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中空ファイバーを用いる小型真空紫外レーザーの実現と光物質プロセスへの展開

研究課題

研究課題/領域番号 18360040
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関宮崎大学

研究代表者

窪寺 昌一  宮崎大学, 工学部, 教授 (00264359)

研究分担者 河仲 準二  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (50264362)
甲藤 正人  宮崎大学, 産学連携センター, 准教授 (80268466)
横谷 篤至 (横谷 私至)  宮崎大学, 工学部, 教授 (00183989)
加来 昌典  宮崎大学, 工学部, 助教 (10425621)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
9,220千円 (直接経費: 7,900千円、間接経費: 1,320千円)
2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2007年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2006年度: 3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
キーワード真空紫外光 / 希ガスエキシマ / 光電界電離 / 中空ファイバー / 超短パルス高強度レーザー / 光物質プロセス / 真空紫外 / 卓上型レーザー / 高強度レーザー / 光プロセス / 短波長光源技術
研究概要

アルゴンで充たされた中空ファイバー内に高強度レーザー励起の光電界電離プラズマを生成し, 波長126nmの真空紫外アルゴンエキシマ増幅を行い, その特性を評価した. また希ガスを非線形媒質として超短パルス赤外光の第7高調波(波長126nm)の最適化を行った. 一台の励起用超短パルス高強度レーザーを用いて, アルゴンプラズマ増幅器と第7高調波を発生する増幅システムを構成し, 第7高調波出力の増幅を観測した. これらと並行して各種真空紫外光エネルギーに対する物質の脱離, 解離, 分解等の基礎過程を明らかにした.

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (52件)

すべて 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (19件) (うち査読あり 12件) 学会発表 (31件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIR Ti : sapphire laser in rare gases2009

    • 著者名/発表者名
      M. Katto, K. Oda, M. Kaku, S. Kubodera, A.Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE vol.7131

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      M. Kaku, S. Kubodera, K. Oda, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.7131

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      M. Katto, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.7196

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIR Ti : sapphire laser in rare gases2009

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (印刷中)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (印刷中)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 7196

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-intensity subpicosecond vacuum ultraviolet laser system2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, M. Kaku, Y. Taniguchi, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6874

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 紫外・真空紫外光源の開発と光プロセスへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人ら
    • 雑誌名

      レーザー学会第381回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-08-42

      ページ: 5-10

    • NAID

      10023995831

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] Vacuum ultraviolet argon excimer laser initiated by optical-field-induced ionization electrons2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, Y. Taniguchi, T. Higashiguchi, and M. Katto
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6346

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, Y. Taniguchi, A. Hosotani, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6452

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of laser fluence on poly-crystallization of hydroxyapatite film coated by PLD method2007

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et. al.
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering 2

      ページ: 152-155

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et. al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6452

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 高強度真空紫外アルゴンエキシマレーザーの開発2007

    • 著者名/発表者名
      加来昌典, ら
    • 雑誌名

      レーザー学会第365回研究会報告「レーザー応用」 RTM-07-28

      ページ: 7-11

    • NAID

      10019843601

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] 高強度真空紫外エキシマレーザー2007

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一, 加来昌典
    • 雑誌名

      電気学会光・量子デバイス研究会資料 OQD-07-64

      ページ: 31-35

    • NAID

      10025660608

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] 高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発2007

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人, ら
    • 雑誌名

      レーザー学会第368回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-07-47

      ページ: 13-18

    • NAID

      10020028971

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [雑誌論文] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (In press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Vacuum ultraviolet argon excimer laser initiated by optical-field-induced ionization electrons2007

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (In press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Optical amplification of argon excimers in the vacuum ultraviolet spectral region, produced by ultrashort-pulse high-intensity-laser-produced electrons2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Higashiguchi, and S. Kubodera
    • 雑誌名

      Applied Physics B vol.82

      ページ: 31-33

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセス -高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発とその応用技術の開発-2006

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人, 他
    • 雑誌名

      レーザー学会第352回研究会報告 RTM-6-27-34

      ページ: 1-5

    • NAID

      10020611464

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et al.
    • 学会等名
      Photonics West 2009
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • 年月日
      2009-01-27
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高調波発生を利用した超短パルス真空紫外コヒーレント光の発生2009

    • 著者名/発表者名
      小田一義ら
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第29回年次大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • 年月日
      2009-01-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高強度レーザー励起真空紫外希ガスエキシマを用いた光増幅器2009

    • 著者名/発表者名
      加来昌典ら
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第29回年次大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • 年月日
      2009-01-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 学会等名
      Photonics West 2009 (SPIE Meeting)
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 紫外・真空紫外光源の開発と光プロセスへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人ら
    • 学会等名
      レーザー学会第381回研究会「短波長光の発生とその応用」
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2008-12-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高強度レーザー励起アルゴンエキシマを用いた真空紫外光増幅器2008

    • 著者名/発表者名
      藤花 駿介ら
    • 学会等名
      平成20年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      宮崎大学
    • 年月日
      2008-11-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Optical amplification of the OFI rare-gas excimers in the vacuum ultraviolet2008

