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整合多層膜の自己調整応力場を用いたクロスオーバー状態の誘起と機能性の創出

研究課題

研究課題/領域番号 17K18970
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
研究分野 材料工学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

今野 豊彦  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (90260447)

研究分担者 白石 貴久  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (50758399)
木口 賢紀  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (70311660)
研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2019年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2018年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード強誘電体 / 酸化物薄膜 / 透過電子顕微鏡 / エックス線回折 / 構造解析 / 電子顕微鏡 / 異相境界 / 相安定性 / 酸化物強誘電体 / 多層薄膜 / 多重臨界挙動
研究成果の概要

酸化物強誘電体材料は現代の科学文明を支える材料群のひとつであり、メモリーデバイスからセンサーまで広く応用されている。強誘電体特性は構造敏感な特性であり、酸化物の組成や応力場に依存する。本研究ではペロブスカイト型酸化物の相安定性に対する組成と応力場の関係を解明することを目的とした。
そのため化学的堆積法を用い、ペロブスカイト型酸化物基板の上に薄膜成長させ基板から応力を印加するとともに、大きさの異なる構成元素による全率固溶型の強誘電体相を成長させた。透過電子顕微鏡観察等により構造を同定した結果、バルク材料と比較し薄膜では強誘電相が発現する組成領域が組成に敏感に依存することが明らかとなった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

酸化物強誘電体材料は、エコーなどの超音波デバイス、記憶媒体であるメモリデバイス、あるいはエナジーハーベスターといった様々な分野で利用されている材料である。強誘電体特性は構造敏感な特性であり、酸化物の組成や応力場に依存する。本研究は特異な誘電特性をもつペロブスカイト型酸化物の相安定性に対する組成と応力場の関係を解明することを目的して開始された。
今回の研究により、強誘電体特性をデバイス等に薄膜形状で最大限の効率で応用する際の材料設計として、ペロブスカイト型酸化物を構成する遷移金属元素の大きさ及び基板の選択が重要な要素であることが判明した。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (12件) (うち国際共著 1件、 査読あり 12件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (14件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Deposition of orientation-controlled thick (K,Na)NbO<sub>3</sub> films on metal substrates by repeated hydrothermal deposition technique2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshiharu ITO, Akinori TATEYAMA, Yoshiko NAKAMURA, Takao SHIMIZU, Minoru KUROSAWA, Hiroshi UCHIDA, Takahisa SHIRAISHI, Takanori KIGUCHI, Toyohiko J. KONNO, Mutsuo ISHIKAWA, Hiroshi. FUNAKUBO
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 127 号: 7 ページ: 478-484

    • DOI

      10.2109/jcersj2.19008

    • NAID

      130007672977

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2019-07-01
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interface structure of Pb(Zr,Ti)O3/MgO(001) epitaxial thin film in early stage of Stranski-Krastanov growth mode2019

    • 著者名/発表者名
      Kiguchi Takanori、Kodama Yumiko、Shimizu Takumi、Shiraishi Takahisa、Wakiya Naoki、Konno Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SL ページ: SLLA08-SLLA08

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3b13

    • NAID

      210000156954

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of epitaxial (K, Na)NbO3 films with various orientations by hydrothermalmethod and their properties2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Yoshiko Nakamura, Takao Shimizu, Minoru Kurosawa, Hiroshi Uchida, Takahisa Shiraishi, Takanori Kiguchi, Toyohiko J. Konno, Mutsuo Ishikawa, Hiroshi Funakubo.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Puys.

      巻: 58 号: SL ページ: SLLB14-SLLB14

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3958

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effect of Ta-substitution on the deposition of (K,Na)(Nb,Ta)O3 films by hydrothermal method2019

    • 著者名/発表者名
      Yuta Muto, Takahisa Shiraishi, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi Hiroshi Funakubo, and Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SL ページ: SLLB12-SLLB12

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3a18

    • NAID

      210000156946

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of the orthorhombic phase in CeO2-HfO2 solid solution epitaxial thin films and their ferroelectric properties2019

    • 著者名/発表者名
      Shiraishi T.、Choi S.、Kiguchi T.、Shimizu T.、Funakubo H.、Konno T. J.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 114 号: 23 ページ: 232902-232902

    • DOI

      10.1063/1.5097980

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of {001}<sub>c</sub>-oriented epitaxial (K, Na)NbO<sub>3</sub> thick films by repeated hydrothermal deposition technique2018

