研究課題/領域番号 |
18360307
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
無機材料・物性
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研究機関 | 北海道大学 |
研究代表者 |
嶋田 志郎 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90002310)
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研究分担者 |
明石 孝也 北海道大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20312647)
清野 肇 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50281788)
川村 みどり 北見工業大学, 准教授 (70261401)
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研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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配分額 *注記 |
17,410千円 (直接経費: 15,100千円、間接経費: 2,310千円)
2008年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2007年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2006年度: 7,400千円 (直接経費: 7,400千円)
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キーワード | 機能性セラミックス / 雰囲気制御 / 熱プラズマ / CVD / 機能性 / セラミックス / コーティング / 耐磨耗性 / 複合膜 |
研究概要 |
現在、塩化物ガスを使用した熱CVD法でWC-Co超硬上へ様々なセラミックスコーティングが施され、工業的に切削工具として使用されている。この成膜法は、比較的高いコーティング温度(~1050℃)によるWC-Coの劣化、塩化物ガスによる環境汚染などの問題点がある。著者は、比較的安価で取り扱いが容易でしかも環境に易しいアルコキシド溶液を熱プラズマ中へ噴霧する新規なコティング法を開発し、低温(<800℃)で窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜、複合膜、多層膜などを作製した。これらのコーティング膜は市販のTiNや二層膜TiN/Al_2O_3と比較しても同程度かより優れた耐摩耗性を示した。
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