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微小観察下での温度負荷による潜傷先端の光散乱強度変化の実験的解明

研究課題

研究課題/領域番号 17K18413
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 機械材料・材料力学
計測工学
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

坂田 義太朗  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (70636406)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
キーワード光散乱 / 応力誘起光散乱法 / 温度変化 / 潜傷 / マイクロクラック / 熱応力 / ガラス基板 / 機械材料・材料力学 / 計測工学
研究成果の概要

本研究では、潜傷形成に関する現象解明の基礎的検討として、応力誘起光散乱法により潜傷近傍の光散乱強度の変化を微視的な観察を行った。応力誘起光散乱法による検出原理の解明を行うとともに、潜傷近傍に生じる現象の解明することで、残留応力並びに潜傷の大きさの予測に挑戦した。その結果、光散乱強度変化はガラス基板内部に形成された亀裂上ではなく、屈折率の境界で生じていることが確認された。また、潜傷の大きさと光散乱強度変化の相関関係を評価した結果、潜傷のサイズが大きくなるにつれて、光散乱強度の変化量も大きくなることが確認され、光散乱強度変化の大きさから潜傷の大きさが推定可能であることが示唆された。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究を実施したことにより、潜傷を微視的に観察することが可能となったため、初めて開発手法の潜傷検出原理を解明することができた。また、開発手法により、潜傷の大きさについても推定可能であることが示唆されたことから、潜傷検出技術としての有用性も明らかにすることができた。本研究成果を実用化することができれば、製品製造プロセスを高度化することに貢献することができ、品質向上の観点から産業競争力の向上にも貢献できると考えている。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2019 2017

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Development of separation inspection technique for micro-cracks and particles using non-contact stress-induced light scattering method2019

    • 著者名/発表者名
      Sakata Yoshitaro、Terasaki Nao
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: 10925 ページ: 46-46

    • DOI

      10.1117/12.2508375

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Development of separation inspection technique for microcracks and particles using non-contact stress induced light scattering method2019

    • 著者名/発表者名
      Sakata Yoshitaro、Terasaki Nao
    • 学会等名
      Photonics West 2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Non-contact inspection technique for a micro-crack under surface of glass substrate using temperature variation2017

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaro Sakata, Nao Terasaki, Kazuhiro Nonaka
    • 学会等名
      19th International Conference on Electronics Materials and Packaging (EMAP2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2020-03-30  

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