICNN5)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Refinement of a Thai Flute-playing Robot in Thai Style2018

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Kohei Shimazaki, Kenya Higashijima, Ryoji Tokunaga, Phonlasit Thinnakorn Na Ayuthaya, Pitak Thumwarin
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Engineering, Applied Sciences and Technologies (ICEAST2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improvement of Dynamic Characteristics of Manipulator Driven by a Gas-Liquid Phase-Change Actuator Using an Antagonistic Drive2018

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Kenya Higashijima, Yusuke Kuradome, Kohei Noguchi, Manabu Ono
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Engineering, Applied Sciences and Technologies (ICEAST2018)
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決めステージの力制御に関する考察2018

    • 著者名/発表者名
      徐有衛,加藤友規,島崎皓平
    • 学会等名
      2018年度精密工学会九州支部北九州地方講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] STUDY ON SMALL-DIAMETER BALL END MILL MILLING OF AIR TURBINE SPINDLE BY ROTATIONAL SPEED CONTROL2017

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Okamoto, Takanori Yazawa, Tomonori Kato, Kazuya Nishida, Shinya Moriyama, Yukio Maeda, Tatsuki Otsubo
    • 学会等名
      The 10th JFPS International Symposium on Fluid Power 2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] DEVELOPMENT OF MANIPULATOR USING A GAS-LIQUID PHASE-CHANGE ACTUATOR2017

    • 著者名/発表者名
      Kenya HIGASHIJIMA, Tomonori KATO, Kazuki SAKURAGI, Takahiro SATO, Manabu ONO
    • 学会等名
      The 10th JFPS International Symposium on Fluid Power 2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] EVALUATION OF ENERGY CONSUMPTION OF HYBRID ELECTRIC-PNEUMATIC ULTRA-PRECISION VERTICAL POSITIONING DEVICE2017

    • 著者名/発表者名
      Yoshinobu TSUKIYAMA, Tomonori KATO, keita MATSUO
    • 学会等名
      The 10th JFPS International Symposium on Fluid Power 2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置の消費エネルギ測定2017

    • 著者名/発表者名
      築山義信,加藤友規,中垣瞬
    • 学会等名
      2017年度砥粒加工学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 気液相変化駆動ゴム人工筋アクチュエータによるマニピュレータの制御2017

    • 著者名/発表者名
      東島権弥,加藤友規,櫻木一樹,佐藤孝洋,大野学
    • 学会等名
      平成29年春季フルードパワーシステム講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [備考] 福岡工業大学研究者情報

    • URL

      https://www.fit.ac.jp/research/search/profile/id/147

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書 2018 実施状況報告書
  • [備考] 福岡工業大学研究者情報

    • URL

      https://www.fit.ac.jp/research/search/research/id/147

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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