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固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子の大規模アレーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 17K06367
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)

研究代表者

立木 隆  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授 (60531796)

研究分担者 内田 貴司  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授 (50531802)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2017年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードテラヘルツ波 / 発振素子 / 銅酸化物超伝導体 / 超伝導材料・素子 / テラヘルツ/赤外材料・素子
研究成果の概要

銅酸化物超伝導体の固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子のアレーによる高出力化を目指し、同素子の放射特性を理論と実験により検討した。
まず、接合系を連続体近似した3次元キャビティモデルを用いて計算した素子アレーの全放射電力は、各素子が121共振モードで動作したとき、素子数の2乗に比例して増加した。次に、発振素子用2軸低温回転ステージを有する測定系により、放射パターンを測定した。シリコン半球レンズを取り付けた単素子について測定されたパターンであるが、レンズによる集光を考慮したシミュレーション結果とよく一致した。
これらの結果は、同発振素子のアレーの設計・製作および測定に役立てられる。

研究成果の学術的意義や社会的意義

固有ジョセフソン接合は、バイアス電圧を制御するだけで容易に発振周波数を可変できる特長を有し、社会的ニーズが高いテラヘルツ技術で注目を集めている。
従来、同素子の放射特性の数値シミュレーションは計算時間やマシンパワーを必要としていたが、連続体近似を用いたモデリングによりそれらを低減し、さらにアレーの特性が得られるようにモデルを拡張した。この成果は素子特性のシミュレーションの発展に寄与できる。
また、本研究で構築した放射パターン測定系は、同素子の単体およびアレーの特性評価のみならず、他の冷却型発振素子の精密な放射パターンを取得できる汎用性があり、テラヘルツ技術分野において意義がある。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (23件) (うち国際学会 5件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] MOD法により作製したTiO<sub>2</sub>分散型VO<sub>x</sub>薄膜の特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      Hai Van Nhu、Kawahara Masami、Samura Tsuyoshi、Tachiki Takashi、Uchida Takashi
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 139 号: 12 ページ: 708-714

    • DOI

      10.1541/ieejfms.139.708

    • NAID

      130007754561

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 年月日
      2019-12-01
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of V1-x Ti x O2 thin films by metal-organic decomposition using carbon thermal reduction2019

    • 著者名/発表者名
      Hai Van Nhu、Kawahara Masami、Samura Tsuyoshi、Tachiki Takashi、Uchida Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: 7 ページ: 075506-075506

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab28ac

    • NAID

      210000156568

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MOD法によりSi<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/SiO<sub>2</sub>メンブレン上に製作したVO<sub>x</sub>マイクロボロメータの特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      Maeda Kohei、Hai Van Nhu、Nishioka Kunio、Matsutani Akihiro、Tachiki Takashi、Uchida Takashi
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 138 号: 9 ページ: 471-477

    • DOI

      10.1541/ieejfms.138.471

    • NAID

      130007479873

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 年月日
      2018-09-01
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characteristics of thin-film spiral antenna-coupled Bi microbolometer fabricated on Si3N4/SiO2 membrane2018

    • 著者名/発表者名
      Takashi Uchida,Akihito Matsushita,Takashi Tachiki
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: 13 号: 6 ページ: 876-881

    • DOI

      10.1002/tee.22641

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Bi-2212固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子の放射パターン測定系の構築(Ⅱ)2020

    • 著者名/発表者名
      江口 哲平、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MOD法によるV0.75Ti0.25O2薄膜の作製条件の検討2020

    • 著者名/発表者名
      藤城 雄飛、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of VO2 Thin Films by MOD and Their Applications to Bolometer Detectors2019

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, T. Tachiki
    • 学会等名
      2019 Collaborative Conference on Material Research
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Investigation of radiation properties of THz-wave oscillators using Bi-2212 intrinsic Josephson junctions for oscillator-array design2019

    • 著者名/発表者名
      T. Tachiki, T. Uchida
    • 学会等名
      The 10th East Asia Symposium on Superconductor Electronics
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 固有ジョセフソン接合テラヘルツ波発振素子の放射パターン測定系の構築2019

    • 著者名/発表者名
      江口 哲平、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      電子情報通信学会超伝導エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Bi-2212固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子の放射パターン測定系の構築2019

    • 著者名/発表者名
      江口 哲平、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 炭素熱還元を用いたMOD法によるVO2薄膜の作製条件の検討2019

    • 著者名/発表者名
      藤城 雄飛、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 固有ジョセフソン接合テラヘルツ波発振素子の放射パターン測定系の構築2019

    • 著者名/発表者名
      江口 哲平、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第28回日本赤外線学会研究発表会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 高性能なボロメータ検出素子の実現に向けたMOD法によるV0.75Ti0.25O2薄膜の作製2019

    • 著者名/発表者名
      藤城 雄飛、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第28回日本赤外線学会研究発表会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 炭素熱還元を用いたMOD法によるTi-doped VO2薄膜の作製2019

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子のアレー化に向けたBi-2212メサのキャビティモードの検討2019

    • 著者名/発表者名
      江口 哲平、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] Investigation of Radiation Properties of Terahertz-Wave Oscillators using Intrinsic Josephson Junctions for High Power Generation2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tachiki, T. Uchida
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on High Temperature Superconductors in High Frequency Field
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Characteristics of VOx microbolometer on Si3N4/SiO2 Membrane Fabricated by Deep-RIE and XeF2 Vapor Etching for THz-detectors2018

    • 著者名/発表者名
      K. Maeda, Van Nhu Hai, K. Nishioka, A. Matsutani, T. Tachiki, T. Uchida
    • 学会等名
      The 43rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cavity Mode Evaluation of Terahertz-Wave Oscillators using Bi-2212 Intrinsic Josephson Junctions for High Power Generation2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tachiki, T. Uchida
    • 学会等名
      The 43rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MOD法によるTiO2-V2O5プリカーサ薄膜の窒素雰囲気における還元焼成2018

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 有機金属分解 (MOD) 法によるTiO2分散型VOx薄膜の作製2018

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ、前田 幸平、河原 正美、佐村 剛、立木 隆、内田 貴司
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子部品・材料研究会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD法により作製したTi-doped V2O5薄膜の減圧焼成2018

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ,前田 幸平,河原 正美,佐村 剛,立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD法によりSi3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータのDC感度測定2018

    • 著者名/発表者名
      前田 幸平,ヴァン・ニュ・ハイ,西岡 國生,松谷 晃宏,立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD法によるVOxナノワイヤの製作2018

    • 著者名/発表者名
      内田 貴司,河原 正美,ヴァン・ニュ・ハイ,前田 幸平,立木 隆
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 固有ジョセフソン接合を用いたテラヘルツ波発振素子のアレー化に向けた検討2018

    • 著者名/発表者名
      立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      電子情報通信学会超伝導エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD法によるTiドープしたV2O5薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ,前田 幸平,河原 正美,佐村 剛,立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MOD法により製作したTi-doped V2O5薄膜におけるTiの固溶限界2017

    • 著者名/発表者名
      ヴァン・ニュ・ハイ,前田 幸平,河原 正美,佐村 剛,立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      第27回日本赤外線学会研究発表会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Deep-RIEとXeF2気相エッチングによるSi3N4/SiO2メンブレン上へのVOxマイクロブリッジの製作2017

    • 著者名/発表者名
      前田 幸平,ヴァン・ニュ・ハイ,西岡 國生,松谷 晃宏,立木 隆,内田 貴司
    • 学会等名
      第27回日本赤外線学会研究発表会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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