| 研究課題/領域番号 |
17K06377
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 小山工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
山田 靖幸 小山工業高等専門学校, 電気電子創造工学科, 准教授 (60431467)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2019年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2018年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2017年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | BSCCO / Bi2212 / ジョセフソン接合 / 固有接合 / 溶液法 / 有機金属分解法 / 印刷法 / テラヘルツ波 / テラヘルツ / 固有ジョセフソン接合 / 超伝導材料・素子 / テラヘルツ/赤外材料・素子 |
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| 研究成果の概要 |
BSCCO固有接合デバイスは，テラヘルツギャップと呼ばれる周波数領域を満たすデバイスとして有望であり，μW級の連続コヒーレントテラヘルツ波が発振できることはすでに証明されているが，その従来の作製方法は，煩雑な手順とドライエッチングを必要とする．そこで，溶液法による薄膜作製と化学エッチングによる微細加工を組み合わせたBSCCOデバイスの新しい作製プロセスの開発を試みた．化学エッチングにより微細加工する際に使用されるフォトレジストは，CDレーベル印刷可能な消費者向けのインクジェットプリンターにより印刷した．その結果，最も細い部分の幅が75μm程度の電気的に接続されたブリッジの作製に成功した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究において，薄膜作製からエッチングまでを低コストかつ簡便なプロセスにより行えることを示したことにより，従来型の固有接合素子の作製プロセスに比べて大幅な低コスト化・簡便化を図れる可能性が高まった．また，任意の形状に微細加工することが可能なため，固有接合素子の設計自由度の増加ももたらしうることが示されたといえる．これにより，発振器としてだけでなく，例えば新たなテラヘルツメタマテリアルの創出などが期待できるため，学術的意義が大きいといえる．また，この製造方法は他の材料の薄膜にも適用できると考えられるため，産業への波及効果も高く，社会的な意義も大きいといえる．
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