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液晶用メーター超級大型フォトマスク基板の高精度・高能率作製プロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18206017
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

森 勇蔵  大阪大学, 名誉教授 (00029125)

研究分担者 山村 和也  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (60240074)
佐野 泰久  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40252598)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
47,450千円 (直接経費: 36,500千円、間接経費: 10,950千円)
2008年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
2007年度: 17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2006年度: 22,100千円 (直接経費: 17,000千円、間接経費: 5,100千円)
キーワード液晶 / フォトマスク基板 / ウエットエッチング / 平坦度 / ローカルウエットエッチング / 数値制御加工 / 石英ガラス / プラズマ加工 / 精密研磨 / リソグラフィー
研究概要

局所的な液相エッチング領域を加工対象物の表面上において速度制御して走査することにより、平面基板の平坦度を向上させる数値制御ローカルウエットエッチング法を開発した。本研究では、液晶ディスプレイ作製用の大型フォトマスク基板の高能率・高精度加工を目的として直径125mmの大口径ノズルヘッドならびに2段階修正加工プロセスを開発し、1辺の長さが1mを超える超大型基板を実用的な加工時間で目標とする10μm以内の平坦度を達成する目途を得た。

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (31件)

すべて 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (15件) 図書 (3件) 産業財産権 (5件)

  • [雑誌論文] Figuring of Elliptical Neutron Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching2009

    • 著者名/発表者名
      Mikinori Nagano, Hiroyuki Takai, Kazu ya Yamamura, Dai Yamazaki, Ryuji Maruyama, Kazuhiko Soyama
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 407-408

      ページ: 376-379

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Figuring of Elliptical Neutron Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching2009

    • 著者名/発表者名
      Mikinori Nagano, et al.
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 407-408

      ページ: 376-379

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Figuring of elliptical hard X-ray focusing mirror using 1-dimensional numerically controlled local wet etching2008

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Yamamura, Hiroyuki Takai
    • 雑誌名

      Surf. Interface Anal. 40

      ページ: 1014-1018

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Figuring of elliptical hard X-ray focusing mirror using 1-dimensional numerically controlled local wet etching2008

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamura, et al.
    • 雑誌名

      Surf. Interface Anal. 40

      ページ: 1014-1018

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Ultra Precisi on Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Yamamura
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 56

      ページ: 541-544

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of numeric ally controlled local wet etching2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Yamamura
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials 8

      ページ: 158-161

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of numerically controlled local wet etching2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Yamamura
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials 8

      ページ: 158-161

    • NAID

      130004658449

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Ultra Precision Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Yamamura
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 56

      ページ: 541-544

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価-加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明-2008

    • 著者名/発表者名
      永野幹典, 他
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(仙台)
    • 年月日
      2008-09-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Figuring of ultraprecision aspherical focusing mirror using numerically controlled local wet etching2008

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamura, H. Takai
    • 学会等名
      10th Anniversary International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Zurich, Switzerland
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチッングによる中性子集光用楕円面ミラー作製プロセスの開発2007

    • 著者名/発表者名
      高井宏之, 山村和也, 丸山龍治, 山崎大, 曽山和彦
    • 学会等名
      日本中性子科学会第7回年回
    • 発表場所
      福岡市、福岡県
    • 年月日
      2007-11-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of Thickness Distribution of SOI Using Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      T. Mitani and K. Yamamura
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2007
    • 発表場所
      Gwangju, Korea
    • 年月日
      2007-11-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング法を用いたSOIの膜厚均一化加工 -フッ硝酸を用いたSiの加工特性-2007

    • 著者名/発表者名
      三谷卓朗, 山村和也
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川市、北海道
    • 年月日
      2007-09-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製 -5軸制御NC加工装置の試作-2007

    • 著者名/発表者名
      高井宏之, 山村和也
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川市、北海道
    • 年月日
      2007-09-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Ultra Precision Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamura
    • 学会等名
      57th CIRP General Assembly
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 年月日
      2007-08-20
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法による高精度光学素子の作製2007

    • 著者名/発表者名
      高井宏之, 三谷卓朗, 山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大東市、大阪府
    • 年月日
      2007-08-09
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法を用いたSOIの膜厚均一化加工-エッチャント組成比の最適化-2007

    • 著者名/発表者名
      三谷卓朗, 山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大東市、大阪府
    • 年月日
      2007-08-09
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Figuring of Elliptical Hard X-ray Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Takai and Kazuya Ymamura
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2007
    • 発表場所
      Gwangju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書 2007 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Ultra Precisi on Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching2007

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamura
    • 学会等名
      57th CIRP General Assembly
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価 -加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明-

    • 著者名/発表者名
      永野幹典, 高井宏之, 是津信之, 山村和也
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価 -加工後残留物による表面粗さへの影響-

    • 著者名/発表者名
      永野幹典, 是津信行, 山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2008年度関西地方定期学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製 -5軸制御NC加工装置の試作-

    • 著者名/発表者名
      高井宏之, 山村和也
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法による高精度光学素子の作製

    • 著者名/発表者名
      高井宏之, 三谷卓朗, 山村和也
    • 学会等名
      精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 月刊ディスプレイ2009年1月号、ローカルウエットエッチング法による超精密非接触加工2009

    • 著者名/発表者名
      山村和也(分担執筆)
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      (株)テクノタイムズ社
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] サイエンス&テクノロジー2008

    • 著者名/発表者名
      山村和也
    • 出版者
      第1章第10節 ローカルウェットエッチング法による光学素子の高精度加工, ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 第1章第10節 ローカルウエットエッチング法による光学素子の高精度加工, ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化2008

    • 著者名/発表者名
      山村和也(分担執筆)
    • 総ページ数
      15
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー(株)
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 加工ヘッドおよびこの加工ヘッドを用いた加工方法2007

    • 発明者名
      山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
    • 権利者名
      東ソー(株)
    • 産業財産権番号
      2007-157998
    • 出願年月日
      2007-06-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 表面加工方法および表面加工装置2007

    • 発明者名
      山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
    • 権利者名
      東ソー(株)
    • 産業財産権番号
      2007-157999
    • 出願年月日
      2007-06-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 表面加工方法および表面加工装置2007

    • 発明者名
      山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
    • 権利者名
      東ソー(株)
    • 産業財産権番号
      2007-158000
    • 出願年月日
      2007-06-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 表面加工方法および表面加工装置2007

    • 発明者名
      山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学東ソー(株)
    • 産業財産権番号
      2007-184393
    • 出願年月日
      2007-07-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 表面加工装置の平板状被加工物の垂直保持装置および表面加工装置2007

    • 発明者名
      山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
    • 権利者名
      東ソー(株)
    • 産業財産権番号
      2007-312538
    • 出願年月日
      2007-12-03
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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