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六方晶BN窒化物半導体に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 18206004
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所

研究代表者

小林 康之  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 機能物質科学研究部・薄膜材料研究グループ, 主幹研究員 (90393727)

研究分担者 牧本 俊樹  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 機能物質科学研究部, 部長 (50374070)
赤坂 哲也  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 機能物質科学研究部, 主任研究員 (90393735)
西川 敦  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 機能物質科学研究部, 社員 (60417095)
中野 秀俊  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子光物性研究部, 主幹研究員 (90393793)
後藤 秀樹  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子光物性研究部, 主幹研究員 (10393795)
俵 毅彦  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子光物性研究部, 研究主任 (40393798)
眞田 治樹 (眞田 浩樹)  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子光物性研究部, 社員 (50417094)
研究期間 (年度) 2006 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
40,430千円 (直接経費: 31,100千円、間接経費: 9,330千円)
2009年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
2008年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
2007年度: 11,960千円 (直接経費: 9,200千円、間接経費: 2,760千円)
2006年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
キーワード半導体 / 結晶成長 / 半導体物性 / 光物性 / エピタキシャル成長
研究概要

我々は、有機金属気相成長法により、(0001)六方晶窒化ホウ素薄膜が、ニッケル(111)基板とサファイア(0001)基板上にエピタキシャル成長することを見出した。六方晶窒化ホウ素エピタキシャル薄膜は、カソードルミネッセンス測定から室温において227nm付近のバンド端近傍の発光を示し、その光学バンドギャップは、5.9eV、直接遷移であり、遠紫外発光材料として有望である。

報告書

(6件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (45件)

すべて 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (20件) (うち査読あり 15件) 学会発表 (23件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Optical band gap of h-BN epitaxial film grown on c-plane sapphire substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、C.L. Tsai、T. Akasaka
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(c) (in press)

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 六方晶窒化ホウ素のエピタキシャル成長とその紫外発光特性2010

    • 著者名/発表者名
      小林康之、C.L. Tsai、赤坂哲也
    • 雑誌名

      表面科学 31巻

      ページ: 99-105

    • NAID

      10026319493

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Optical band gap of h-BN epitaxial film grown on c-plane sapphire substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, C-L.Tsai, T.Akasaka
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(c) (掲載確定)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 六方晶窒化ホウ素のエピタキシャル成長とその紫外発光特性2010

    • 著者名/発表者名
      小林康之、蔡俊瓏、赤坂哲也
    • 雑誌名

      表面科学 31

      ページ: 99-105

    • NAID

      10026319493

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] Molecular beam epitaxial growth of hexagonal boron nitride on Ni(111) substrate2009

    • 著者名/発表者名
      C.L. Tsai、T. Akasaka、Y. Kobayashi
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth Vol.311

      ページ: 3054-3057

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hexagonal BN epitaxial growth on (0001) sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Akasaka
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth Vol.310

      ページ: 5044-5047

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hexogonal boron nitride grown by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Akasaka、T. Makimoto
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth Vol.310

      ページ: 5048-5052

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hexagonal BN epitaxial growth on(0001)sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka
    • 雑誌名

      Journal of crystal growth Vol.310

      ページ: 5044-5047

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hexagonal BN epitaxial growth on (0001) sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 310

      ページ: 5044-5047

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hexagonal boron nitride grown by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka, T. Makimoto
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 310

      ページ: 5048-5052

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nonpolar AlBN (1120) and (1100) films grown on SiC substrate2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka、Y. Kobayashi、T. Makimoto
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.91

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Boron Nitride Thin Films Grown on Graphitized 6H-SiC Substrates by Metalorganic Vapor phase Epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, H. Hibino, T. Nakamura, T. Akasaka, T. Makimoto, N. Matsumoto
    • 雑誌名

      Japanese Jounal of Applied Physics Vol.46

      ページ: 2554-2557

    • NAID

      210000062433

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultraviolet luminescence from hexagonal boron nitride heteroepitaxial layers on Ni(111) grown by flow-rate modulation epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Nakamura、T. Akasaka、T. Makimoto、N. Matsumoto
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(b) Vol.244

      ページ: 1789-1792

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] BGaN micro-islands as novel buffers fro growth of high quality GaN on sapphire2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka、Y. Kobayashi、T. Makimoto
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth Vol.298

      ページ: 320-324

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nonpolar AlBN(1120)and(1100)films grown on SiC substrates2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka, Y. Kobayashi, T. Makimoto
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.91

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultraviolet luminescence from hexagonal boron nitride heteroepitaxial layers on Ni(111)grown by flow-rate modulation epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Nakamura, T. Akasaka, T. Makimoto, N. Matsumoto
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(b) Vol.244

      ページ: 1789-1792

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nonpolar A1BN(1120) and(1100) films grown on SiC substrates2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka, Y. Kobayashi, T. Makimoto
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 91

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Boron Nitride Thin Films Grown on Graphitized <6H-SiC> Substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, H.Hibino, T.Nakamura, T.Akasaka, T.Makimoto, N.Matsumoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46

      ページ: 2554-2557

    • NAID

      210000062433

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Ultraviolet luminescence from hexagonal boron nitride heteroepitaxial layers on Ni(111) grown by flow-rate modulation epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, T.Nakamura, T.Akasaka, T.Makimoto, N.Matsumoto
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (b) 244

      ページ: 1789-1792

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] BGaN micro-islands as novel buffers for growth of high-quality GaN on sapphire2007

    • 著者名/発表者名
      T.Akasaka, Y.Kobayashi, T.Makimoto
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 298

