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モノリシック共振器型ワイドギャップ半導体波長変換素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17K19078
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
研究分野 応用物理工学およびその関連分野
研究機関大阪大学

研究代表者

片山 竜二  大阪大学, 工学研究科, 教授 (40343115)

研究分担者 川原村 敏幸  高知工科大学, システム工学群, 教授 (00512021)
谷川 智之  東北大学, 金属材料研究所, 講師 (90633537)
上向井 正裕  大阪大学, 工学研究科, 助教 (80362672)
研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2018年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2017年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワード非線形光学 / 波長変換素子 / 第二高調波発生 / 窒化物半導体 / モノリシック / 微小共振器 / ワイドギャップ半導体 / GaN / 量子光学 / モノリシック微小共振器 / モノリシック集積 / モノリシック共振器
研究成果の概要

本研究では「複屈折性や分極反転が必須」という波長変換素子の既成概念にとらわれない、簡素な構造と作製工程を用い、構成部品を全て一体集積化したモノリシック微小共振器型波長変換素子を開発した。c軸配向した窒化物半導体GaN薄膜を深堀りして形成されるモノリシック微小共振器構造を作製することで基本波の電界強度を増強し、かつ共振器鏡での反射位相変化を精密に制御し第二高調波の位相を調整することで、従来の強誘電体素子nにおける結晶方位の周期変調(分極反転)のような特殊な構造が一切不要となる。実際に、全長10 μmという世界最小サイズの波長変換素子の作製と、波長変換素子としての機能の実証に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で原理実証したモノリシック微小共振器型波長変換デバイスは、従来の「複屈折性や分極反転が必須」という波長変換素子の既成概念を覆す、結晶工学・量子光学分野における画期的な提案であり、これにより非線形光学材料の選択肢が劇的に広がる。またそのサイズは通常強誘電体のバルク非線形光学結晶の場合の1/10000という世界最小サイズであり、近い将来実現する光量子コンピュータなどの光集積システムへの応用が期待される。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2018 2017 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (40件) (うち国際学会 7件、 招待講演 5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Polarity inversion of aluminum nitride by direct wafer bonding2018

    • 著者名/発表者名
      Hayashi, Y; Katayama, R; Akiyama, T; Ito, T; Miyake, H
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS EXPRESS

      巻: 11 号: 3 ページ: 31003-31003

    • DOI

      10.7567/apex.11.031003

    • NAID

      210000136117

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Absolute technique for measuring internal electric fields in InGaN/GaN light-emitting diodes by electroreflectance applicable to all crystal orientations2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoyuki Tanikawa, Kanako Shojiki, Ryuji Katayama, Shigeyuki Kuboya, Takashi Matsuoka, Yoshio Honda, Hiroshi Amano
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 10 号: 8 ページ: 082101-082101

    • DOI

      10.7567/apex.10.082101

    • NAID

      210000135940

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Si台座構造上 GaNモノリシック微小二重共振器型第二高調波発生デバイスの作製2018

    • 著者名/発表者名
      南部 誠明,永田 拓実,塩見 圭史,藤原 康文,大西 一生,谷川 智之,上向井 正裕,片山 竜二
    • 学会等名
      第66回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 量子相関光子対発生に向けたZnO/ZnMgO多重量子井戸微小共振器の設計2018

    • 著者名/発表者名
      矢野 岳人,松井 裕輝,上向井 正裕,片山 竜二
    • 学会等名
      第66回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of GaN monolithic doubly-resonant microcavity SHG device on Si trapezoidal structure2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nambu, T. Komatsu, M. Uemukai, K. Shiomi, Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 量子コンピュータ開発と結晶技術2018

