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放射光X線マイクロプローブによるナノデバイス材料・界面の物性評価

研究課題

研究課題/領域番号 18063019
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関財団法人高輝度光科学研究センター

研究代表者

木村 滋  財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 副主席研究員 (50360821)

研究分担者 坂田 修身  財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 主幹研究員 (40215629)
田尻 寛男  財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 (70360831)
今井 康彦  財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 (30416375)
研究期間 (年度) 2006 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
45,600千円 (直接経費: 45,600千円)
2009年度: 10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
2008年度: 10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
2007年度: 11,900千円 (直接経費: 11,900千円)
2006年度: 11,900千円 (直接経費: 11,900千円)
キーワード結晶工学 / 表面・界面物性 / マイクロX線回折 / シンクロトロン放射光 / X線回折 / 界面物性 / 薄膜 / 歪み / 微小領域 / 薄膜構造 / 金属錯体 / X繰回折
研究概要

半導体集積回路の基本素子である金属-絶縁膜-半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)の技術開発において、これまでの技術の延命では達成困難な超高集積度、高性能・高機能性を追求し、実現するためには、デバイス中の各パーツの結晶構造や応力分布を解析し、最適な構造にすることが必要不可欠になってきている。そこで、SPring-8の高輝度放射光を用いたマイクロプローブX線技術を発展させ、ナノデバイス材料・界面のナノメーターレベルの微小領域に存在する歪や構造の評価を可能にする高分解能マイクロX線回折システムを開発した。

報告書

(6件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2010 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (16件) (うち査読あり 14件) 学会発表 (35件) 図書 (3件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings Vol.1221

      ページ: 30-32

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithic Self-Sustaining Nanographene Sheet Grown Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2010

    • 著者名/発表者名
      W. Takeuchi, K. Takeda, M. Hiramatsu, Y. Tokuda, H. Kano, S. Kimura, O. Sakata, H. Tajiri, M. Hori
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A Vol.207

      ページ: 139-143

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural change of direct silicon bonding substrates by interfacial oxide out-diffusion annealing2010

    • 著者名/発表者名
      T. Kato, Y. Nakamura, J. Kikkawa, A. Sakai, E. Toyoda, K. Izunome, O. Nakatsuka, S. Zaima, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata
    • 雑誌名

      Thin Solid Films Vol.518

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithic Self-Sustaining Nanographene Sheet Grown Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2010

    • 著者名/発表者名
      W.Takeuchi
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A 207

      ページ: 139-143

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Imai
    • 雑誌名

      AIP conference proceedings 1221

      ページ: 30-33

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ lattice-strain analysis of a ferroelectric thin film under an applied pulse electric field2010

    • 著者名/発表者名
      O.Sakata
    • 雑誌名

      AIP conference proceedings (印刷中)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microstructures in directly bonded Si substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohara, T. Ueda, A. Sakai, O. Nakatsuka, M. Ogawa, S. Zaima, E. Toyoda, H. Isogai, T. Senda, K. Izunome, H. Tajiri, O. Sakata, S. Kimura, T. Sakata, H. Mori
    • 雑誌名

      Solid-State Electronics Vol.53

      ページ: 837-840

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microstructures in directly bonded Si substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohara
    • 雑誌名

      Solid-State Electronics 53

      ページ: 837-840

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microstructures in directly bonded Si substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohara, T. Ueda, A. Sakai, O. Nakatsuka, M. Ogawa, S. Zaima, E. Toyoda, H. Isogai, T. Senda, K. Izunome, H. Tajiri, O. Sakata, S. Kimura, T. Sakata, H. Mori
    • 雑誌名

      Solid-State Electronics Vol. 53

      ページ: 837-840

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of strained Si wafers by X-ray diffraction techniques2008

    • 著者名/発表者名
      T. Shimura, K. Kawamura, M. Asakawa, H. Watanabe, K. Yasutake, A. Ogura, K. Fukuda, O. Sakata, S. Kimura, H. Edo, S. Iida, M. Umeno
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science: Materials in Electronics Vol.19

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of strained Si wafers by X-ray diffraction techniques2008

    • 著者名/発表者名
      T. Shimura, K. Kawamura, M. Asakawa, H. Watanabe, K. Yasutake, A. Ogura, K. Fukuda, O. Sakata, S. Kimura, H. Edo, S. Iida, and M. Umeno
    • 雑誌名

      J Mater Sci: Mater Electron Vol. 19

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Depth Distribution of Ge Fraction in Very-Thin-SGOI Layer Using Total-External-Reflection X-ray Diffraction2008

