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集積化GaN系面発光素子の基礎検討

研究課題

研究課題/領域番号 18560344
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関工学院大学

研究代表者

本田 徹  工学院大学, 工学部, 教授 (20251671)

研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,750千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 450千円)
2008年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2007年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2006年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワード窒化物 / 半導体 / 発光素子 / 面発光 / 集積 / 発光ダイオード / エレクトロルミネッセンス / 分子線エピタキシャル成長 / 紫外線発光 / 窒化ガリウム / ショットキー型 / アルミニウム / 集積化 / 窒化物半導体 / GaN / ディスプレイ / 分子線エピタキシー
研究概要

高効率発光ダイオードがダブルへテロ構造および量子井戸、pn接合により実現されているが、マイクロディスプレイ応用の観点から、製作コストの点からデバイス構造の抜本的改革が必要とされている。本研究ではショットキー型発光ダイオードに着目し、低コスト集積化応用およびその発光効率向上を検討してきた。本素子は、逆方向リーク電流が少ないことが、素子の動作原理上要求される。窒化物上に蒸着したアルミニウム薄膜の大気中酸化およびその大気中エッチングにより低リーク電流を実現した

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (64件)

すべて 2009 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 (30件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (34件)

  • [雑誌論文] Fabrication of MgZnO films by molecular precursor method andtheir application to UV-transparent electrodes2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Mashiyama, K. Yoshioka, S. Komiyama, H. Nomura, S. Adachi M. Sato, T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) 6

      ページ: 596-598

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of AlN films at low temperature by CS-MBE technique2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, K. Watanabe, K. Sugimoto, M. Arai and K. Takeda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.5, no.9

      ページ: 3026-3028

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based Schottky-type light-emitting diodes for micropixels in flat-panel displays2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Kobayashi, S. Komiyama, Y. Mashiyama, M. Arai and K. Yoshioka
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.5, no.6

      ページ: 2225-2227

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based UV TF-ELDs by CS-MBE technique and their application to RGB light-emitting pixels2008

    • 著者名/発表者名
      M. Arai, K. Sugimoto, S. Egawa, T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.5, no.6

      ページ: 2176-2178

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Introduction of preheated ammonia during GaN growth on Si by compound-source MBE at low temperature2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, M. Sawadaishi, H. Yamamoto, M. Arai, K. Yoshioka and T. Okuhata
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.310

      ページ: 1781-1784

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based UV TF-ELDs by CS-MBE technique and their application to RGB light-emitting pixels2008

    • 著者名/発表者名
      M. Arai, K. Sugimoto, S. Egawa, T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(c) 5

      ページ: 2176-2178

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based Schottky-type light-emitting diodes formicropixels in flat-panel displays2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda. T. Kobayashi, SKomiyama, Y. Mashiyama, M. Arai, K. Yoshioka
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) 5

      ページ: 2225-2228

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Introduction of preheated ammonia during GaN growth on Si bycompound-source MBE at low temperature2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda. M. Sawadaishi, H. Yamamoto, M. Arai, K. Yoshioka, T. Okuhata
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 310

      ページ: 1781-1784

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of AIN films at low temperature by CS-MBE technique2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, K. Watanabe, K. Sugimoto, M. Arai, K. Takeda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) 5

      ページ: 3026-3028

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Excitonic absorption in GaN layers of GaN-based UV Schottky-type light-emitting diodes grown by metal-organic vapor phase epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      S. Komiyama, K. Noguchi, S. Suzuki, T. Honda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 310

      ページ: 5214-5216

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based metal-oxide-semiconductor light-emitting diodes operating in ultraviolet spectral region2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Kobayashi, S. Komiyama and Y. Mashiyama
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B vol.25,no.4

      ページ: 1529-1532

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of surface-oxidized GaN crystallites for UV electroluminescent devices2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Baba, M. Watanabe and T. Okuhata
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (a) vol.204, no.6

      ページ: 1982-1986

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Compound-source molecular beam epitaxy of GaN using GaN powder and ammonia as sources2007

    • 著者名/発表者名
      M. Sawada, M. Sawadaishi, H. Yamamoto, M. Arai and T. Honda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.301-302

      ページ: 67-70

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Low-temperature deposition of hexagonal GaN films for UV electroluminescent devices by CS-MBE technique2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, S. Egawa, K. Sugimoto and M. Arai
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.301-302

