| 研究課題/領域番号 |
17K06466
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 東京都立大学 |
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研究代表者 |
渡部 泰明 東京都立大学, システムデザイン研究科, 教授 (60175130)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2020年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2019年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2018年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | Laser Speckle / 鏡面 / 紫外線レーザ / レーザスペックル / LD / 鏡面反射 / Laser Speckle干渉法 / Laser Doppler振動法 / 圧電振動子 / 相関値 / 画像相関 / Laser Speckle干渉 / Laser Speckle法 / 反射 / 干渉計 |
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| 研究成果の概要 |
これまで申請者らが開発してきた圧電振動デバイス振動モード可視化システムをベースとし，より高度で未踏の超小型鏡面圧電振動デバイスの２次元振動変位測定システムの改良を行うものである．レーザスペックル法および同期レーザ法という技術を用い，近紫外光であるレーザ波長を用い，且つピコ秒パルスレーザ光源を用いることで，鏡面圧電振動デバイスを正確にそして絶対振動変位量をナノメートル(nm)分解能オーダーで制御し究極の2次元振動変位分布を求めていくものである．近紫外レーザを用い鏡面の反射率を求め，従来のレーザスペックル法に加え，絶対振動量を測定するシステムを構築し装置の改良を行った．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
精度良く高感度の部分を見つけるために新たに製作したレーザドップラ干渉計とレーザスペックル法を結合したシステムを構成するためのスキームを統合する．まずイメージ転送では1度ではCCDカメラの感度が不足するので平均20回程度に分けて転送する．比測定対象である水晶振動子であるがここでは当初100MHzであったが10MHzまで測ることとした．従って任意波形ジェネレータには正弦波での規格値20 MHzを使用し，同様に近紫外レーザには50ピコセカンド(同10 MHz)を有しているものを使用する．周波数標準はセシウム原子発振器（10-13の絶対精度）を用い,周波数のずれを抑える．
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