| 研究課題/領域番号 |
18560407
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 茨城大学 |
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研究代表者 |
尾保手 茂樹 茨城大学, 工学部, 准教授 (50323209)
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| 研究分担者 |
鹿子嶋 憲一 茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
池畑 隆 茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸 茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
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| 連携研究者 |
池畑 隆 茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸 茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,560千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 360千円)
2008年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2006年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | 計測システム / プラズマチャンバー / 異常放電 / 位置推定 / アンテナ / 到来方向推定 |
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| 研究概要 |
半導体製造工程のひとつに金属の円筒であるプラズマチャンバ内でのエッチング工程があり, その工程において異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有効である. 本研究では, アレーアンテナを用いた到来方向推定技術を用いた放電箇所推定の可能性について検討している. 直径650mmの金属製のチャンバーにおいて, 4素子半波長等間隔リニアアレーアンテナを用いた到来方向推定実験を行った結果, 到来方向推定に基づく位置推定の実現が可能である見通しを得た.
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