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波長多重走査型半導体レーザ光源によるインプロセス形状計測システムの実現

研究課題

研究課題/領域番号 18560409
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 計測工学
研究機関新潟大学

研究代表者

鈴木 孝昌  新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)

研究分担者 佐々木 修己  新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
大平 泰生  新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10361891)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,870千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 570千円)
2008年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2007年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2006年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
キーワード半導体レーザ / 干渉計 / 波長走査 / 光外部共振器 / インプロセス計測 / 外部共振器型光源 / 広帯域波長走査 / 静的波長走査 / 光熱変調 / 半導体レーザー / 波長多重化
研究概要

機械的駆動要素を必要としない静的波長走査光源を提案・構築し, AOD による波長走査が可能であることを実証した。波長走査幅は, 約1(nm), 周波数応答は約300(Hz)であった。また, 高速度CCDカメラを用い, インプロセスでの鮮明な干渉縞画像検出ができることを確認した。これにより, 外乱にロバストな干渉計測システムの実現が可能であることを示した。

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2008 2007

すべて 学会発表 (6件)

  • [学会発表] 外部共振器型半導体レーザ光源の静的波長制御に関する検討2008

    • 著者名/発表者名
      永井竜一, 鈴木孝昌, 佐々木修己
    • 学会等名
      電気学会東京支部新潟支所研究発表会予稿集
    • 発表場所
      新潟大学
    • 年月日
      2008-11-08
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 外部共振器型半導体レーザ光源の静的波長制御に関する検討2008

    • 著者名/発表者名
      永井竜一, 鈴木孝昌, 佐々木修己
    • 学会等名
      電気学会東京支部新潟支所研究発表会
    • 発表場所
      新潟大学工学部
    • 年月日
      2008-11-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] A static wavelength scanning in a tunable external cavity laser diode2008

    • 著者名/発表者名
      Takamasa Suzuki, Shin Nagasaki, and Osami Sasaki
    • 学会等名
      Proc. Of ICO21-2008 Congress
    • 発表場所
      シドニーコンベンションセンター
    • 年月日
      2008-07-10
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] A static wavelength scanning in a tunable external cavity laser diode2008

    • 著者名/発表者名
      Takamasa Suzuki, Shin Nagasaki, Osami Sasaki
    • 学会等名
      ICO (International Commission for Optics)
    • 発表場所
      シドニー・コンベンションセンター(オーストラリア)
    • 年月日
      2008-07-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 外部共振器型半導体レーザ光源の波長制御に関する検討2007

    • 著者名/発表者名
      長崎 慎, 鈴木孝昌, 佐々木修己
    • 学会等名
      電気学会東京支部新潟支所研究発表会予稿集
    • 発表場所
      長岡技術科学大学
    • 年月日
      2007-11-23
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 外部共振器型半導体レーザ光源の波長制御に関する検討2007

    • 著者名/発表者名
      長崎 慎, 鈴木孝昌, 佐々木修己
    • 学会等名
      電気学会東京支部新潟支所研究発表会
    • 発表場所
      長岡技術科学大学
    • 年月日
      2007-11-23
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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