| 研究課題/領域番号 |
17K06811
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 |
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研究代表者 |
筧 芳治 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 主任研究員 (90359406)
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| 研究分担者 |
佐藤 和郎 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員 (30315163)
小栗 泰造 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員 (80359413)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2019年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2018年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2017年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 酸炭化物薄膜 / 高温圧力センサ / オイルレス / ひずみ抵抗薄膜 / スパッタリング / 電子・電気材料 / セラミックス / 薄膜 / 歪抵抗薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は、2層型ひずみ抵抗薄膜TiCxOy/SiCと補正用薄膜抵抗を用いて、室温～400 ℃の温度範囲で、センサ単体で出力電圧の温度補正が可能な高感度高温オイルレス圧力センサを開発する事である。本研究の成果としては、TiCxOy薄膜の特性に及ぼす酸素添加の効果、さらにMgO(100)バッファ膜によりTiCxOy薄膜のTCRに影響を与えずGFを改善できる事を明らかにした。また、有限要素法により見出したより大きい変形量を有する金属ダイヤフラム上にMgO(100)バッファ膜を製膜して作製した圧力センサは、室温、印加圧力1 MPaにおける出力電圧が約6 mVから約16 mVまで大きく増加した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の学術的成果は、TiCxOy薄膜作製時の酸素流量がひずみ抵抗薄膜の特性に及ぼす影響、さらにMgO(100)バッファ膜により、TiCxOy薄膜のTCRに影響を与えずGFのみ改善できることを解明した事である。本研究の成果により、大気中、室温～400 ℃の温度範囲で使用可能な高感度高温オイルレス圧力センサを作製することに成功した。この事は、エネルギーや食糧などの資源の利用効率化社会の実現に貢献するものであり、社会的意義も大きい。
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