| 研究課題/領域番号 |
17K14111
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
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研究代表者 |
宮川 鈴衣奈 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10635197)
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| 研究協力者 |
江龍 修
大野 裕
三宅 秀人
平等 拓範
Wellmann Peter
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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| キーワード | フェムト秒レーザー / ナノ周期構造 / 結晶 / 半導体 / レーザープロセッシング / 結晶工学 |
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| 研究成果の概要 |
フェムト秒レーザーを結晶材料に照射することで、レーザーの波長より短い周期の周期構造が形成される。レーザーが被照射材料に与える影響を詳細に調べることで、光吸収と周期構造形成のダイナミクス理解に取り組んだ。結果、周期構造形成には多重パルス積重が必要であり、その周期はパルスの積重によって変化することを示した。また、その周期は被照射材料によって異なることに加え、形状が同様でも結晶状態は材料によって異なることを明らかにした。さらに、この周期構造の量子デバイスへの応用を試み、さらなる細線化のため結晶異方性エッチングを行ったところ、結晶質を維持したまま狭小化し、形状制御の有効性を示した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
フェムト秒レーザー誘起周期構造の形成メカニズムについて、近年活発な議論がなされているが、その結晶状態については調べられていなかった。本研究で明らかにした、被照射材料に依る結晶状態の違いは、光と結晶との相互作用を理解する上で重要な知見になると考える。また、形状と結晶状態を制御することで、その特性を活かした表面創成による機能的応用と、フェムト秒レーザーの応用拡大に繋げていく。
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