| 研究課題/領域番号 |
17K06365
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
色川 芳宏 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (90394832)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2019年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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| キーワード | 水素 / 窒化物半導体 / 界面 / 相互作用 / 窒化ガリウム / MIS型水素センサ / MIS界面 / 中間層 / 自然酸化膜 / 準安定酸化ガリウム / ナノシート / センサ / 半導体デバイス |
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| 研究成果の概要 |
近年、クリーンなエネルギー源として水素が注目を集めている。しかしながら、水素は無色・無臭の上、大気中で燃焼・爆発しやすい性質を持つために、その取り扱いには注意を要する。そのため、安全性の観点から、水素を計測する技術は今後の水素社会において重要な位置を占め、多様な仕様の水素センサが要求されている。本研究においては、窒化ガリウムの自然酸化膜がナノシート状の結晶性酸化ガリウムであり、これが水素検知に本質的な役割を果たしていることを明らかにした。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
研究成果の学術的意義として、以下が挙げられる。半導体デバイスの信頼性の観点から、雰囲気中の水素が半導体デバイスの特性を変化させることは古くから知られていたが、そのメカニズムは正確にはわかっていなかった。今回の成果は、そのメカニズムに関して、新たな提案を行うものである。社会的意義として、半導体デバイスと水素の相互作用機構が明らかになり、今後、様々な仕様の水素センサ実現が期待でされる。
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