研究課題
基盤研究(C)
本研究は, マイクロ非球面レンズなどに代表される小型超精密部品の創成に適した, 小型加工システムの開発を目的にして実施したものである. 本研究の特徴は, 加工システムの高精度化ならびに小型化に適していると考えられるウォータドライブ方式によるスピンドルとステージを開発したことである. さらに, 開発したスピンドルとステージの基本性能や制御性能を評価した後, これらを組み合わせたウォータドライブ小型加工システムを開発した.
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