| 研究課題/領域番号 |
18080002
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| 研究種目 |
特定領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 埼玉大学 |
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研究代表者 |
明連 広昭 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (20219827)
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| 研究分担者 |
田井野 徹 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (40359592)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
51,500千円 (直接経費: 51,500千円)
2009年度: 4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
2008年度: 4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
2007年度: 7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
2006年度: 35,600千円 (直接経費: 35,600千円)
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| キーワード | 単一磁束量子論理 / マイクロストリップ線路 / 電子ビーム描画 / 非水めっき法 / 単一磁束量子論理回路 / ストリップ線路 / 磁気シールド構造 |
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| 研究概要 |
絶縁層に比誘電率の大きなアルミナを用いたマイクロストリップ線路を設計・作製し、マイクロストリップ線路の線路幅と負荷Q値の関係を調べ、負荷Q値は100程度で線路幅の減少とともに緩やかに減少することがわかった。
有機溶媒を用いた非水めっき法によるNb薄膜の堆積に関する研究を行い、NbCl_5とTCMClを含むACN溶液を液体窒素冷却により精製しためっき浴から連続な金属光沢のある薄膜が得られることを見出した。この薄膜のX線回折パターンはNb(110)に対応するピークが存在し、室温における非水めっき法によりNb金属薄膜の堆積の可能性が示唆された。
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