    • 著者名/発表者名
      T. Kawamura
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan 33

      ページ: 599-602

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of Strained Si Wafers by X-ray Diffraction Techniques2008

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Shimura
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science: Materials in Electronics 19(印刷中)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 放射光マイクロX線回折法による歪緩和SiGeバッファー層の評価2007

    • 著者名/発表者名
      木村 滋
    • 雑誌名

      機能材料 27・3

      ページ: 59-65

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of a High-Angular- Resolution Microdiffraction System for Reciprocal Space Map Measurements2006

    • 著者名/発表者名
      S. Takeda, S. Kimura, O. Sakata, and A. Sakai
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

    • NAID

      10018340745

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a High-Angular-Resolution Micro-diffraction System for Reciprocal Space Map Measurements2006

    • 著者名/発表者名
      Shingo Takeda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・39

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] シンクロトロンX線回折によるカーボンナノウォールの結晶構造解析2010

    • 著者名/発表者名
      近藤博基
    • 学会等名
      57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(平塚市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Distribution of local strain in thick AlN layers grown on a trench-patterned AlN/sapphire template2010

    • 著者名/発表者名
      V.Soam
    • 学会等名
      57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(平塚市)
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Si基板上に選択エピタキシャル成長したGe細線の歪緩和過程2010

    • 著者名/発表者名
      海老原洪平
    • 学会等名
      57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(平塚市)
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CCD型検出器を用いた高角度分解能マイクロx線回折計2010

    • 著者名/発表者名
      今井康彦, 木村滋, 坂田修身, 田尻寛男, 酒井朗, 小瀬村大亮, 小椋厚志
    • 学会等名
      第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      2010-01-08
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] シングルバンチ切り出しチョッパーシステムの開発2010

    • 著者名/発表者名
      大沢仁志
    • 学会等名
      第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      イーグレ姫路(姫路市)
    • 年月日
      2010-01-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CCD型検出器を用いた高角度分解能マイクロX線回折計2010

    • 著者名/発表者名
      今井康彦
    • 学会等名
      第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      イーグレ姫路(姫路市)
    • 年月日
      2010-01-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Nanometer-scale charac-terization technique using synchrotron radiation microdiffraction2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kimura
    • 学会等名
      Japan-Taiwan Joint Symposium on New Functional Materials and Their Nano-Scale Analysis
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2009-11-25
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanometer-scale characterization technique using synchrotron radiation microdiffraction (Invited)2009

    • 著者名/発表者名
      S.Kimura
    • 学会等名
      Japan-Taiwan Joint Symposium on New Functional Materials and Their・Nano-Scale Analysis
    • 発表場所
      京都大学化学研究所(京都)
    • 年月日
      2009-11-25
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Micro-Area Strain Analysis in GaN-Based Laser Diodes Using High-Resolution Micro-Beam X-Ray Diffraction2009

    • 著者名/発表者名
      T.Yokogawa
    • 学会等名
      8th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS 2009)
    • 発表場所
      International Convention Center (Jeju Island)
    • 年月日
      2009-10-21
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] In-situ lattice-strain analysis of a ferroelectric thin film under an applied pulse electric field2009

    • 著者名/発表者名
      O.Sakata
    • 学会等名
      10th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI09)
    • 発表場所
      Melbourne Convention and Exhibition Centre (Melbourne)
    • 年月日
      2009-09-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Direct Si Bonding基板の微細構造2009

    • 著者名/発表者名
      吉川純
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 高輝度放射光を用いたカーボンナノウォールのバンド構造解析2009

    • 著者名/発表者名
      竹内和歌奈
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 放射光マイクロX線回折を用いたマイクロファセット上InGaN/GaN量子井戸構造の評価2009

    • 著者名/発表者名
      榊篤史
    • 学会等名
      56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学(つくば市)
    • 年月日
      2009-04-02
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Direct Si Bonding基板の接合界面酸化膜消滅過程における結晶性変化2009

    • 著者名/発表者名
      加藤哲司
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学, 茨城
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] カーボンナノウォールの構造及び電子状態におけるフッ素不純物の影響2009

    • 著者名/発表者名
      竹内和歌奈
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学, 茨城
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] SPring-8でのシリコンナノエレクトロニクス研究の現状2009

    • 著者名/発表者名
      木村滋
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会シンポジウム「シリコン系材料・プロセス評価の最前線-放射光利用による新展開」
    • 発表場所
      日本大学船橋キャンパス
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] 高分解能マイクロx線回折装置の現状と応用研究2009

