| 研究課題/領域番号 |
18560268
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電力工学・電気機器工学
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| 研究機関 | 埼玉大学 |
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研究代表者 |
前山 光明 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (00196875)
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| 研究分担者 |
小林 信一 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (40008876)
山納 康 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (30323380)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2007
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| 研究課題ステータス |
完了 (2007年度)
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| 配分額 *注記 |
3,560千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 360千円)
2007年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2006年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | 大気圧プラズマ / マイクロホローカソード放電 / MCS放電 / マイクロプラズマ / 並列動作 / WIPS放電 / プラズマ / MHCD / 並列MCS放電 |
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| 研究概要 |
大気圧下でのグロー放電プラズマが得られるMHCDを利用し、連続ガス処理などへの適用も可能な大容量プラズマ源の開発を目的として以下の研究成果を得た。
1.安定したMHCDの生成
異なる絶縁材料(マイカ、テフロン、FR-4)を用いてMHCDでの電圧電流特性を比較することにより、FR-4を用いたMHCD電極は、長寿命で、さらに、グロープラズマが得られる放電電流範囲が広く、100mAを越えることを見出した。次いで、平板構造の並列MCS放電実験を行い、MHCD電極-第三電極間距離5mm、10kPa、雰囲気ガス空気において、安定に並列動作が可能であることを実証した。また、高速度カメラを用いて、この放電が各MHCD放電において同時に並列動作していることを示した。
2.並列MCS放電のための放電条件の解明
円筒電極配置の形状のガス連続フロー型プラズマ源の開発:1.の平板構造ではなく、円筒構造で、対数ポテンシャル分布等により電子の閉じ込め特性が優れているWIPS放電の利点をMCS放電に適用したものである。その結果、同一軸位置に配置した8並列MHCD電極と中心軸電極間において、WIPS放電のみでは最大5kPaまでであるが、MCS放電により20kPaまで動作気圧範囲を拡大でき、本放電方式が大気圧放電に有効であることを実証した。
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