| 研究課題/領域番号 |
18063011
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| 研究種目 |
特定領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
堀 勝 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80242824)
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| 研究分担者 |
高島 成剛 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (80397471)
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| 連携研究者 |
竹田 圭吾 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00377863)
竹内 和歌奈 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (90569386)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
174,600千円 (直接経費: 174,600千円)
2009年度: 30,000千円 (直接経費: 30,000千円)
2008年度: 42,200千円 (直接経費: 42,200千円)
2007年度: 50,700千円 (直接経費: 50,700千円)
2006年度: 51,700千円 (直接経費: 51,700千円)
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| キーワード | 自己組織化 / カーボンナノ構造体 / グラフェンシート / 半導体物性 / プラズマプロセス / カーボンナノウォール / 電気特性 / チャネルエンジニアリング / ラジカル注入型プラズマCVD装置 / 形状制御 / 抵抗値 / n型ドープ / ラジカル注入型プラズマCVD / 赤外吸収スペクトル測定 / n型伝導カーボンナノウォール / 界面構造 / 接触抵抗 / トランスミッションライン法 / ラピッドサーマルアニール / 単一架橋カーボンナノウォール / 電子ビーム励起プラズマ / ドーピング / 先端機能デバイス |
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| 研究概要 |
カーボンナノウォ-ルは、基板に対して垂直成長した積層グラフェンシートで構成されたカーボンナノ材料の一種であり、その特徴的な形状と、優れた電気的特性から次世代のデバイス材料としてその応用が期待されている。本研究では、カーボンナノウォ-ルの結晶構造、配向性および電気的特性を制御するために、プラズマ化学気相堆積法によるカーボンナノウォ-ル成における成長機構を解明し、カーボンナノウォ-ルの制御合成技術を確立した。精密なプラズマ気相計測と制御に基づいた制御合成技術により、ラジカルやイオンの個別制御が可能となる。また活性種の組成だけではなく、イオンのエネルギーとフラックスが、カーボンナノウォ-ル成長や形態の決定要因であることと、カーボンナノウォ-ル成長に最適なラジカル、イオンの照射条件を明らかにした。
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