      ページ: 424-428

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] GaN films deposited on (111)Si by CS-MBD with re-evaporation enhancement technique for UV light-emitting devices2007

    • 著者名/発表者名
      M. Arai, K. Sugimoto, S. Egawa, T. Baba and T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.4, no.5

      ページ: 1719-1722

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Compound-source molecular beam epitaxy of GaN on Si at low temperature using GaN powder and ammonia as sources2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, M. Sawada, H. Yamamoto and M. Sawadaishi
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 955E, Warrendale, PA

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Thermal effects on light-emission properties of GaN LEDs grown by metal-organic vapor phase epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Kobayashi, S. Egawa, M. Sawada, K. Sugimoto and T. Baba
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.300

      ページ: 90-93

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based electroluminescent devices on Al substrates and their application to red, green and blue pixels for flat-panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      K. Sugimoto, S. Egawa, M. Arai and T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.4, no.1

      ページ: 53-56

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] GaN-based Schottky-type UV light-emitting diodes and their integration for flat-panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Kobayashi, S. Egawa, M. Sawada and T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.4, no.1

      ページ: 61-64

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ZnO films fabricated by spin coating and their application to UV electroluminescent devices2007

    • 著者名/発表者名
      K. Yoshioka, S. Egawa, T. Kobayashi, T. Baba, K. Sugimoto, M. Arai, H. Nomura, M. Sato and T. Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) vol.4, no.1

      ページ: 162-165

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Integrated light-emitting diodes grown by MOVPE for flat panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Kobayashi, S. Egawa, M. Sawada, K. Sugimoto and T. Baba
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.298

      ページ: 736-739

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based metal-oxide-semiconductor light-emitting diodes operating in ultraviolet spectral region2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, T. Kobayashi, S. Komiyama, Y. Mashiyama
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B 25

      ページ: 1529-1532

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of surface-oxidized GaN crystallites for UV electroluminescent devices2007

    • 著者名/発表者名
      T.Honda, T. Baba, M. Watanabe, T. Okuhata
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(a) 204

      ページ: 1982-1986

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Compound-source molecular beam epitaxy of GaN using GaN powder and ammonia as sources2007

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, S. Egawa, K. Sugimoto, M. Arai
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 301-302

      ページ: 67-70

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal effects on light-emission properties of GaN LEDs grown by metal-organic vapor phase epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      T.Honda, T.Kobayashi, S.Egawa, M.Sawada, K.Sugimoto, T.Baba
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 300

      ページ: 90-93

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN-based electroluminescent devices on Al substrates and their application to red, green and blue pixels for flat-panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      K.Sugimoto, S.Egawa, M.Arai, T.Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) Vol.4, no.1

      ページ: 53-56

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] GaN-based Schottky-type UV light-emitting diodes and their integration for flat-panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, S.Egawa, M.Sawada, T.Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) Vol.4, no.1

      ページ: 61-64

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] ZnO films fabricated by spin coating and their application to UV electroluminescent devices2007

    • 著者名/発表者名
      K.Yoshioka, S.Egawa, T.Kobayashi, T.Baba, K.Sugimoto, M.Arai, H.Nomura, M.Sato, T.Honda
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c) Vol.4, no.1

      ページ: 162-165

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Integrated light-emitting diodes grown by MOVPE for flat panel displays2007

    • 著者名/発表者名
      T.Honda, T.Kobayashi, S.Egawa, M.Sawada, K.Sugimoto, T.Baba
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 298

      ページ: 736-739

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Photoluminescence spectra of GaN films grown at low temperature by compound-source molecular beam epitaxy2006

    • 著者名/発表者名
      T.Honda, M.Sawada, T.Kobayashi, S.Egawa, Y.Aoki, M.Akiyama, H.Kawanishi
    • 雑誌名

      Physics Status Solidi (c) Vol.3, no.6

      ページ: 1870-1873

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] GaN系MOS型紫外発光ダイオードの逆方向リーク電流低減の検討2009

    • 著者名/発表者名
      野崎理, 小宮山重利, 渡辺謙二, 鈴木翔太, 本田徹
    • 学会等名
      第56回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学, 茨城
    • 年月日
      2009-04-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 化合物原料分子線エピタキシー法による(0001)Al_2O_3基板上へのGaN薄膜成長2009

