• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

次世代マイクロダイヤモンドツールの3Dナノメートルエッジ形状の高速高精度計測

研究課題

研究課題/領域番号 18206016
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東北大学

研究代表者

高 偉  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)

研究分担者 小野 崇人  東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90282095)
厨川 常元  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90170092)
清水 浩貴  九州工業大学, 工学部, 准教授 (50323043)
荒井 義和  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
居 冰峰  東北大学, 大学院工学研究科, 助手 (10431529)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
50,050千円 (直接経費: 38,500千円、間接経費: 11,550千円)
2008年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
2007年度: 10,400千円 (直接経費: 8,000千円、間接経費: 2,400千円)
2006年度: 30,810千円 (直接経費: 23,700千円、間接経費: 7,110千円)
キーワードエッジ / 3次元形状 / 計測 / マイクロ / 工具 / 光プローブ / アライメント / AFM / 三次元形状
研究概要

先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (37件)

すべて 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 12件) 学会発表 (22件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] On-machine Measurement of Tool Cutting2009

    • 著者名/発表者名
      Takemi Asai, Sayeda Ferdous, Yoshikazu Arai, Yi Yang and Wei Gao
    • 雑誌名

      Edge Profiles IJAT Vol.3 No.4

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究-測定装置の構築と切れ刃形状測定実験-2009

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見, 荒井義和, 高偉
    • 雑誌名

      精密工学会誌 75(7)(印刷中)

    • NAID

      130000421706

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 3D Profile Measurement of Nanometer Cutting Edges of Single-Point Diamond Tools for Ultra-Precision Maching2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai, T. Asai, S. Ferdous and W. Gao
    • 雑誌名

      Advanced Material Research 69-70(in press)

      ページ: 138-142

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Precision and fast measurement of 3D cutting edge profiles of single point diamond micro-tools2009

    • 著者名/発表者名
      W. Gao, T. Asai, Y. Arai
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 58(in press)

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Precision and fast measurement of 3D cutting edge profiles of single point diamond micra-tools2009

    • 著者名/発表者名
      W. Gao, T. Asai, Y. Arai
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 58(In press)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究-測定装置の構築と切れ刃形状測定実験-2009

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見,荒井義和, 高偉
    • 雑誌名

      精密工学会誌 75(印刷中)

    • NAID

      130000421706

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] AFM with the Slope Compensation Technique for High-speed Precision Measurement of Micro-structured Surfaces2008

    • 著者名/発表者名
      Yuguo Cui, BinFeng Ju, Jun Aoki, Yoshikazu Arai, Wei Gao
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 35-38

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A high-speed atomic force microscope for precision measurement of micro-structured surfaces2008

    • 著者名/発表者名
      Yuguo Cui, Yoshikazu Arai, Takemi Asai, BinFeng Ju and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9-3

      ページ: 27-32

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A high-speed atomic force microscope for precision measurement of micro-structured surfaces2008

    • 著者名/発表者名
      Y. G. Cui, Y. Arai, T. Asai, B. F. Ju and W. Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9

      ページ: 27-32

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Bing-Feng Ju and Satoshi Kiyono ; An AFM-based Edge Profile Measuring Instrument for Diamond Cutting Tools2007

    • 著者名/発表者名
      Takemi Asai, Takenori Motoki, Wei Gao
    • 雑誌名

      IJPEM 8-2

      ページ: 54-58

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] AFM with the slope compensation technique for high-speed precision measurement of micro-structured surfaces2007

    • 著者名/発表者名
      Y. G. Gui
    • 雑誌名

      Proceedings of ISMTII 2007

      ページ: 469-472

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] An AFM-based measuring instrument for edge profile measurement of diamond cutting tool2007

    • 著者名/発表者名
      Takemi Asai
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 8・1B(in press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Nanometer edge profile measurement of diamond cutting tools by atomic force microscope with optical alignment sensor2006

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Takenori Motoki and Satoshi Kiyono
    • 雑誌名

      Precision Engineering 30(4)

      ページ: 396-405

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanometer edge profile measurement of diamond cutting tools by atomic force microscope with optical alignment sensor2006

    • 著者名/発表者名
      W.Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering 30・4

      ページ: 396-405

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] 超精密切削工具切れ刃の三次元形状測定に関する研究-加工機上測定実験-2009

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見, 荒井義和, 高偉
    • 学会等名
      2009年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      中央大学
    • 年月日
      2009-03-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Precision Measurement of Edge Profiles of Cutting Micro-tools2008

    • 著者名/発表者名
      Takemi ASAI, Yoshikazu ARAI and Wei GAO
    • 学会等名
      3rd International Conference on Positioning Technology
    • 発表場所
      Hamamatsu, Japan
    • 年月日
      2008-12-26
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 3D Profile Measurement of Nanometer Cutting Edges of Single-Point Diamond Tools for Ultra-Precision Machining2008

