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Thermal phonon spectroscopy of phonoic crystals by using a MEMS thermometer

研究課題

研究課題/領域番号 17K14654
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関東京農工大学 (2018)
東京大学 (2017)

研究代表者

張 亜  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80779637)

研究協力者 平川 一彦  
野村 政宏  
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2017年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードフォノン分光法 / フォノニック結晶 / 熱輸送 / MEMS / 半導体 / マイクロ/ナノ構造 / phonon spectroscopy / thermal phonon / thermal sensor / Phononic crystal / thermoelectrics / phononic crystal
研究成果の概要

本研究では、新規なMEMS温度計を用いてフォノニック結晶(PnC)におけるフォノン輸送に関する研究を行った。MEMS梁の上に二次元PnCを作製し、梁の熱減衰を測定によって、梁構造の熱伝導の変化を計算した。PnCに穴の直径が約300 nmまで減少すると、熱伝導は顕著な低下を示し、フォノン効果が材料の熱伝導率を低減させたことを確認した。
更に、MEMS梁に時間制御した二重フェムト秒光パルスを照射し、2つの光パルス間の時間遅延の関数としてMEMS梁の温度上昇を測定した。梁にコヒーレントフォノン輸送による干渉パターンを観測した。フーリエ変換によって、MEMS梁を通してフォノンスペクトルの観測は成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は、超高速フォノン分光法を実施するための強力な方法を提供し、半導体マイクロ/ナノ構造における熱輸送プロセスに対する理解を大きく深化させるものである。さらに、その知見が、マイクロ/ナノ材料の熱特性における多くの研究に広く応用できるため、基礎研究と社会の両方に大きなインパクトを与える。従って、本研究に基づき、更なる研究の開拓が期待できる。将来的には、フォノンの波動性による熱輸送の制御を可能にし、半導体デバイスに対する理想的な熱制御につながり、エネルギー効率の高い社会の構築にも役立つと期待できる。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2019 2018 2017 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 9件、 招待講演 6件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Fast and sensitive bolometric terahertz detection at room temperature through thermomechanical transduction2019

    • 著者名/発表者名
      Zhang Ya、Hosono Suguru、Nagai Naomi、Song Sang-Hun、Hirakawa Kazuhiko
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 125 号: 15 ページ: 151602-151602

    • DOI

      10.1063/1.5045256

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツボロメータの開発2019

    • 著者名/発表者名
      平川一彦、張 亜
    • 雑誌名

      次世代センサー

      巻: 28(2) ページ: 6-9

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of buckling on the thermal response of microelectromechanical beam resonators2017

    • 著者名/発表者名
      Zhang Y.、Hosono S.、Nagai N.、Hirakawa K.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 111 号: 2 ページ: 023504-023504

    • DOI

      10.1063/1.4993740

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Heat transport in GaAs membranes studied by using a GaAs MEMS thermal sensor2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, B. Qiu, S.Q. Du, N. Nagai and K. Hirakawa
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Detecting sub-terahertz mechanical oscillations by a GaAs MEMS thermal sensor2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, B. Qiu, S.Q. Du, N. Nagai and K. Hirakawa
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Novel bolometric THz detection by MEMS resonators2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, K. Hirakawa
    • 学会等名
      43rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves(IRMMW-THz2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel thermomechanical terahertz detection by using fundamental and coupled modes in doubly clamped MEMS beam resonators2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, K. Hirakawa
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel thermomechanical terahertz detection by using fundamental and coupled modes in doubly clamped MEMS beam resonators2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR 2018)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel bolometric THz detection by MEMS resonators2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      43rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves(IRMMW-THz2018)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Enhanced sensitivity of MEMS-based terahertz bolometers by introducing two-dimensional phononic crystal structures2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, B. Qiu, N. Nagai, M. Nomura,and K. Hirakawa
    • 学会等名
      2017 Workshop on Innovative Nanoscale Devices and Systems (WINDS)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhanced sensitivity of MEMS-based terahertz bolometers by introducing two-dimensional phononic crystal structures2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, B. Qiu , N. Nagai , M. Nomura, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Enhanced sensitivity of MEMS-based terahertz bolometers by introducing two-dimensional phononic crystal structures2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, B. Qiu , N. Nagai , M. Nomura, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      International Symposium on Hybrid Quantum Systems 2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Novel bolometric THz detection by MEMS resonators2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      14th International Conference on Intersubband Transitions in Quantum Wells (ITQW-2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Room temperature, very sensitive bolometer using a doubly clamped microelectromechanical beam resonator2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, and K. Hirakawa
    • 学会等名
      2ed International Conference on Terahertz Emission, Metamaterials and Nanophotonics (Terametanano-2
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [備考] Novel phonon spectroscopy

    • URL

      http://web.tuat.ac.jp/~zhang/researche.html

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2020-03-30  

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