    • 著者名/発表者名
      田口悟, 澤田石将士, 相原繁, 後藤大雅, 本田徹
    • 学会等名
      第56回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学, 茨城
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Tremendous reduction of reverse-bias leakage current in GaN-based Schottky-type light-emitting diodes by a surface modificationusing the aluminum facepack technique2009

    • 著者名/発表者名
      T. Honda. S. Komiyama, T. Sakka, K. Noguchi
    • 学会等名
      36th Conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces (PCSI-36)
    • 発表場所
      Hotel Mar Monte, SantaBarbara, CA, U. S. A
    • 年月日
      2009-01-12
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 36th Conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces (PCSI-36)2009

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, S. Komiyama, T. Sakka and K. Noguchi
    • 学会等名
      Hotel Mar Monte
    • 発表場所
      Santa Barbara, CA, U. S. A
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] CS-MBE法による表面窒化したAl基板上へのGaN薄膜の製作2008

    • 著者名/発表者名
      田口悟, 澤田石将士, 相原繁, 後藤大雅, 本田徹
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会2008年末講演会
    • 発表場所
      学習院大学, 東京
    • 年月日
      2008-12-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] RFラジカル窒素源を用いた化合物原料分子線堆積法による(111)Si基板上へのGaN薄膜の低温堆積2008

    • 著者名/発表者名
      眼目貴大, 福島孝司, 澤田石将士, 本田徹
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会2008年末講演会
    • 発表場所
      学習院大学, 東京
    • 年月日
      2008-12-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] GaN系MOS型紫外発光ダイオードの逆方向電流の低減2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木翔太, 小宮山重利, 野崎理, 本田徹
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会2008年末講演会
    • 発表場所
      学習院大学, 東京
    • 年月日
      2008-12-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 分子プレカーサー法を用いた紫外発光素子のためのGa-doped MgZnO透明電極の製作検討2008

    • 著者名/発表者名
      増山佳宏, 吉岡香織, 藤田健太郎, 野村裕久, 佐藤光史, 本田徹
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会2008年末講演会
    • 発表場所
      学習院大学, 東京
    • 年月日
      2008-12-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Ga-doped MgZnO-based Transparent Electrodes byMolecular Precursor Method for GaN-based UV LED2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda. Y. Mashiyama, S. Komiyama, M. Sato
    • 学会等名
      Materials Research Society (MRS) 2008 fallmeeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston, USA
    • 年月日
      2008-12-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of surface-coated GaN crystallites deposited on Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      T. Okuhata, K. Tomioka, M. Sawadaishi, S. Taguchi andT. Honda
    • 学会等名
      IEEE Nanotechnology Materials and DevicesConference 2008
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
    • 年月日
      2008-10-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of AlGaN-based UV MOS LEDs grown by MBE2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda. S. Komiyama, S. Suzuki, T. Okuhata
    • 学会等名
      35th International Symposium on CompoundSemiconductors (ISCS-2008)
    • 発表場所
      Europa-Park, Rust, Germany
    • 年月日
      2008-09-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] RF-MBE法により成長したAlGaN薄膜を用いた紫外発光MOS-LEDの製作2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木翔太, 小宮山重利, 奥畠隆嗣, 野口和之, 本田徹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] GaN薄膜成長のための表面窒化Al基板製作2008

    • 著者名/発表者名
      田口悟, 澤田石将士, 笹谷光基, 山本博美, 本田徹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛札
    • 年月日
      2008-09-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] AlO_x表面をコートしたGaN微結晶の製作とカソードルミネッセンスによる評価2008

    • 著者名/発表者名
      奥畠隆嗣, 澤田勝, 澤田石将士, 本田徹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Nitridation of (111)Al substrates for GaN growth by molecular beam epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sawadaishi, S. Taguchi, K. Sasaya, T. Honda
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ICMBE-15)
    • 発表場所
      UBC, Vancouver, Canada
    • 年月日
      2008-08-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Surface recombination of the GaN crystallites at low temperature2008

    • 著者名/発表者名
      T. Okuhata, K. Tomioka, M. Sawada, M. Sawadaishi, andT. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Surface-oxide etching on Al substrates for the formation of AIN2008

    • 著者名/発表者名
      S. Taguchi, M. Sawadaishi, K. Sasaya, H. Yamamoto, T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] XPS spectra of GaN layers grown by compound-source MBE with RF-plasma assisted N_2 supply2008