    • 著者名/発表者名
      片山 竜二
    • 学会等名
      日本学術振興会 第161委員会 第109回研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of GaN Monolithic Doubly-Resonant Microcavity SHG Device on Si Substrate2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nambu, T. Komatsu, M. Uemukai, K. Shiomi, Y. Fujiwara, J. Tajima, T. Hikosaka, S. Nunoue and R. Katayama
    • 学会等名
      窒化物半導体国際ワークショップ IWN2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design of ZnO-Based Microcavities with SiO2/ZrO2 Distributed Bragg Reflectors for Entangled Photon Pair Generation2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsui, T. Yano, M. Uemukai and R. Katayama
    • 学会等名
      第37回 電子材料シンポジウム EMS37
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of GaN Monolithic Doubly-Resonant Microcavity SHG Device2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nambu, T. Komatsu, K. Shiomi, Y. Fujiwara, M. Uemukai and R. Katayama
    • 学会等名
      第37回 電子材料シンポジウム EMS37
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 横型疑似位相整合極性反転AlN導波路を用いた深紫外光源2018

    • 著者名/発表者名
      片山 竜二,山口 修平,小野寺 卓也,山内 あさひ,上向井 正裕,林 侑介,三宅 秀人
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年ソサイエティ大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] ZnO系ワイドギャップ半導体微小共振器を用いた量子相関光子対発生素子の設計2018

    • 著者名/発表者名
      矢野 岳人,上向井 正裕,片山 竜二
    • 学会等名
      第10回 日本結晶成長学会 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Design and Fabrication of GaN Monolithic Doubly-Resonant Microcavity SHG Device2018

    • 著者名/発表者名
      T. Nambu, M. Uemukai, R. Fuji, T. Yamada, Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      第19回 有機金属気相成長法に関する国際会議 ICMOVPE-XIX
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 窒化物半導体極性制御特異構造の非線形光学素子応用2018

    • 著者名/発表者名
      片山竜二
    • 学会等名
      科学研究費補助金 新学術領域研究 領域報告会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 深溝周期構造を用いたGaAsP量子井戸波長可変単一モードレーザー2018

    • 著者名/発表者名
      上向井 正裕,片山 竜二
    • 学会等名
      第38回 レーザー学会 学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Second harmonic generation from polarity-inverted GaN waveguide2018

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2018
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ZrO2 /AlN積層導波路を用いた深紫外第二高調波発生デバイスの設計2018

    • 著者名/発表者名
      山口 修平,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,山田 智也,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合とSi基板剥離によるGaN極性反転構造の作製2018

    • 著者名/発表者名
      小野寺 卓也,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,久志本 真希,鄭 惠貞,本田 善央,天野 浩,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 量子光学応用のための光導波路型マッハツェンダ干渉計の開発:GaNリブ導波路型方向性結合器の特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      三輪 純也,紀平 将史,上向井 正裕,藤 諒健,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 量子光学応用のための光導波路型マッハツェンダ干渉計の開発:GaNストリップ導波路型方向性結合器の設計2018

    • 著者名/発表者名
      紀平 将史,三輪 純也,上向井 正裕,藤 諒健,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] GaNモノリシック微小二重共振器型第二高調波発生デバイスの作製2018

    • 著者名/発表者名
      南部 誠明,上向井 正裕,藤 諒健,山田 智也,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 周期的スロット構造を用いたGaAsP波長可変単一モードレーザ2018

    • 著者名/発表者名
      楠本 壮,上向井 正裕,片山 竜二
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] GaAsP quantum well tunable single-mode semiconductor lasers with deeply etched periodic structures2017

    • 著者名/発表者名
      M. Uemukai, A. Yamashita, S. Kusumoto, R. Katayama
    • 学会等名
      発光素子とその産業応用に関する国際学会 LEDIA'17
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 窒化物半導体極性制御特異構造の非線形光学素子応用2017

    • 著者名/発表者名
      片山 竜二
    • 学会等名
      科学研究費補助金 新学術領域研究 領域報告会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Face to FaceアニールによるAlN分極反転構造の作製と評価2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介,三宅 秀人,平松 和政,片山 竜二
    • 学会等名
      第9回 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 量子光学応用のための光導波路型マッハツェンダ干渉計の開発:GaNリブ導波路型方向性結合器の作製2017

    • 著者名/発表者名
      三輪 純也,上向井 正裕,藤 諒健,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第78回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] GaNモノリシック微小二重共振器型第二高調波発生デバイスの設計2017

