| 研究課題/領域番号 |
18550181
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
無機工業材料
|
|---|
| 研究機関 | 大阪府立大学 |
|---|
研究代表者 |
芦田 淳 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60231908)
|
|---|
| 研究分担者 |
脇田 和樹 千葉工業大学, 工学部, 教授 (80201151)
沈 用球 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20336803)
池永 明 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60128759)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,240千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 540千円)
2008年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2007年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2006年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
|
|---|
| キーワード | 結晶 / 多結晶材料 / 電気化学 / 酸化亜鉛 / 定電流成長 / シリコン基板 / 亜鉛イオン / パルス電流 / 薄膜成長 / 太陽電池 / 結晶成長 |
|---|
| 研究概要 |
本研究では、まず金属基板上で電気化学堆積法による酸化亜鉛薄膜の成長条件を詳細に検討した。また電気伝導特性評価のため、極薄の酸化亜鉛上に成長させた。供給する電流をパルス化することで伝導特性が変化した。この原因として溶液中での再溶解による欠陥生成の抑制が考えられる。これらの結果を基に成長条件を検討し、(100)および(111)Si基板上に多結晶酸化亜鉛薄膜を得ることに成功した。
|
