| 研究課題/領域番号 |
18205021
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機能材料・デバイス
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
鯉沼 秀臣 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (70011187)
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| 研究分担者 |
知京 豊裕 独立行政法人物質, 材料研究機構・ナノマテリアル研究所, リサーチフェロー (10354333)
伊高 健治 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (40422399)
大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
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| 連携研究者 |
大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
50,960千円 (直接経費: 39,200千円、間接経費: 11,760千円)
2008年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2007年度: 22,230千円 (直接経費: 17,100千円、間接経費: 5,130千円)
2006年度: 24,570千円 (直接経費: 18,900千円、間接経費: 5,670千円)
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| キーワード | 電子・電気材料 / MBE、エピタキシャル / ナノ材料 / 超薄膜 / 表面・界面物性 |
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| 研究概要 |
物理的・化学的に超クリーンな環境で、合成から構造解析・物性評価に至るプロセスを一貫して進行させる高速かつ省エネルギーな革新的ものづくり研究開発システムの構築を目指し、超小型パルスレーザ薄膜堆積ユニットと、複数のモジュールを接続するフレキシブル試料搬送ユニット(中央制御機構)を開発した。超小型KrF レーザや板バネを用いた新搬送機構の採用によりスペースを従来システムの1/4以下にし、かつ自由度の高い薄膜・評価システムの構築を実現した。
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