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生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタの開発と赤外波長域への展開

研究課題

研究課題/領域番号 17K06370
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関宇都宮大学

研究代表者

依田 秀彦  宇都宮大学, 工学部, 准教授 (30312862)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード光波長フィルタ / 光デバイス / 赤外波長域 / 波長可変フィルタ / チューナブル波長フィルタ / NG-PON2 / カラーレスONU / 赤外分光エリプソ / WDM-PON2 / WDM-PON / 透明ヒータ膜 / エリプソメトリー / 分光光度計 / チューナブル光波長フィルタ / 光学薄膜 / 電子デバイス・機器 / フォトニックネットワーク
研究成果の概要

次世代光アクセス網の高速大容量技術方式 WDM-PON(NG-PON2) におけるキーデバイスとなるチューナブル波長選択フィルタ(光学薄膜を利用した温度制御型TO-BPF)の開発を行った.近い将来,赤外波長域0.8~14μmへの展開を視野に光学定数の評価を行った.成果は以下の6項目:(1)多層膜BPF作製時にTECファイバ型光学モニタ導入 (2)TO-BPFチップを光ファイバ実装&低消費電力化 (3)a-Si:H膜の低損失化 (4)TO-BPFの温度性能評価 (5)赤外波長域1.7~14μmにおける光学定数評価およびデータ公開 (6)近赤外波長域0.7~1.7μmにおける光学定数評価.

研究成果の学術的意義や社会的意義

(1)温度制御型チューナブル波長フィルタのNG-PON2への採用に向けて,作製技術の向上・光学特性の改善・ファイバ実装化を推し進めた.(2)50種類以上の光学材料(誘電体,半導体,金属,有機材料,カルコゲナイドガラス)の赤外波長域の光学定数評価を行い,データを蓄積した.測定データをWeb公開することで、将来,広範囲の赤外波長域を利用した新規のデバイス設計、材料開発を促すことにつながる。

報告書

(6件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (22件)

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 その他

すべて 学会発表 (21件) 備考 (1件)

  • [学会発表] HC-PECVD成膜されたSiO2薄膜の残留応力と赤外透過率測定2022

    • 著者名/発表者名
      大谷毅, 大桐巧, 依田秀彦
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 直線/曲線テーパ導波路を用いたスポットサイズ変換器の挿入損失評価2022

    • 著者名/発表者名
      五十嵐開人, 依田秀彦, 近藤圭祐, 杉原興浩
    • 学会等名
      第12回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] SI光ファイバ先端に形成する平凸微小レンズの形状設計2022

    • 著者名/発表者名
      渡部大児, 依田秀彦
    • 学会等名
      第12回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 酸化物半導体ナノ粒子薄膜における表面プラズモンの機械的制御:応力センシングに向けた動作原理2021

    • 著者名/発表者名
      松井裕章, 依田秀彦, 小埜洋輔, 三角哲平, 藤田明希, 百瀬晶, 田畑仁
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 分子認識バイオセンシングに向けた ZnO: Ga マイクロキャビティ構造と表面フォノン場制御2021

    • 著者名/発表者名
      下田優太, 松井裕章, 依田秀彦, 山原弘靖, Bow-Wei Lin, Yan-Lu Ho, Jean-Jacques Delaunay, 寺村裕治, 田畑 仁
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 光通信用TOチューナブルフィルタの低損失化2021

    • 著者名/発表者名
      紺野大志, 依田秀彦
    • 学会等名
      第11回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] HC-PECVD成膜されたSiO2薄膜の特性2021

    • 著者名/発表者名
      大谷毅, 依田秀彦
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] バイオセンシングに向けた赤外プラズモン・フォノンカップリング制御2021

    • 著者名/発表者名
      下田優太, 松井裕章, 依田秀彦, 山原弘靖, J.K. クラーク, J.J. ドロネー, 寺村裕治
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Si細線用ダウンテーパ型スポットサイズ変換器に形成したリッジ導波路部の光学特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      佐々木発輝, 依田秀彦, 大谷毅
    • 学会等名
      第11回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] TOチューナブルフィルタの光学特性の温度依存性測定2020

    • 著者名/発表者名
      紺野大志, 須藤航陽, 依田秀彦
    • 学会等名
      第10回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] DCパルススパッタによるa-SiOxNy成膜とその屈折率制御2020

    • 著者名/発表者名
      佐々木発輝, 鳴瀬皓之, 依田秀彦, 大谷毅, 田中一郎
    • 学会等名
      第10回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] ステップインデックス型ファイバ先端への穴形成と形状制御2020

    • 著者名/発表者名
      笠井敦司, 大町将央, 依田秀彦
    • 学会等名
      第10回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 誘電体多層膜構造をもつ有機焦電型赤外線センサの電圧感度波長依存性2020

    • 著者名/発表者名
      磯村拓海, 福島達也, 小柴康子, 堀家匠平, 依田秀彦, 石田 謙司
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] バイオセンシングプラットフォームに向けた酸化物半導体の赤外表面プラズモン制御2020

    • 著者名/発表者名
      下田優太, 松井裕章, 山原弘靖, 依田秀彦, J. K. Clark, J. J. Delaunary, 田畑仁
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 光通信用TO-BPFチップの光ファイバ実装方法と省電力化に関する検討2019

    • 著者名/発表者名
      須藤航陽, 戸賀沢舟, 依田秀彦
    • 学会等名
      第9回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] Si細線導波路用ダウンテーパ型スポットサイズ変換器作製のためのリッジ導波路部の形成2019

    • 著者名/発表者名
      鳴瀬皓之, 赤沼啓伍, 依田秀彦
    • 学会等名
      第9回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 反応性スパッタ法による膜質制御と光学素子への応用2018

    • 著者名/発表者名
      漆原陸, 大谷毅, 依田秀彦
    • 学会等名
      大学コンソーシアムとちぎ第15回学生&企業研究発表会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 多層膜と微細周期パターンによる干渉機能を用いた大面積発色素子の試作2018

    • 著者名/発表者名
      鳴瀬皓之, 大谷毅, 依田秀彦
    • 学会等名
      大学コンソーシアムとちぎ第15回学生&企業研究発表会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 光通信用TOチューナブル波長フィルタの作製と光ファイバへの実装2018

    • 著者名/発表者名
      戸賀沢舟, 北川大河, 依田秀彦
    • 学会等名
      第8回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 耐熱性多層膜ミラーの作製とEOチューナブル波長フィルタへの適用2018

    • 著者名/発表者名
      漆原 陸, 小池俊輔, 依田秀彦
    • 学会等名
      第8回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Si細線導波路用ダウンテーパ型スポットサイズ変換器作製のための上部クラッド再形成2018

    • 著者名/発表者名
      赤沼 啓伍, 高野周作, 依田秀彦
    • 学会等名
      第8回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [備考] 「光学定数データ」公開

    • URL

      http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/archives/

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書 2020 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2017-04-28   更新日: 2023-01-30  

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