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電子線誘起蒸着による金属間化合物ナノドットの作製

研究課題

研究課題/領域番号 18560701
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関埼玉工業大学

研究代表者

下条 雅幸  埼玉工業大学, 先端科学研究所, 准教授 (00242313)

研究分担者 竹口 雅樹  物質材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 (30354327)
連携研究者 竹口 雅樹  物質材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 (30354327)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,070千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 570千円)
2008年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2006年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード金属材料 / ナノ材料 / 電子顕微鏡 / 金属間化合物 / 磁性
研究概要

目的の場所ヘサイズや形状を制御して、ナノ構造を作製できる方法として電子線誘起蒸着法(EBID)がある。本研究では、FeとPtを含む原料を用いてEBIDを行い、FePt金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。また、このとき作製されたナノ構造物の純度が問題だったため、原料に水蒸気を混合する方法や無機系原料を用いたEBID法を開発し、比較的純度の高いナノ構造を作製できた。

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 (26件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (26件) 図書 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Post-deposition proces ses for nanostructures formed by electron beam induced deposition with Pt(PFs)4 precursor2008

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi, M. Shimoio and K. Furuya
    • 雑誌名

      Appl. Phys. A 93

      ページ: 439-442

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Formation of nanoscale platinum and iron oxide structures using electron beam induced deposition techniques2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 100

      ページ: 52016-52016

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Effect of dynamic precursor gas pressure on growth behavior of amorphous Si-C-O nanorods by electron beam-induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      W. Zhang, M. Shimoio and K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Mater. Sci. 43, 6

      ページ: 2069-2071

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 電子線誘起蒸着法研究2008

    • 著者名/発表者名
      下条雅幸、竹口雅樹、三石和貴、田中美代子、古屋一夫
    • 雑誌名

      機械の研究 60, 9

      ページ: 937-942

    • NAID

      40016212044

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Post-deposition processes for nanostructures formed by electron beam induced deposition with Pt(PF3)4 precursor2008

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi, M. Shimojo, K. Furuya
    • 雑誌名

      Appl. Phys. A 93

      ページ: 439-442

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of nanoscale platinum and iron oxide structures using electron beam induced deposition techniques2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 100

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of dynamic precursor gas pressure on growth behavior of amorphous Si-C-0 nanorods by electron beam induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      W. Zhang, M. Shimojo, K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Mater. Sci. 43

      ページ: 2069-2071

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電子線誘起蒸着法研究2008

    • 著者名/発表者名
      下条雅幸, 竹口雅樹, 三石和貴, 田中美代子, 古屋一夫
    • 雑誌名

      機械の研究 60

      ページ: 937-942

    • NAID

      40016212044

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] Mechanisms of crystalline iron oxide formation in electron beam induced deposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B

      ページ: 6247-6249

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Nanostructure fabrication by electron beam induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor2007

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi, M. Shimoio and K. Furuya
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B

      ページ: 6183-6186

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Electron beam induced deposition of Fe nanoparticles and thin films on SrTiO3 substrates2007

    • 著者名/発表者名
      M. Tanaka, K. Mitsuishi, M. Takeguchi. M. Shimoio. K. Furuya and N. Koguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B

      ページ: 6243-6246

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio. M. Takeguchi. K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
    • 雑誌名

      Mater. Sci. Forum 561-565

      ページ: 1101-1104

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Field electron emission from single carbon nanorod fabricated by electron beam induced deposition2007

    • 著者名/発表者名
      R. Che, M. Takeguchi. M. Shimoio and K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 61

      ページ: 200-204

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Mechanisms of crystalline iron oxide formation in electron beaminduced deposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, and K. Furuya
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: 6247-6249

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanostructure fabrication by electron beam induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor2007

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi, M. Shimojo, and K. Furuya
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 46

      ページ: 6183-6186

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electron beam induced deposition of Fe nanoparticles and thin films on SrTiO_3 substrates2007

    • 著者名/発表者名
      M. Tanaka, K. Mitsuishi, M. Takeguchi, M. Shimojo, K. Furuya, and N. Koguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 46

      ページ: 6243-6246

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of Fe-Pt intermetallic phase in nanostructures by electron beam induced deposition and postdeposition alloying processes2006