    • 著者名/発表者名
      Takahisa SHIRAISHI, Yoshiharu ITO, Mutsuo ISHIKAWA, Hiroshi UCHIDA, Takanori KIGUCHI, Minoru K. KUROSAWA, Hiroshi FUNAKUBO, Toyohiko J. KONNO
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 126 号: 5 ページ: 281-285

    • DOI

      10.2109/jcersj2.17251

    • NAID

      130006730898

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2018-05-01
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Formation of polar phase in Fe-doped ZrO2 epitaxial thin films2018

    • 著者名/発表者名
      Sujin Choi, Takahisa Shiraishi, Takanori Kiguchi, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, and Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 113 号: 26 ページ: 262903-262903

    • DOI

      10.1063/1.5063757

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Domain orientation relationship of orthorhombic and coexisting monoclinic phases of YO1.5-doped HfO2 epitaxial thin films2018

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, and Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 11S ページ: 11UF16-11UF16

    • DOI

      10.7567/jjap.57.11uf16

    • NAID

      210000149825

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of ferroelectric Fe doped HfO2 epitaxial thin films by ion-beam sputtering method and their characterization2018

    • 著者名/発表者名
      Takahisa Shiraishi, Sujin Choi, Takanori Kiguchi, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida4, Hiroshi Funakubo, and Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 11S ページ: 11UF02-11UF02

    • DOI

      10.7567/jjap.57.11uf02

    • NAID

      210000149811

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 整合界面をもつ強誘電体薄膜のドメイン構造形成に及ぼす局所弾性場の影響2018

    • 著者名/発表者名
      木口 賢紀、舟窪 浩、今野 豊彦
    • 雑誌名

      まてりあ

      巻: 57 号: 3 ページ: 97-105

    • DOI

      10.2320/materia.57.97

    • NAID

      130006410260

    • ISSN
      1340-2625, 1884-5843
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Strain-induced nanostructure of Pb(Mg1/3Nb2/3)O-3-PbTiO3 on SrTiO3 epitaxial thin films with low PbTiO3 concentration2017

    • 著者名/発表者名
      Kiguchi, Takanori Fan, Cangyu Shiraishi, Takahisa Konno, Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PB12-10PB12

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pb12

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of (111)-oriented epitaxial (K0.5Na0.5)NbO3 thick films deposited by hydrothermal method2017

    • 著者名/発表者名
      Takahisa Shiraishi1, Mutsuo Ishikawa2, Hiroshi Uchida3, Takanori Kiguchi1, Minoru K. Kurosawa4, Hiroshi Funakubo5 and Toyohiko J. Konno1
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF04-10PF04

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf04

    • NAID

      210000148381

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 基板種に依存したPZT 薄膜のMPB 組織の変化2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MPB組成におけるPZT薄膜の組織と結合状態に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Structure and Electronic State of Misfit Strain Induced Morphotropic Phase Boundary Shift in Pb(Zr,Ti)O3 Epitaxial Thin2019

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Takumi Shimizu, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J. Konno
    • 学会等名
      MRS 2019 Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] PZT薄膜のMPB組成域における微細組織に及ぼす格子ミスマッチの影響2019

    • 著者名/発表者名
      清水匠, 粟飯原雅矢, 木口賢紀, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第39回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Effect of elastic field on domain structure of PZT thin films in MPB composition2019

    • 著者名/発表者名
      Takumi Shimizu, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J Konno
    • 学会等名
      13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 直方晶相ハフニア薄膜におけるドメイン構造2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2019年年会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] PbTiO3 エピタキシャル薄膜の界面急峻性に及ぼす半導性SrTiO3 基板の影響2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] Lattice mismatch effect on biaxial strain exerted on epitaxially-grown BiFeO32018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 組成相境界近傍のPZTエピタキシャル薄膜における微細構造2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電体(Hf,Ce)O2薄膜の作製とその結晶構造評価2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] STEM-EELS法による直方晶相ハフニア薄膜の結晶構造評価2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 直方晶相ハフニア薄膜のドメイン構造の電子エネルギー損失分光2018

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第31回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電体HfO2基超薄膜のドメイン構造評価2017

    • 著者名/発表者名
      白石貴久、Sujin Choi、木口賢紀、今野豊彦
    • 学会等名
      第73回日本顕微鏡学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 固相エピタキシー法による強誘電体HfO2基薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      白石貴久,Sujin Choi,清水荘雄,舟窪浩,木口賢紀,今野豊彦
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2017-07-21   更新日: 2021-02-19  

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