      ページ: 320-324

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] Optical Band Gap of Hexagonal BN Epitaxial Film Grown on c-Plane Sapphire Substrate2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayahi、T. Akasaka
    • 学会等名
      2009 Asia-Core Workshop on Wide Bandgap Semiconductors、招待講演
    • 発表場所
      韓国、慶州
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Optical Band Gap of Hexagonal BN Epitaxil Film Grown on c-Plane Sapphire Substrate2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayahi、C.L. Tsai、T. Akasaka
    • 学会等名
      8th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Hexagonal BN epitaxial Growth by Flow-Rate Modulation Epitaxy on MBE-Grown h-BN Buffer Layer2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayahi、C.L. Tsai、T. Akasaka
    • 学会等名
      8th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Near Band-Gap Luminescnece of Hexagonal Boron Nitride Grown on Ni(111) Substrtae by Plasma-assisted MBE2009

    • 著者名/発表者名
      C.L. Tsai、Y. Kobayashi、T. Akasaka、M. Kasu
    • 学会等名
      Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      アメリカ、ペンシルベニア
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Near Band-Gap Luminescence of Hexagonal Boron Nitride Grown on Ni(111)Substrate by Plasma-assisted MBE2009

    • 著者名/発表者名
      C.L.Tsai, Y.Kobayashi, T.Akasaka, M.Kasu
    • 学会等名
      Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      アメリカ、ペンシルベニア州
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Optical Band Gap of Hexagonal BN Epitaxial Film Grown on c-Plane Sapphire Substrate2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, C.L.Tsai, T.Akasaka
    • 学会等名
      8^<th> International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Hexagonal BN Epitaxial Growth by Flow-Rate Modulation Epitaxy on MBE-Grown h-BN Buffer Layer2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, C.L.Tsai, T.Akasaka
    • 学会等名
      8^<th> International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Optical band gap of hexagonal boron nitride epitaxial film grown on c-plane sapphire substrate2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Kobayashi, T.Akasaka
    • 学会等名
      2009 Asia-Core Workshop on Wide Bandgap Semiconductors
    • 発表場所
      韓国、慶州
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Molecular beam epitaxial growth of hexagonal boron nitride on Ni(111) substrtae2008

    • 著者名/発表者名
      C.L. Tsai、T. Akasaka、Y. Kobayashi
    • 学会等名
      Second International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      日本、修善寺
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Anisotropic in-plane strains in Al(B, Ga)N (11-20) films grown on SiC (11-20)2008

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka、Y. Kobayashi
    • 学会等名
      Second International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      日本、修善寺
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Hexagonal BN epitaxial growth on (0001) sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Akasaka
    • 学会等名
      14th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      フランス、メス
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Boron Nitride grown by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Akasaka
    • 学会等名
      14th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy、招待講演
    • 発表場所
      フランス、メス
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Hexagonal BN epitaxial growth on(0001)sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka
    • 学会等名
      14^<th> International conference on metal organic vapor phase epitaxy
    • 発表場所
      France
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [学会発表] Anisotropic in-plane strains in Al(B, Ga)N(1120)films grown on SiC(1120)2008

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka, Y. Kobayashi
    • 学会等名
      2^<nd> international symposium on growth of III-nitrides
    • 発表場所
      日本
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [学会発表] Molecular beam epitaxial growth of hexagonal boron nitride on Ni(111)substrate2008

    • 著者名/発表者名
      C. L.Tsai, Y. Kobayashi, T. Akasaka, M. Kasu
    • 学会等名
      2^<nd> international symposium on growth of III-nitrides
    • 発表場所
      日本
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [学会発表] Boron Nitiride grown by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka
    • 学会等名
      14th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      フランス、メス市
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Hexagonal BN epitaxial growth on (0001) sapphire substrate by MOVPE2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, T. Akasaka
    • 学会等名
      14th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      フランス、メス市
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Anisotropic in-plane strains in Al (B, Ga) N (11-20) films grown on SiC (11-20)2008

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka, Y. Kobayashi
    • 学会等名
      Second International Symposium on Growth of III-Nitirides
    • 発表場所
      日本、静岡、修善寺
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Molecular beam epitaxial growth of hexagonal boron nitride on Ni (111) substrate2008

    • 著者名/発表者名
      C. L. Tsai, Y. Kobayashi, T. Akasaka, M. Kasu
    • 学会等名
      Second International Symposium on Growth of III-Nitirides
    • 発表場所
      日本、静岡、修善寺
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Nonpolar AlBN (1120) and (1100) films grown on SiC substrates2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka、Y. Kobayashi、T. Makimoto
    • 学会等名
      7th International Conference of Nitride semiconductors
    • 発表場所
      アメリカ、ラスベガス
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] In-situ monitoring of hexagonal BN flow-rate modulation epitaxy by shallow-angle reflectance using ultraviolet light2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi、T. Miyamoto、T. Akasaka、T. Makimoto、N. Matsumoto
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      アメリカ、ソルトレイク
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] In-situ monitoring of hexagonal BN flow-rate modulation epitaxy by shallow-angle reflectance using ultraviolet light2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kobayashi, M. Miyamoto, T. Akasaka, T. Makimoto, N. Matsumoto
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      アメリカ,ソルトレイクシティ
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Nonpolar A1BN(1120) and(1100) films grown on SiC substrates2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akasaka, Y. Kobayashi, T. Makimoto
    • 学会等名
      7th International Conference of Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      アメリカ、ラスベガス
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 素子状態読み出し装置、方法、および透過型ジョセフソン共振回路

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 検出素子および検出方法

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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