    • 著者名/発表者名
      W. Zhang, R. Che, M. Takeguchi. M, Shimoio and K. Furuya
    • 雑誌名

      Surf. Interface Anal. 38

      ページ: 1527-1529

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Effects of heat treatment on electric properties of nanorods formed by electron beam-induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio. M. Takeguchi. R. C. Che, W. Zhang, M. Tanaka, K. Mitsuishi and K. Furuya
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6B

      ページ: 5509-5512

    • NAID

      10017998874

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Formation of crystalline iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition at room temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio. M. Takeguchi and K. Furuya
    • 雑誌名

      Nanotechnology 17

      ページ: 3637-3640

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication ofnano-magnet on a piezo-driven tip in a TEM sample holder2006

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi. M. Shimoio. R. Che and K. Furuya
    • 雑誌名

      J. Mater. Sci. 41

      ページ: 2627-2630

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 電子線誘起蒸着(EBID)による磁性ナノ構造創製2006

    • 著者名/発表者名
      竹口雅樹、下条雅幸、古屋一夫
    • 雑誌名

      顕微鏡 41, 2

      ページ: 127-130

    • NAID

      10018183243

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Formation of Fe-Pt intermetallic phase in nanostructures by electron beam induced deposition and postdeposition alloying processes2006

    • 著者名/発表者名
      W.Zhang, R.Che, M.Takeguchi, M.Shimojo, K.Furuya
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 38

      ページ: 1527-1529

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 電子線誘起蒸着(EBID)による磁性ナノ構造創製2006

    • 著者名/発表者名
      竹口雅樹, 下条雅幸, 古屋一夫
    • 雑誌名

      顕微鏡 41・2

      ページ: 127-130

    • NAID

      10018183243

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of heat treatment on electric properties of nanorods formed by electron beam induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M.Shimoji, M.Takeguchi, 他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・6B

      ページ: 5509-5512

    • NAID

      10017998874

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      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Formation crystalline iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition at romm temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M.Shimoji, M.Takeguchi, K.Furuya
    • 雑誌名

      Nanotechnology 17

      ページ: 3637-3640

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      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Favrication of a nano-magnet on a piezo-driven tip in a TEM sample holder2006

    • 著者名/発表者名
      M.Takeguchi, M.Shimoji, R.Che, K.Furuya
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science 41

      ページ: 2627-2630

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] Electrical characterization of amorphous MoOx nanowires grown by electron beam induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      牧瀬圭正, 三石和貴, 下条雅幸, 竹口雅樹, 古屋一夫, 篠崎文重
    • 学会等名
      イノベーションつくば2008
    • 発表場所
      筑波
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] In-situ electron beam induced deposition for the fabrication of noble nanostructures2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Song
    • 学会等名
      Micro Science 2008
    • 発表場所
      London, UK
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      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Characterization of nanowires produced by electron beam induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Song, H. Matsumoto, K. Makise, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC9)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Electron beam nanofabrication and characterization of iron compounds2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi and M. Tanaka
    • 学会等名
      14th European Microscopy Congress (EMC 2008)
    • 発表場所
      Aachen, Germany
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanofabrication and characterization of iron compounds with focused electron beam2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi and M. Tanaka
    • 学会等名
      1st International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations (AMTC1)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of iron oxide nanostructures by electron beam-induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
    • 学会等名
      The sixth pacific rim international conference on advanced materials and processing (PRICM-6)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Characterization of nanowires produced by electron beam induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shimojo, M. Song, H. Matsumoto, K. Makise, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, 他
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC9)
    • 発表場所
      韓国
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of platinum and iron oxide nanostructures using electron beam induced techniques2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, M. Song
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC9)
    • 発表場所
      韓国
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] In-situ electron beam induced deposition for the fabrication of noble nanostructures2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Song
    • 学会等名
      Micro Science 2008
    • 発表場所
      英国
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Electron beam nanofabrication and characterization of iron compounds2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi, M. Tanaka
    • 学会等名
      14th European Microscopy Congress (EMC 2008)
    • 発表場所
      ドイツ
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Nanofabrication and characterization of iron compounds with focused electron beam2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi, M. Tanaka
    • 学会等名
      1st Internation Symposium on Advanced Micrscopy and Theoretical Calculations (AMTC1)
    • 発表場所
      名古屋
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 無機化合物を原料とした電子線誘起蒸着によるPtナノ構造物作製2008

