• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

対向流共存対流の伝熱・流動とCVD成膜問題への応用

研究課題

研究課題/領域番号 18560198
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

北村 健三  豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (20126931)

研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,710千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2006年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
キーワード熱工学 / 対流伝熱 / 共存対流 / 強制対流 / 自然対流 / 流れの可視化 / 対向流 / 水平平板
研究概要

鉛直下方に一様な流速で流れる気流中に,加熱された平板が水平上向きに設置される体系は,液晶パネル基板等に各種の機能性薄膜を蒸着する場合などに見られる.この基板に均一な膜を生成するには,上向き加熱基板上に生じる強制-自然共存対流の流動と伝熱特性を明らかにする必要がある。そこで、本研究では空気を対象に,流れの可視化および局所熱伝達率の測定を行い,平板まわりの流動・伝熱を調べた.実験には,幅W=50,100mmの2種類の試験平板を用い、平板の片側表面を等熱流束加熱した.また,縦型吸込式風洞を用いて一様な空気の下降流を実現した.実験は,平板幅W基準のレイノルズ数Re_w=37-2000,修正レイリー数Ra_w^*=6.2×10^<4->5.3×10^7の範囲で行った.その結果、以下の知見が得られた。まず、平板まわりの流れを煙により可視化したところ,強制対流支配下では,平板の中心から端部へ向かう層流くさび流れが生じた.浮力を大きくしていくと,平板に沿う境界層が厚くなり,遂には煙が平板中心からプルームとなって離脱・上昇する流れが生じた.以上の可視化結果を参考に、加熱平板の局所熱伝達率を測定した.その結果,浮力が小さな条件下では,平板の局所熱伝達率は強制対流層流くさび流れの値に一致するのに対して,浮力の増加に伴って,熱伝達率は強制対流値よりも高くなることが分かった.そこで、平板の平均ヌッセルト数Nu_mを求め,無次元パラメータを用いて整理を行った結果,共存対流域のNu_mは強制および純自然対流の平均ヌッセルト数Nu_f、Nu_nよりも高くなることが分かった.また,その比(Nu_m/Nu_f),(Nu_m/Nu_n)は,無次元パラメータ(Gr_w^*/Nu_mRe_w^2)によりまとめられることがわかった.さらに,Nu_mがNu_f,Nu_nのいずれとも一致しない領域を共存対流域と定義すると,共存対流域は,0.3<(Gr_w^*/Nu_mRe_w^2)<15.0で表せることが分かった.

報告書

(3件)
  • 2007 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2008 2006

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件)

  • [雑誌論文] Fluid Flow and Heat Transfer of Opposing Mixed Convection adjacent to Downward-Facing, Inclined Heated Plates2008

    • 著者名/発表者名
      K. KITAMURA, J. MATSUMOTO, A. MITSUISHI, T. MISUMI
    • 雑誌名

      Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers Vol.74, No.740

      ページ: 893-900

    • NAID

      110006655825

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 下向き傾斜加熱平板に沿う強制-自然対向流共存対流の流動と伝熱2008

    • 著者名/発表者名
      北村 健三、松本 寿太郎、光石 暁彦、三角 利之
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集 74

    • NAID

      110006655825

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 上向き傾斜加熱平板に沿う強制-自然対向流共存対流の流動と伝熱2006

    • 著者名/発表者名
      三角利之、重丸翔吾、北村健三、神谷和憲
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集 72

      ページ: 1993-2001

    • NAID

      110004763447

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 下向き傾斜加熱平板に沿う強制-自然対向流共存対流の流動と伝熱2006

    • 著者名/発表者名
      北村健三、松本寿太郎、光石暁彦、三角利之
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集 73

      ページ: 893-900

    • NAID

      110006655825

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fluid Flow and Heat Transfer of Opposing Mixed Convection adjacent to Upward-Facing, Inclined Heated Plates2006

    • 著者名/発表者名
      T. MISUMI, S. SHIGEMARU, K. KITAMURA, K, KAMIYA
    • 雑誌名

      Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers Vol.72, No.720

      ページ: 1993-2001

    • NAID

      110004763447

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要

URL: 

公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi