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アモルファス・ナノ2相変調構造を有する無電解コバルト系合金膜の創製と応用

研究課題

研究課題/領域番号 18560699
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

松田 均  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60118015)

研究分担者 八重 真治 (人重 真治)  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00239716)
福室 直樹  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10347528)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,100千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 300千円)
2008年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2007年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2006年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワード無電解めっき / アモルファス / ナノ結晶 / 変調構造 / 傾斜構造膜 / 磁気履歴曲線 / 保磁力 / 磁化履歴曲線
研究概要

物質は、原子が規則正しく配列する「結晶質」と配列がランダムな「アモルファス」に分類できる。無電解めっき法で作製条件によって、アモルファスから結晶質まで種々の膜を形成可能である。この研究では、(1) 1枚の膜の中で、結晶がアモルファスから結晶質へ少しずつ変化する構造傾斜膜(2) 1枚の膜の中でアモルファスと結晶質が幾何学的に配列した2相変調構造膜の作製に成功した。また、その構造観察や磁気特性解析を行い、実用化の基礎資料を提示した

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (49件)

すべて 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (17件) (うち査読あり 15件) 学会発表 (29件) 図書 (1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless process2009

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, T. Hirano, T. Matsuda, N. Fukumuro, and H. Matsuda
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci. 255(8)

      ページ: 4670-4672

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 平滑アルミナ基板と無電解純Ni めっき膜の密着性と内部応力との関係2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤潔, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 12(2)

      ページ: 130-136

    • NAID

      110007122655

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless. process2009

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 255

      ページ: 4670-4672

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 滑アルミナ基板と無電解純Niめっき膜の密着性と内部応力との関係2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤 潔
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      ページ: 130-136

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, M. Tashiro, T. Hirano, M. Abe, N. Fukumuro, and H. Matsuda
    • 雑誌名

      ECS Trans 16(3)

      ページ: 285-289

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Palladium Enhanced Etching of n-type Silicon in Hydrofluoric Acid Solution2008

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Makoto Abe, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochemistry 72(2)

      ページ: 144-146

    • NAID

      10019916285

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrof luoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16(3)

      ページ: 285-289

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nucleation behavior in electroless displacement deposition of metals on silicon from hydrofluoric acidsolutions2007

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, N. Nasu, K. Matsumoto, T. Hagihara, N. Fukumuro, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochim. Acta 53

      ページ: 35-41

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structure of Porous Si Formed by Metal-Particle (Pt, Pd) Enhanced HF Etching2007

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, M. Abe, T. Kawagishi, K. Suzuki, N. Fukumuro, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Trans. Mater. Res. Soc. Jpn. 32

      ページ: 445-448

    • NAID

      130007922775

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In Situ Measurement of Internal Stress in Electrolessly Deposited Copper Film by Television Holographic Interferometry2007

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro, M. Yamazaki, K. Ito, H. Ishihara, S. Kakunai, S. Yae, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochem. Solid State Lett 10

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Co-P multilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro, J. Nishiyama, K. Shigeta, Y. Morimoto, H. Takagami, S. Yae, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochem. Comm. 9

      ページ: 1185-1188

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Solar to chemical conversion using metal nanoparticle modified microcrystalline silicon thin film photoelectrode2007

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, T. Kobayashi, M. Abe, N. Nasu, N. Fukumuro, S. Ogawa, N. Yoshida, S. Nonomura, Y. Nakato, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Sol. Energy Mater. Sol. Cells 91

      ページ: 224-229

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Confirmation of hydroxide in electroless cobalt alloy films by GDOES2007

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro. J. Nishiyama, k. Shigeta, H. Takagami, S. Yae, H. matsuda
    • 雑誌名

      Trans. Instit. Met. Fin. 85

      ページ: 111-112

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Co-P miltilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • 著者名/発表者名
      N. Fukimuro, J. Nishiyama. K. Shigeta, Y. Morimoto, H. Takagami, S. Yae. H. Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochem. Comm. 9

      ページ: 1185-1188

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In Situ Measurement of Internal Stress in Electrolessly Deposited Copper Film by Television Holographic Interferometry2007

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro, M. Yamazaki, K. Ito, h. Ishihara, S. Kakunai, S. Yae, H. Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochem. Solid State Lett. 10

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Co-P multilayer film electrodeposited under DC electrolysis2007

    • 著者名/発表者名
      N.Fukumuro, J.Nishiyama, K.Shigeta, Y.Morimoto, H.Takagami, S.Yae, H.Matsuda
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communications 9

      ページ: 1185-1188

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Confirmation of Hydroxide in Electroless Cobalt Alloy Films by GDOES2007

    • 著者名/発表者名
      N.Fukumuro, J.Nishiyama, K.Shigeta, H.Takagami, S.Yae, H.Matsuda
    • 雑誌名

      Trans. Inst. Met. Finish (in press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] パラジウムを触媒とするシリコンのHFエッチングによるパターン形成2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第7 6回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第7 6回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解Niめっき膜中の水素の挙動2009

    • 著者名/発表者名
      田中裕三
    • 学会等名
      電気化学会第76回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解Ni めっき膜中の水素の挙動2009

    • 著者名/発表者名
      田中裕三, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • 学会等名
      電気化学会第76回大会講演要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Microstructural Investigation of Modulated structure in Electrolessly Deposited Co-P Films2008

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro
    • 学会等名
      IUMRS-ICA2008
    • 発表場所
      名古屋市・名古屋国際会議場
    • 年月日
      2008-12-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山 彰
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解Niめっきにおける水素の挙動2008

    • 著者名/発表者名
      田中裕三
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-14
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Electroless Process for Producing Metal Filled Si Nanopores2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hirano
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州 ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-13
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Co-Pめっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      小佐々 寛
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山 彰
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] TVホログラフィー干渉法によるめっき初期析出過程の内部応力のその場測定2008

    • 著者名/発表者名
      福室直樹
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電気化学的手法により作製したCoめっき膜中における水素の存在状憩の検討2008

    • 著者名/発表者名
      中山 彰、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均、 深井 有
    • 学会等名
      日本金属学会2008年春期(第142回)講演大会
    • 発表場所
      東京都世田谷区武蔵工業大学
    • 年月日
      2008-03-26
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Microstructural Investigation of Modulated Structure in Electrolessly Deposited Co-P Films(DDP-3)2008

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro, S. Yae and H. Matsuda
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia 2008
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Influence of Displacement Reaction on Electrodeposition of Noble Metal Particles on Silicon(DDP-4)2008

    • 著者名/発表者名
      M. Kawai, T. Matsuda, N. Fukumuro, S. Yae and H. Matsuda
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia 2008
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 電解法により作製したCo めっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山彰、福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 電解Niめっきにおける水素の挙動2008

    • 著者名/発表者名
      田中裕三, 福室直樹, 八重真治, 松田均, 深井有
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 中央大理工研深井有, Co-Pめっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      小佐々寛, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      日本金属学会2008 年秋期(第143回)大会講演概要
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 中央大理工研深井有, 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会講演概要
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 中央大理工研深井有, 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山彰, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会講演概要
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也, 松田貴士, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      表面技術協会第118回講演大会講演要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 単結晶Si上への金属微粒子の無電解置換析出~Arプラズマエッチングによる粒子数密度変化~2008

    • 著者名/発表者名
      松田貴士, 高見晃司, 福室直樹, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      表面技術協会第118回講演大会講演要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] TVホログラフィー干渉法によるめっき初期析出過程の内部応力のその場測定表面技術協会2008

    • 著者名/発表者名
      福室直樹, 伊藤潔, 高木將裕, 格内敏, 八重真治, 松田均
    • 学会等名
      第118回講演大会講演要旨集
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] TVホログラフィーを用いためっき膜応力のin-Situ測定2007

    • 著者名/発表者名
      石本 和大、 高木 将裕、 大南 恵介、 格内 敏、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均
    • 学会等名
      第9回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      大阪府東大阪市近畿大学
    • 年月日
      2007-12-11
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 電気化学的手法により作製したCo系めっき膜中における水素の存在状態の検討2007

    • 著者名/発表者名
      小佐々 寛、 福室 直樹、 八重 真治、 松田 均、 深井 有
    • 学会等名
      (社)日本金属学会2007年秋期講演大会
    • 発表場所
      岐阜県岐阜市岐阜大学
    • 年月日
      2007-09-20
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] Progress in Nanoparticles Research2008

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 出版者
      Nova Science Publishers
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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