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異常値抑制効果と斜面対応機能を有す光触針式輪郭形状センサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18560120
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京都立産業技術高等専門学校

研究代表者

深津 拡也  東京都立産業技術高等専門学校, ものづくり工学科, 教授 (80228866)

研究分担者 柳 和久  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80108216)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,070千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 570千円)
2008年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2007年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2006年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード非接触表面性状測定 / 光触針 / スペックルノイズ / 楕円スポット / 表面性状測定 / 半導体レーザ / 小穴計測 / 共焦点方式 / 輪郭形状測定 / 非接触式 / スペックル / 輪郭形状
研究概要

(1)照射スポット形状を円形から楕円形に変換した共焦点式光触針式センサの光学系を構築し、楕円照射スポットがスペックルノイズ低減-異常値の抑制に大きな効果を持つことを実証した。
(2)楕円形スポット-共焦点式光触針式センサの実用化を目指し、センサの小型化を行った(外形寸法は95mm×75mm×52mm)

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 (2件) 学会発表 (3件) 図書 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] 非接触式倣いプローブの開発2007

    • 著者名/発表者名
      深津拡也, 柳 和久
    • 雑誌名

      精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 321-322

    • NAID

      130005028452

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発2006

    • 著者名/発表者名
      深津拡也, 柳 和久
    • 雑誌名

      精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 161-162

    • NAID

      130004658001

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] 小径穴内面形状測定センサの開発2008

    • 著者名/発表者名
      石川貴之
    • 学会等名
      日本設計工学会
    • 発表場所
      明星大学
    • 年月日
      2008-05-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Development of a confocal probe with elliptical spot2008

    • 著者名/発表者名
      Hiroya FUKATSU、 Kazuhisa Yanagi
    • 学会等名
      7th International Conference of the euspen
    • 発表場所
      Bremen, Germany
    • 年月日
      2008-05-22
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Development of a Internal Profile Measurement Sensor for Small-diameter holes2008

    • 著者名/発表者名
      Hiroya FUKATSU
    • 学会等名
      10th International Conference of the euspen
    • 発表場所
      Zurich, Switzerland
    • 年月日
      2008-05-20
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] 現場で役立つ モノづくりのための精密測定2008

    • 著者名/発表者名
      深津拡也
    • 総ページ数
      157
    • 出版者
      日刊工業新聞社
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] 機械技術2006

    • 著者名/発表者名
      初心者のための表面測定技術
    • 総ページ数
      20
    • 出版者
      日刊工業新聞社
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] 距離測定装置および距離測定法2006

    • 発明者名
      深津 拡也
    • 権利者名
      株式会社ナノテックス
    • 産業財産権番号
      2006-312261
    • 出願年月日
      2006-11-17
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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