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ナノインプリント・シーディングによる単結晶シリコン薄膜の形成に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 18360025
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関九州大学

研究代表者

浅野 種正  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (50126306)

研究分担者 佐道 泰造  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 准教授 (20274491)
権丈 淳 (權丈 淳)  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教 (20037899)
宮尾 正信  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (60315132)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
16,580千円 (直接経費: 15,500千円、間接経費: 1,080千円)
2008年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2007年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2006年度: 11,900千円 (直接経費: 11,900千円)
キーワード薄膜トランジスタ / ナノインプリント / 金属誘起固相結晶化 / レーザーアニール / シリコン薄膜 / 多結晶シリコン / システムオンパネル
研究概要

ナノインプリント技術を応用して非晶質シリコン薄膜表面の極微領域に転写した金属の触媒作用による固相結晶化過程の促進、金属誘起固相結晶化過程に優先配向性を利用して結晶核を所望の位置に配列して発生させ、その結晶核をレーザー照射で大結晶へと拡大成長させ技術を開発した。これにより、従来の方法では不可能であった、結晶方位を揃えた擬似単結晶シリコン薄膜をガラス基板上に形成する新しい技術を開発した。

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (84件)

すべて 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (60件) (うち査読あり 36件) 学会発表 (22件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Silicon Crystal Nanowires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization2009

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.48(掲載予定)

    • NAID

      210000066927

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor2009

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.48

    • NAID

      210000066424

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor Using Laterally Grown Film2009

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys Vol.48

    • NAID

      210000066433

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor Using Laterally Grown Film2009

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe, T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 48

    • NAID

      210000066433

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor2009

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 48

    • NAID

      210000066424

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon Crystal Nano-Wires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization2009

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa, T, Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 48(To bepublished)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Droplet Ejection Behavior in Electrostatic Inkjet Driving2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, K. Sogabe, S. Kai, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.47 No.6

      ページ: 5281-5286

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oriented Growth of Location-Controlled Si Crystal Grains by Ni Nano-Imprint and Excimer Laser Annealing2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys Vol.47 No.4

      ページ: 3036-3040

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon Crystal Nano-Wires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Papers, The 21th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference

      ページ: 546-547

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of a-Si Nano-Wires using UV Nano-Imprint Lithography and Its Crystallization Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Proc. 7th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology

      ページ: 76-77

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline-Si Thin-Film Transistor Having Stripe Channels2008

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 259-262

    • NAID

      110006792709

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 165-168

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ストライプ型チャネルを持つ多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性ばらつききの評価2008

    • 著者名/発表者名
      秋山浩司, 渡邊一徳, 浅野種正
    • 雑誌名

      信学技報 Vol.108 No.1

      ページ: 23-26

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      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Discussion on the Characteristic Variation of Laterally Grown Poly-Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, K. Akiyama, G. Nakagawa, T. Kudo and T. Asano
    • 雑誌名

      Proc.4th International TFT Conference

      ページ: 77-80

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oriented Growth of Location-Controlled Si Crystal Grains by Ni Nano-Imprint and Excimer Laser Annealing2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa, T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 47

      ページ: 3036-3040

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Droplet Ejection Behavior in Electrostatic Inkjet Driving2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, K. Sogabe, S. Kai, T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 47

      ページ: 5281-5286

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline-Si Thin Film Transistor Having Stripe Channels2008

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe, T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 259-262

    • NAID

      110006792709

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Heating of Laterally-Grown Poly-Si Thin-Film Transisotor2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 15h Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 159-162

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of a-Si Nano-Wires using UV Nano-Imprint Lithography and Its Crystallization Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa, T. Asano
    • 雑誌名

      Proc. 7th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology

      ページ: 76-77

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon Crystal Nano-Wires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa, T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Papers, 21st Int'l Conf. Microprocesses and Nanotechnology Conference

      ページ: 546-547

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Discusson on the characterlstic variation of laterally grown poly-Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K.Watanabe, K. Akiyama, G.Nakagawa, T.Asano and T.Kudo
    • 雑誌名

      Proc.4th Int. TFT Conference

      ページ: 77-80

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Metal-Induced Crystallization of Si for Nano-Structure Formation(Invited)2008

    • 著者名/発表者名
      T.Asano
    • 雑誌名

      Collected Abs. 2008 RCIQE International Seminor on Advance Semiconductor Materials an Devices

      ページ: 10-11

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Nickel Metal Induced Lateral Crystallization of Patterned Amorphous Silicon Thin Film2007

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Materials Science Forum Vols.561-565

      ページ: 1149-1152

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Inkjet Printing of Nickel Nanosized Particles for Metal-Induced Nanosized Particles for Metal-Induced2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.46 No.9B

      ページ: 6437-6443

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    • 査読あり
  • [雑誌論文] Inkjet-Printed Metal-Colloid-Induced Crystallization of Amorphous Amorphous Silicon2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa, and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.46No.3B

      ページ: 1263-1267

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature Source/Drain Contact Formation Using Silicidation Induced Activation of Implanted Impurities2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, M. Esaki and G. Nakagawa
    • 雑誌名

      Ext. Abstr, The 5th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces

      ページ: 199-200

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Droplet Ejection Behavior in Electrostatic Inkjet Driving2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, K. Sogabe, S. Kai and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Papers, The 20th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference

      ページ: 384-385

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oriented Growth of Location-Controlled Si Crystal Grains Using Ni Nano-Imprint and Excimer Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Ext. Abstr, 2007 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials

      ページ: 790-791

    • NAID

      10022550685

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Application of Electrostatic Inkjet Printing to Ni-Nano-Particles Induced Crystallization of a-Si2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 14th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 267-270

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      2008 研究成果報告書
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  • [雑誌論文] Characterization of Grain Boundary Effect on TFT Fabricated on Laterally Grown poly-Si Film2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, K. Watanabe, K. Akiyama, G. Nakagawa and T. Kudo
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 14th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 195-198

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    • 査読あり
  • [雑誌論文] 静電型インクジェットによる微細液滴吐出とSi の金属誘起固相結晶化への応用2007

    • 著者名/発表者名
      石田雄二, 中川豪, 浅野種正
    • 雑誌名

      信学技報 Vol.107 No.13

      ページ: 5-10

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  • [雑誌論文] Location and Orientation Control of Si Thin-Film Grains Using Metal Nano-Imprint Seeding of Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano and G. Nakagawa
    • 雑誌名

      Proc. 3rd International TFT Conference

      ページ: 74-77

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      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Inkjet-Printed Metal-Collid-Induced Crysatallization of Amorphous Sllicon2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, G. Nakagawa and T.Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 46,3B

      ページ: 1263-1267

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Inkjet Printing of Nickel Nanosized Particles for Metal-lnduced Crystallization of Amorphous Silicon2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, G. Nakagawa and T.Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 46,9B

      ページ: 6437-6443

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    • 著者名/発表者名
      K.ToKo, H. Kanno, A. Kenjo, T.Sadoh, T.Asano and M.Miyao
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 91

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Location and Orientation Control of Si Thin-Film Grains Using Metal nano-lmprint Seeding of Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      T.Asano and G.Nakagawa
    • 雑誌名

      Proc.3rd International TFT Conference

      ページ: 74-77

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of Grain Boundary Effect on TFT Fabricated on LaterallyGrown poly-Si Film2007

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, K. Watanabe, K.Akiyama, G. Nakagawa and T. Kudo
    • 雑誌名

      Dig.Tech.Papers, 14th lnt'l Active-Matrix Flat-Panel Displays and Devices

      ページ: 195-198

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Catalytic Effect of Ni in Crystallization of Amorphous SiGe Films by Imprint Technique2007

    • 著者名/発表者名
      K.Toko, H. Kanno, A. Kenjo, T.Sadoh, T.Asano and M.Miyao
    • 雑誌名

      Dig.Tech.Papers, The 14th Int.Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 275-278

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Application of Electrostatic Inkjet Printing to Ni-Nano-Particles Induced Crystallization of a-Si2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Iahida, G. Nakagawa, and T.Asano
    • 雑誌名

      Dig.Tech.Papers, The 14th Int. Workshopon Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 267-270

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      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Orientpd Growth of Location-Controlled Si Crystal Grains Using Ni Nano-imprint and Excimed Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      G.Nakagawa and T.Asano
    • 雑誌名