    • 著者名/発表者名
      T. Sakka, M. Arai, S. Egawa, T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu
    • 年月日
      2008-07-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Formation of AIN layer on (111)Al substrate by ammonia nitridation2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, H. Yamamoto, M. Sawadaishi, S. Taguchi andK. Sasaya
    • 学会等名
      Second international Symposium on growth of III-Nitrides (ISGN-2)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu, Japan
    • 年月日
      2008-07-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Excitonic absorption in GaN layers of GaN-based UV Schottky-type light-emitting diodes grown by metal-organic vapor phase epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      S. Komiyama, K. Noguchi, S. Suzuki, T. Honda
    • 学会等名
      14th International Conference of Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-14)
    • 発表場所
      Metz, France
    • 年月日
      2008-06-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of MgZnO Films by Molecular Precursor Method and Its Application to UV-Transparent Electrodes2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Mashiyama, K. Yoshioka, S. Komiyama, S. Adachi, M. Sato, T. Honda
    • 学会等名
      International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices (ISSLED2008)
    • 発表場所
      Phoenix, Arizona, USA
    • 年月日
      2008-04-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Insertion of oxide layer to GaN-based Schottky-type UV light-emitting diode2008

    • 著者名/発表者名
      Tohru HONDA
    • 学会等名
      日独スペインワークショップ
    • 発表場所
      プリンス箱根
    • 年月日
      2008-03-08
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Formation of AlN layer on (111)Al substrate by ammonia nitridation2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, H. Yamamoto, M. Sawadaishi, S. Taguchi and K. Sasaya
    • 学会等名
      Second international Symposium on growth ofIII-Nitrides (ISGN-2), Laforet Shuzenji
    • 発表場所
      Izu, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Excitonic absorption in GaN layers of GaN-based UV Schottky-type light-emitting diodes grown by metal-organic vapor phase epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      S. Komiyama, K. Noguchi, S. Suzuki and T. Honda
    • 学会等名
      14th International Conference of Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-14)
    • 発表場所
      Metz, France, We-P. 69
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nitridation of (111)Al substrates for GaN growth by molecular beam epitaxy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sawadaishi, S. Taguchi, K. Sasaya and T. Honda
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ICMBE-15), Vancouver
    • 発表場所
      Canada
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of AlGaN-based UV MOS LEDs grown by MBE2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, S. Komiyama, S. Suzuki and T. Okuhata
    • 学会等名
      35th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS-2008), Europa-Park, Rust
    • 発表場所
      Germany
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of surface-coated GaN crystallites deposited on Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      T. Okuhata, K. Tomioka, M. Sawadaishi, S. Taguchi and T. Honda
    • 学会等名
      IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference 2008
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of Ga-doped MgZnO-based Transparent Electrodes by Molecular Precursor Method for GaN-based UV LED2008

    • 著者名/発表者名
      T. Honda, Y. Mashiyama, S. Komiyama and M. Sato
    • 学会等名
      Materials Research Society (MRS) 2008 fall meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Surface recombination of the GaN crystallites at low temperature2008

    • 著者名/発表者名
      T. Okuhata, K. Tomioka, M. Sawada, M. Sawadaishi, and T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Surface-oxide etching on Al substrates for the formation of AlN2008

    • 著者名/発表者名
      S. Taguchi, M. Sawadaishi, K. Sasaya, H. Yamamoto and T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27), Laforet Shuzenji
    • 発表場所
      Izu, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] XPS spectra of GaN layers grown by compound-source MBE with RF-plasma assisted N2 supply2008

    • 著者名/発表者名
      T. Sakka, M. Arai, S. Egawa and T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Absorption loss in GaN-based Schottky-type UV-LEDs2008

    • 著者名/発表者名
      K. Noguchi, S. Komiyama and T. Honda
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS-27)
    • 発表場所
      Laforet Shuzenji, Izu, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] GaN系MOS型紫外発光ダイオードの逆方向電流の低減2008

    • 著者名/発表者名
      本田徹、小宮山重利、増山佳宏、渡邊謙二
    • 学会等名
      電子通信情報学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • 発表場所
      名古屋工業大学, 名古屋市
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of MgZnO Films by Molecular Precursor Method and Its Application to UV-Transparent Electrodes2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Mashiyama, K. Yoshioka, S. Komiyama, S. Adachi, M. Sato and T. Honda
    • 学会等名
      International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices (ISSLED2008), Phoenix
    • 発表場所
      Arizona, USA
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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