| 研究課題/領域番号 |
18360164
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
黒川 隆志 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 教授 (40302913)
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| 研究分担者 |
塩田 達俊 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 助教 (10376858)
武田 光夫 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00114926)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2007
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| 研究課題ステータス |
完了 (2007年度)
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| 配分額 *注記 |
16,610千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 1,710千円)
2007年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
2006年度: 9,200千円 (直接経費: 9,200千円)
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| キーワード | センシング / 光計測 / 光コム / スーパーコンティニュウム光 / 干渉計 / トモグラフィ |
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| 研究概要 |
(1)コム発生系の広帯域化と深さ分解能の改善
コム発生器の後段に試作した等価フィルタと光増幅器を設置し、コムのスペクトル帯域が約3倍広帯域化した。これを光源として光干渉計へ適用した結果、適用前に100μmだった深さ分解能は、40μm以下に改善された。次に、非共振器型周波数コム発生器とパルスシンセサイザによりジッターとチャープの少ない種パルスを生成し、これを高非線形分散シフトファイバに導入して、コム間隔の可変化と広帯域化が可能なスーパーコンティニュウム光発生を言った。2kmのときにはピークパワー5.5Wのときに今回の最大帯域幅60nmまで拡大された。また200MHzの掃引コム間隔周波数が可能であった。これにより、深さ分解能は、30μmまで改善された。
(2)空間光学干渉計の設計と構築
1次元イメージセンサを用いた空間光学干渉計の設計と製作を行った。シリドリンカルレンズと対物レンズを導入することにより、顕微鏡干渉光学系を構成した。横(水平)方向空間分解能は8μmとなり、光コヒーレンストモグラフィへ応用できることを確認した。
(3)3次元顕微鏡の基本動作の確認
コム間隔周波数の掃引、イメージセンサの制御とデータ取得を一括してコンピュータ制御する系を構築して、3次元顕微鏡の基本動作を確認した。コム間隔周波数は25GHzを中心に10MHz掃引することで、約1mmの深さを観察することができた。3次元画像の取得時間約1分の性能を確認した。基本的な3次元画像として10円玉表面の凹凸形状を計測して"十"文字を深さ分解能40μm以下、水平方向分解能8μm程度で鮮明な画像が得られることを示した。また、ガラス膜の膜厚測定も精度数ミクロンでおこなえることを確認し、トモグラフィへの応用も可能なことを確認した。
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