      Ext.Abs.2007 Int'l Conf.Solid State Devices and Materials

      ページ: 790-791

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  • [雑誌論文] Droplet Ejecton Behavior in Electrostatic Inkjet Driving2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, K. Sogabe, S. Kai and T.Asano
    • 雑誌名

      Dig.Papers, 20th Int'l Conf.Microprocessesand Nanotechnology Conference

      ページ: 384-385

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  • [雑誌論文] Low-Temperature Source/Drain Contact Formation Using SiHcidaton Induced Activation of Implanted Impurities2007

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, M. Esaki and G.Nakagawa
    • 雑誌名

      Ext. Abs. 5th Int'l Symposium on Control of Semiconductor Interfaces

      ページ: 199-200

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    • 著者名/発表者名
      T.Asano, G.Nakagawa
    • 雑誌名

      Proc. 2007 International TFT Conference (in press)

      ページ: 74-77

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    • 著者名/発表者名
      浅野種正, 中川豪
    • 雑誌名

      レーザー研究 第34 巻第10 号

      ページ: 684-688

    • NAID

      10018312187

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    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.45 No.49

    • NAID

      10018461137

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      G. Nakagawa and T. Asano
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      N. Higashi, G. Nakagawa, T. Asano, M. Miyasaka, and J. Stoemenos
    • 雑誌名

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      ページ: 4347-4350

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      G. Nakagawa, T. Asano, and M. Miyasaka
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      ページ: 4335-4339

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    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
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      ページ: 336-337

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  • [雑誌論文] Inkjet-Printed Ni-Colloid Induced Crystallization of Amorphous Si2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 51-54

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  • [雑誌論文] Low Temperature Formation of Source and Drain Using Snow Plow Effect of Silicidation2006

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, M. Esaki and G. Nakagawa
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 31-34

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ダブルパルスレーザー走査法による多結晶Si結晶粒の横方向成長とTFT 特性2006

    • 著者名/発表者名
      渡邉一徳, 江崎真彦, 中川豪, 浅野種正, 櫻木進, 工藤利雄
    • 雑誌名

      信学技報 Vol.106 No.5

      ページ: 19-22

    • NAID

      110004718825

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Location and Orientation Control of Si Grains by Combining Metal-Induced Lateral Crystallization and Excimer Laser Annealing2006

    • 著者名/発表者名
      N.Higashi, G.Nakagawa, T.Asano, M.Miyasaka, J.Stoemenos
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

      ページ: 4373-4350

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Location Control of Si Thin-Film Grain Using Ni Imprint and Excimer Laser Annealing2006

    • 著者名/発表者名
      G.Nakagawa, T.Asano, M.Miyasaka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

      ページ: 4335-4399

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Properties of Ink-Droplet Formation in Double-Gate Electrospray2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, K.Sogabe, K.Hakiai, A.Baba, T.Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

      ページ: 6475-6480

    • NAID

      40007382163

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 固相とレーザーの組み合わせ結晶化による結晶方位制御の可能性2006

    • 著者名/発表者名
      浅野種正, 中川豪
    • 雑誌名

      レーザー研究 34

      ページ: 684-688

    • NAID

      10018312187

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Orientation Control of Location-Controlled Si Crystal Grain by Combining Ni Nao-Imprint and Excimer Laser Annealing with Si Double-Layer Process2006

    • 著者名/発表者名
      G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Low Temperature Formation of Source and Drain Using Snow Plow Effect of Silicidation2006

    • 著者名/発表者名
      T.Asano, M.Esaki, G.Nakagawa
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 31-34

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Inkjet-Printed Ni-Colloid Induced Crystallization of Amorphous Si2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Dig. Tech. Papers, The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices

      ページ: 54-51

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Inkjet Printing of Ni Nano-Size Particles for Metal Induced Crystallization of Amorphous Si2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishida, G.Nakagawa, T.Asano
    • 雑誌名

      Dig. Papers, 2006 International Microprocess and Nanotechnology Conf.

      ページ: 336-337

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] Silicon Crystal Nano-Wires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 21th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of a-Si Nano-Wires using UV Nano-Imprint Lithography and Its Crystallization Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa, T. Asano
    • 学会等名
      The 7th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2008-10-14
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline-Si Thin-Film Transistor Having Stripe Channels2008

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe and T. Asano
    • 学会等名
      The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-07-04
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline-Si Thin-Film Transistor Having Stripe Channels2008

    • 著者名/発表者名
      K. Akiyama, K. Watanabe, T. Asano
    • 学会等名
      The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flat panel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-07-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices pp.76-77
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-07-03
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe and T. Asano
    • 学会等名
      The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-07-03
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, T. Asano
    • 学会等名
      The 15th Int. Workshop on Active-Matrix Flat panel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-07-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ストライプ型チャネルを持つ多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性ばらつきの評価2008

    • 著者名/発表者名
      秋山浩司, 渡邊一徳, 浅野種正
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告SDM2008-5
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2008-04-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Discussion on the Characteristic Variation of Laterally Grown Poly-Si TFT2008

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, K. Akiyama, G. Nakagawa, T. Kudo and T. Asano
    • 学会等名
      The 4th International TFT Conference
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2008-01-24
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Source/Drain Contact Formation Using Silicidation Induced Activation of Implanted Impurities2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, M. Esaki and G. Nakagawa
    • 学会等名
      The 5th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces, pp.199-200.
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-11-13
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nickel Metal Induced Lateral Crystallization of Patterned Amorphous Silicon Thin Film2007

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 6th Pacific Rim Int. Conf. on Advanced Materials and Processing, S9-4-3
    • 発表場所
      Jeju, Jeju Island, Korea
    • 年月日
      2007-11-08
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Droplet Ejection Behavior in Electrostatic Inkjet Driving2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, K. Sogabe, S. Kai and T. Asano
    • 学会等名
      The 20th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2007-11-06
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Oriented Growth of Location-Controlled Si Crystal Grains Using Ni Nano-Imprint and Excimer Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      2007 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      茨城
    • 年月日
      2007-09-20
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Application of Electrostatic Inkjet Printing to Ni-Nano-Particles Induced Crystallization of a-Si2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 14th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      兵庫
    • 年月日
      2007-07-13
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Characterization of Grain Boundary Effect on TFT Fabricated on Laterally Grown poly-Si Film2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, K. Watanabe, K. Akiyama, G. Nakagawa and T. Kudo
    • 学会等名
      The 14th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      兵庫
    • 年月日
      2007-07-12
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 静電型インクジェットによる微細液滴吐出とSi の金属誘起固相結晶化への応用2007

    • 著者名/発表者名
      石田雄二, 中川豪, 浅野種正
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告ED2007-2
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2007-04-20
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Location and Orientation Control of Si Thin-Film Grains Using Metal Nano-Imprint Seeding of Laser Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      T. Asano and G. Nakagawa
    • 学会等名
      The 3rd International TFT Conference
    • 発表場所
      Rome, Italy.
    • 年月日
      2007-01-25
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Inkjet Printing of Ni Nano-Size-Particles for Metal Induced Crystallization of Amorphous Si2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 19th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2006-10-26
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Inkjet-Printed Ni-Colloid Induced Crystallization of Amorphous Si2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishida, G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2006-07-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Low Temperature Formation of Source and Drain Using Snow Plow Effect of Silicidation2006

    • 著者名/発表者名
      T. Asano, M. Esaki and G. Nakagawa
    • 学会等名
      The 13th Int. Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2006-07-05
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Combination of Metal Nano-Imprint and Excimer Laser Annealing for Location Control of Si Thin-Film Grain2006

    • 著者名/発表者名
      G. Nakagawa and T. Asano
    • 学会等名
      2006 Materials Research Society Symp. Vol.910, A20.5.
    • 発表場所
      San Francisco, CA, USA.
    • 年月日
      2006-04-20
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ダブルパルスレーザー走査法による多結晶Si結晶粒の横方向成長とTFT特性2006

    • 著者名/発表者名
      渡邉一徳, 江崎真彦, 中川豪, 浅野種正, 櫻木進, 工藤利雄
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告 ED2006-4
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2006-04-17
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://fed.ed.kyushu-u.ac.jp/index.html

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/scarch/dctails/K002917/index.html

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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