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et al.
    • 学会等名
      The 21st Annual Meeting of the IEEE Lasers & Electro-Optics Society (IEEE/LEOS 2008)
    • 発表場所
      Newport Beach, USA
    • 年月日
      2008-11-13
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Optical amplification of vacuum ultraviolet rare-gas excimers excited by a high-intensity laser2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Harano, et al.
    • 学会等名
      第61回電気関係学会九州支部連合大会(国際セッション, 光および量子エレクトロニクス)
    • 発表場所
      大分大学
    • 年月日
      2008-09-24
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Subpicosecond VUV seed pulse generation using the harmonic radiation2008

    • 著者名/発表者名
      Tadashi Kamikihara, et al.
    • 学会等名
      第61回電気関係学会九州支部連合大会(国際セッション, 光および量子エレクトロニクス)
    • 発表場所
      大分大学
    • 年月日
      2008-09-24
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation2008

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et al.
    • 学会等名
      XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers(GCL-HPL 2008)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2008-09-18
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIRTi : sapphire laser in rare gases2008

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 学会等名
      XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers(GCL-HPL 2008)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高強度レーザー励起希ガスエキシマを用いた真空紫外光増幅器2008

    • 著者名/発表者名
      藤花 駿介ら
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高調波発生を利用した超短パルス真空紫外コヒーレント光の特性2008

    • 著者名/発表者名
      小田一義ら
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] レーザー生成プラズマの原理と応用〜ナノ秒レーザープラズマからフェムト秒レーザープラズマまで〜2008

    • 著者名/発表者名
      窪寺 昌一
    • 学会等名
      CREST 「自由空間に3次元コンテンツを描き出す技術」シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2008-07-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] OFI rare-gas excimer amplifier for intense sub-picosecond VUV pulse generation2008

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et al.
    • 学会等名
      CLEO/QELS 2008
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2008-05-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 高強度レーザー励起真空紫外アルゴンエキシマ増幅器の特性2008

    • 著者名/発表者名
      谷口雄太, ら
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部
    • 年月日
      2008-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 超短パルス真空紫外コヒーレント光の発生2008

    • 著者名/発表者名
      小田一義, ら
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第28回年次大会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2008-01-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] High-intensity subpicosecond vacuum ultraviolet laser system2008

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et. al.
    • 学会等名
      Photonics West 2008
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • 年月日
      2008-01-22
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Optical amplification of the OFI rare-gas excimers in the vacuum ultraviolet2008

    • 著者名/発表者名
      M. Kaku, S. Harano, S. Touge, M. Katto, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 学会等名
      The 21st Annual Meeting of the IEEE Lasers & Electro-Optics Society (IEEE/LEOS 2008)
    • 発表場所
      Newport Beach (USA)
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 高ピーク出力真空紫外レーザー2008

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会シンポジウム「次世代を拓く光量子源開発とその応用プロセス」
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書 2007 実績報告書
  • [学会発表] 高強度真空紫外エキシマレーザー2007

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一, 加来昌典
    • 学会等名
      光・量子デバイス研究会「次世代光源に関する提案」
    • 発表場所
      九州大学西新プラザ
    • 年月日
      2007-12-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発2007

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人, ら
    • 学会等名
      レーザー学会第368回研究会「短波長光の発生とその応用」
    • 発表場所
      宇都宮大学
    • 年月日
      2007-12-05
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 光電界電離を用いた真空紫外アルゴンエキシマ増幅器に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      原野慎也, ら
    • 学会等名
      平成19年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • 年月日
      2007-12-01
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Optical amplification of vacuum ultraviolet argon excimer produced by ahigh-intensity laser2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et. al.
    • 学会等名
      IEEE/LEOS 2007
    • 発表場所
      Florida, USA
    • 年月日
      2007-10-23
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 高強度真空紫外アルゴンエキシマレーザーの開発2007

    • 著者名/発表者名
      加来昌典, ら
    • 学会等名
      レーザー学会第365回研究会「レーザー応用」
    • 発表場所
      指宿いわさきホテル
    • 年月日
      2007-09-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 高強度レーザー励起真空紫外アルゴンエキシマ増幅器の特性(2)2007

    • 著者名/発表者名
      谷口雄太, ら
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 超短パルス真空紫外コヒーレント光の発生2007

    • 著者名/発表者名
      小田一義, ら
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] OFI vacuum ultraviolet rare-gas excimer amplifier for subpicosecond VUV pulse amplification2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kaku, et. al.
    • 学会等名
      CLEO Pacific Rim 200
    • 発表場所
      Seoul, South Korea
    • 年月日
      2007-08-29
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Optical-field induced ionization vacuum ultraviolet rare-gas excimer laser2007

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Kubodera, et. al.
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (VUV XV)
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2007-07-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 真空紫外光源とその応用2007

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一、甲藤正人、横谷篤至
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第27回年次大会
    • 発表場所
      宮崎
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセスに向けて~高輝度真空紫外コヒーレント光の発生とその応用技術の開発~2006

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、宮永憲明、三間圀興
    • 学会等名
      第67回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.opt.miyazaki-u.ac.jp

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.opt.miyazaki-u.ac.jp

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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