    • 著者名/発表者名
      南部 誠明,上向井 正裕,藤 諒健,山田 智也,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第78回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] AlN・GaN・LiNbO3の表面活性化ウエハ接合技術の開発2017

    • 著者名/発表者名
      小野寺 卓也,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,片山 竜二
    • 学会等名
      第78回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 極性反転積層AlN光導波路を用いた波長変換デバイスの設計2017

    • 著者名/発表者名
      山口 修平,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,山田 智也,藤原 康文,片山 竜二
    • 学会等名
      第78回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 疑似位相整合SHGに向けたFace to FaceアニールによるAlN分極反転構造の作製2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介,三宅 秀人,平松 和政,片山 竜二
    • 学会等名
      第78回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 量子井戸DBRレーザを用いたモノリシック光集積デバイス2017

    • 著者名/発表者名
      上向井 正裕
    • 学会等名
      第10回 窒化物半導体の成長・評価に関する夏期ワークショップ
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] "疑似位相整合SHGに向けたFace to FaceアニールによるAlN極性 反転構造の作製"2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介
    • 学会等名
      第10回 窒化物半導体の成長・評価に関する夏期ワークショップ
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 極性反転積層AlN光導波路を用いた波長変換デバイス2017

    • 著者名/発表者名
      山口 修平
    • 学会等名
      第10回 窒化物半導体の成長・評価に関する夏期ワークショップ
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 光導波路型マッハツェンダ干渉計のためのGaN方向性結合器2017

    • 著者名/発表者名
      三輪 純也
    • 学会等名
      第10回 窒化物半導体の成長・評価に関する夏期ワークショップ
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] GaAsP quantum well single-mode semiconductor laser with periodically slotted structure2017

    • 著者名/発表者名
      S. Kusumoto, M. Uemukai and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of Surface-Activated Wafer Bonding Method of AlN, GaN and LiNbO32017

    • 著者名/発表者名
      T. Onodera, M. Uemukai, K. Takahashi, M. Iwaya, I. Akasaki, Y. Hayashi, H. Miyake and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Polarity inversion of AlN fabricated by wafer bonding and its atomic arrangement models2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Hayashi, H. Miyake,K. Hiramatsu, T. Akiyama, T. Ito and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Design of polarity-inverted multilayer AlN waveguide for deep UV second harmonic generation2017

    • 著者名/発表者名
      S. Yamaguchi, M. Uemukai, K. Takahashi, M. Iwaya, I. Akasaki, Y. Hayashi, H. Miyake, T. Yamada, Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Design of GaN monolithic doubly-resonant microcavity SHG device2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nambu, M. Uemukai, R. Fuji, T. Yamada, Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] GaN rib waveguide directional coupler for optical quantum information processing systems2017

    • 著者名/発表者名
      J. Miwa, M. Kihira, M. Uemukai, R. Fuji, Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      第36回 電子材料シンポジウム EMS36
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Abrupt Polarity Inversion of AlN for Second Harmonic Generation in DUV Region2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Hayashi, H. Miyake,K. Hiramatsu, T. Akiyama, T. Ito and R. Katayama
    • 学会等名
      紫外発光材料及びデバイスに関する国際ワークショップ IWUMD2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of Surface-Activated Wafer Bonding Method of AlN, GaN and LiNbO32017

    • 著者名/発表者名
      T. Onodera, M. Uemukai, K. Takahashi, M. Iwaya, I. Akasaki, Y. Hayashi, H. Miyake and R. Katayama
    • 学会等名
      紫外発光材料及びデバイスに関する国際ワークショップ IWUMD2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ワイドギャップ窒化物半導体による量子情報処理システム開発2017

    • 著者名/発表者名
      片山竜二
    • 学会等名
      日本学術振興会 第162委員会 第106回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [備考] 大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻 片山竜二研究室 研究内容紹介

    • URL

      http://www.qoe.eei.eng.osaka-u.ac.jp/research.html

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書

URL: 

公開日: 2017-07-21   更新日: 2024-12-25  

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