    • 著者名/発表者名
      Yoshikazu ARAI, Takemi ASAI and Wei GAO
    • 学会等名
      The 6th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining (6th CJICUPM, 2008)
    • 発表場所
      Hunan University, Changsha, China
    • 年月日
      2008-12-24
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanometric Edge Profile Measurement of CuttingTools on a Diamond Turning Machine2008

    • 著者名/発表者名
      Asai, T., Arai, Y., Cui, Y. and Gao, W.
    • 学会等名
      ISIST2008
    • 発表場所
      Shenyang, China
    • 年月日
      2008-12-17
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Precision Measurement of Edge Profiles of Cutting Micro-tools2008

    • 著者名/発表者名
      Takemi ASAI
    • 学会等名
      3rd International Conference on Positioning Technology (ICPT2008)
    • 発表場所
      Hamamatsu
    • 年月日
      2008-11-26
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 3D Profile Measurement of Nanometer Cutting Edges of Single-Point Diamond Tools for Ultra-Precision Machining2008

    • 著者名/発表者名
      Yoshikazu ARAI
    • 学会等名
      6th CJICUPM
    • 発表場所
      Changsha, China
    • 年月日
      2008-11-24
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Compensation of motion error in a high accuracy AFM2008

    • 著者名/発表者名
      Cui, Y., Arai, Y., He, G., Asai, T. and Gao, W.
    • 学会等名
      ISIST2008
    • 発表場所
      Shenyang, China
    • 年月日
      2008-09-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanometric Edge Profile Measurement of Cutting Tools on a Diamond Turning Machine2008

    • 著者名/発表者名
      Takemi Asai
    • 学会等名
      ISIST2008
    • 発表場所
      Shenyang, China
    • 年月日
      2008-09-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] マイクロ・ダイヤモンド切削工具切れ刃形状測定に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見, 荒井義和, 高偉
    • 学会等名
      2008年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      滋賀県立大学
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 高速高精度原子間力顕微鏡に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      崔玉国, 荒井義和, 高偉
    • 学会等名
      2008年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      滋賀県立大学
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロ・ダイヤモンド切削工具切れ刃形状測定に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見
    • 学会等名
      2008年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2008)
    • 発表場所
      滋賀県立大学, 滋賀県
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高速高精度原子間力顕微鏡に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      崔玉国
    • 学会等名
      2008年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2008)
    • 発表場所
      滋賀県立大学, 滋賀県
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] A spiral scanning-type AFM for high-speed and largearea measurement euspen 20082008

    • 著者名/発表者名
      Y. Cui, G. He, Y. Arai, T. Asai, W. Gao
    • 学会等名
      Zurich, Switzerland
    • 年月日
      2008-05-21
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] A spiral scanning-type AFM for high-speed and largearea measurement2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Cui
    • 学会等名
      euspen 2008
    • 発表場所
      Zurich, Switzerland
    • 年月日
      2008-05-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] An Instrument for Three-Dimensional Edge Profile Measurement of Micro-Cutting Tools2008

    • 著者名/発表者名
      T. Asai, Y. Arai, Y. Cui, W. Gao
    • 学会等名
      euspen 2008
    • 発表場所
      Zurich, Switzerland
    • 年月日
      2008-05-20
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] イヤモンド切削工具切れ刃形状測定装置の開発2007

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見, 荒井義和, 高偉
    • 学会等名
      2007年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      八戸工業大学
    • 年月日
      2007-12-01
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 高速高精度微細形状計測用AFMに関する研究-傾斜補正による測定の高速化-2007

    • 著者名/発表者名
      崔玉国, 荒井義和, 浅井岳見, 高偉
    • 学会等名
      007年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      八戸工業大学
    • 年月日
      2007-12-01
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロ・ダイヤモンド切削工具切れ刃形状測定装置の開発2007

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見
    • 学会等名
      2007年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      八戸工業大学
    • 年月日
      2007-12-01
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 高速高精度微細形状計測用AFMに関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      崔玉国
    • 学会等名
      2007年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      八戸工業大学
    • 年月日
      2007-12-01
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] AFM with Slope Compensation Teqnique for High-speed Precision Measurement of Micro-structured Surfaces2007

    • 著者名/発表者名
      Y. G. Cui, B. F. Ju, J. Aoki, Y. Arai and W. Gao
    • 学会等名
      ISMTII 2007
    • 発表場所
      Poster session
    • 年月日
      2007-09-20
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ダイヤモンド切削工具3Dエッジ形状の高精度自動測定装置の開発2007

    • 著者名/発表者名
      浅井岳見, 元木健順, 高偉, 清野慧
    • 学会等名
      2007年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2007-03-21
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] An AFM-based measuring instrument for edge profile measurement of diamond cutting tool2006

    • 著者名/発表者名
      Takemi Asai, Takenori Motoki, Wei Gao Bing-Feng Ju and Satoshi Kiyono
    • 学会等名
      2nd International Conference on Positioning Technology(Jeju-do, Korea)
    • 発表場所
      Poster session
    • 年月日
      2006-10-26
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.nano.mech.tohoku.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi