| 研究課題/領域番号 |
17K14575
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
鈴木 健太 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (60709509)
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| 研究協力者 |
橋口 恭平
菅 洋志
尹 成圓
廣島 洋
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2018年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2017年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | ナノインプリント / 凝縮性ガス / リソグラフィ / ハイドロフルオロオレフィン / バブル欠陥 / 飽和蒸気圧 / マイクロ・ナノデバイス / デバイス設計・製造プロセス |
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| 研究成果の概要 |
トランス-1-クロロ-3,3,3-トリフルオロプロペン(CTFP) とトランス-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン(TFP)の混合凝縮性ガスを導入する光ナノインプリント法は、真空環境なしにバブル欠陥を防止できる。本研究では、このナノインプリント法における、ガスの樹脂への吸収量の調査とパターン品質の評価を行った。グローブボックス内でガスに暴露した24種類の有機材料のガスの溶解量を測定し、ハンセンの溶解度パラメータを用いて解析を行った。また、アクリル系UV硬化樹脂液を用いて、ライン幅16nmが良好にパターニング可能なTFP/CTFPの混合凝縮性ガスの導入条件を見出した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
ナノインプリントはモールドと樹脂による型押し技術であり、2つの材料特性を理解すれば良かったが、混合した2相の凝縮性ガスを用いることにより、凝縮反応、樹脂へのガス吸収・放出などを理解することが不可欠であった。このため、樹脂への吸収量の調査とパターン品質の評価により、ガスの相溶性と吸収性に関して明らかにすることができた。
また本手法の最先端リソグラフィの20nm以下のパターニングへの適用は、学術のみならず、工業的にも大きな波及効果が予想される。欠陥防止でき、且つ生産性の高いナノインプリント技術の確立により、半導体リソグラフィ以外にも応用が有望なワイヤー偏光子や光学素子の製造技術の向上が期待できる。
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