| 研究課題/領域番号 |
18360315
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
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研究代表者 |
逆井 基次 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (50124730)
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| 研究分担者 |
逆井 基次 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (50124730)
松田 厚範 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (70295723)
武藤 浩行 豊橋技術科学大学, 工学部, 准教授 (20293756)
宮島 達也 豊橋技術科学大学, 工学部, 研究員 (10358129)
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| 連携研究者 |
宮島 達也 産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 研究員 (10358129)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
17,360千円 (直接経費: 14,600千円、間接経費: 2,760千円)
2008年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2007年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
2006年度: 5,400千円 (直接経費: 5,400千円)
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| キーワード | 圧子力学 / 顕微インデンター / 弾性 / 弾塑性 / 粘弾性 / ハイブリド膜 / 膜 / 基板複合体 / 硬度 / ハイブリッド膜 / 複合体基板 / Meyer硬度 / 基板複層体 |
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| 研究概要 |
圧子力学研究分野において長年の「夢」であった圧子接触面積の直接計測を可能とする顕微インデンターを開発し, ミクロ・ナノ領域における力学物性の定量計測・評価を実現し, さらに圧子力学の学問としての体系化を試みた。この計測システムを用い, 無機/有機ハイブリッド膜の弾塑性/粘弾性の定量評価を行い, マイクロレンズアレイ作製等で重要な技術要素となるマイクロパターニング技術への重要な知見を得た。
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