    • 著者名/発表者名
      今井康彦、木村滋、坂田修身、田尻寛男
    • 学会等名
      第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 年月日
      2009-01-12
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] 高分解能マイクロX線回折装置の現状と応用研究2009

    • 著者名/発表者名
      今井康彦
    • 学会等名
      第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学, 東京
    • 年月日
      2009-01-12
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai
    • 学会等名
      20th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
    • 発表場所
      Karlsruhe, Germany
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Analysis of Local Strain in Ge_<1-X>Sn_x/Ge/Si(001) Heterostructures by X-ray Microdiffraction2009

    • 著者名/発表者名
      O.Nakatsuka
    • 学会等名
      6th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-6)
    • 発表場所
      Ayres Hotel (California)
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Imai
    • 学会等名
      20th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis (ICXOM20)
    • 発表場所
      Congress Center(Karlsruhe)
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Direct Si Bonding基板の微細構造2008

    • 著者名/発表者名
      大原悠司
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Direct Silicon Bonding(DSB)基板の結晶性の評価2008

    • 著者名/発表者名
      豊田英二
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 放射光X線マイクロビームによるSiGe酸化濃縮時における歪み緩和過程の局所領域評価2008

    • 著者名/発表者名
      井上智之
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] SPring-8 でのシリコンナノエレクトロニクス研究の現状2008

    • 著者名/発表者名
      木村 滋
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学船橋キャンパス,千葉
    • 年月日
      2008-03-29
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 微小領域選択MOVPEにより作製したSi(111)面上InGaAsの構造解析2008

    • 著者名/発表者名
      杉山 正和
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学船橋キャンパス,千葉
    • 年月日
      2008-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 人口転位網を内包したSOI-MOSFETの単電子輸送特性2008

    • 著者名/発表者名
      笠井 勇希
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学船橋キャンパス,千葉
    • 年月日
      2008-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Development of Diffraction Techniques for Dimensionally Controned Thin Films using Synchrotron Radiation2008

    • 著者名/発表者名
      木村 滋
    • 学会等名
      第21回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      立命館大学びわこ草津キャンパス,滋賀
    • 年月日
      2008-01-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Microstructures in Directly Bonded Si Substrates2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohara
    • 学会等名
      Fourth International SiGe Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Application of Synchrotron X-ray Diffraction Methods to Gate Stacks of Advanced MOS Devices2008

    • 著者名/発表者名
      T. Shimura
    • 学会等名
      213th ECS Meeting
    • 発表場所
      Phoenix, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Strain Relaxation Process during Ge Condensation by Synchrotron Microbeam X-ray Diffraction2008

    • 著者名/発表者名
      T. Inoue
    • 学会等名
      2008 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Interface and defect control for group IV channel engineering2008

    • 著者名/発表者名
      A. Sakai
    • 学会等名
      214th ECS Meeting
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Strain and interfacial defects in directly bonded Si substrates2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohara
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia 2008
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Local Strains in Sil-xGex Hetero-mesa Structures on Si(001) Substrates by using X-ray Micro Diffraction2007

    • 著者名/発表者名
      Osamu Nakatsuka
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-V)
    • 発表場所
      首都大学東京,東京
    • 年月日
      2007-10-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Strained Si Wafers by Synchrotron X-ray Microbeam and Topography2007

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Shimura
    • 学会等名
      12th International Conf. on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XII)
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2007-09-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] 「第3版現代界面コロイド化学の基礎」, "放射光を利用した表面x線構造解析", 9章2009

    • 著者名/発表者名
      木村滋、坂田修身
    • 出版者
      丸善
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [図書] 「機能物質・材料開発と放射光-SPring-8の産業利用-」, "放射光マイクロx線回折法によるひずみ緩和SiGeバッファー層の評価", 第9章2008

    • 著者名/発表者名
      木村滋、竹田晋吾、酒井朗
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [図書] 機能物質・材料開発と放射光 -SPring-8の産業利用-, 放射光マイクロX線回折法によるひずみ緩和SiGeバッファー層の評価, 第9章2008

    • 著者名/発表者名
      木村 滋、竹田晋吾、酒井 朗
    • 出版者
      シーエムシー出版, 東京
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.spring8.or.jp/ja/memberdata/04124

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [備考] ホームページ

    • URL

      http://www.spring8.or.jp/ja/memberdata/04124

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2018-03-28  

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