    • 著者名/発表者名
      下条雅幸, 竹口雅樹, 田中美代子, 三石和貴, 宋明暉, 古屋一夫
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期大会
    • 発表場所
      熊本
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 超高圧電顕によるナノ粒子分散材料の3次元観察2008

    • 著者名/発表者名
      下条雅幸, 長谷川明, 松本創, 古屋一夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第64回学術講演会
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of iron oxide nanostructures by electron beam-induceddeposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, K. Furuya
    • 学会等名
      The sixth pacific rim international conferenceon advanced materials and processing
    • 発表場所
      韓国
    • 年月日
      2007-11-08
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Formation of nanoscale iron and iron oxide structures using electron beam induced deposition techniques2007

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, K. Furuya
    • 学会等名
      International Conference on Nano Science and Technology (ICN+T 2007)
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Effects of water addition to iron carbonyl on the formation of iron oxide nanostructures in electron beam-induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio, R. C. Che, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Mitsuishi and K. Furuya
    • 学会等名
      19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006), Digest of Papers, p. 184-185.
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanostructures fabrication by electron beam induced deposition with Fe(CO)5 and H2O followed by thermal treatment2006

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi. R. Che, M. Shimoio and K. Furuya
    • 学会等名
      19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006)
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Electron beam induced deposition of Fe on STO2006

    • 著者名/発表者名
      M. Tanaka, K. Mitsuishi, M. Takeguchi. M. Shimoio. K. Furuya and N. Koguch
    • 学会等名
      19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006)
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Field emission from single nanorod fabricated by electron beam-induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      R. C. Che, M. Takeguchi. M. Shimoio and K. Furuya
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and Technology 2006 (ICN+T 2006)
    • 発表場所
      Basel, Switerland
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Formation of iron oxide nanorods using electron beam-induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio. M. Takeguchi. W. Lu and K. Furuya
    • 学会等名
      Microscopy and Microanalysis 2006 (M&M2006), Vol. 12, Supp. 2, 700-701
    • 発表場所
      Chicago, Illinois, USA
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and characterization of magnetic nanostructures with different iron concentration2006

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi. M. Shimoio. R. Che and K. Furuya
    • 学会等名
      Microscopy and Microanalysis 2006 (M&M2006), Vol. 12, Supp. 2, 980-981
    • 発表場所
      Chicago, Illinois, USA
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct formation of oxide nanorods using electron beam-induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shimoio. M. Takeguchi. W. Lu and K. Furuya
    • 学会等名
      16th International Microscopy Congress (IMC16), p. 1837
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Electron holography characterization of nanostructures with different iron concentration formed by electron beam induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      M. Takeguchi. M. Shimoio. R. C. Che and K. Furuya
    • 学会等名
      16th International Microscopy Congress (IMC16)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and observation of metal nancrstructures using an ultra-high vacuum transmission electron microscopy2006

    • 著者名/発表者名
      M. Tanaka, M. Shimoio. M. Takeguchi. K. Mitsuishi and K. Furuya
    • 学会等名
      16th International Microscopy Congress (IMC16)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Electron holography investigation on FePt alloy nanorod fabricated by electron beam induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      R. C. Che, M. Takeguchi, M. Shimoio, W. Zhang and K. Furuya
    • 学会等名
      16th International Microscopy Congress (IMC16)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Field electron emission from nanorods formed by electron beam induced deposition2006

    • 著者名/発表者名
      R. C. Che, M. Takeguchi, M. Shimoio, W. Zhang and K. Furuya
    • 学会等名
      16th International Microscopy Congress (IMC16)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] In-situ ion and electron beam effects on the fabrication and analysis of nanomaterials ; In-situ electron microscopy at high resolution2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Song, M. Shimoio (分担)
    • 出版者
      World Scienctific Publishing, Singapore
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] In-situ electron microscopy at high resolution (分担)2008

    • 著者名/発表者名
      K. Furuya, M. Song, M. Shimojo
    • 総ページ数
      19
    • 出版者
      World Scientific Publishing
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 触媒作用を有する塩化物と収束電子線を用いる微細構造物の製造方法とその装置2008

    • 発明者名
      下条雅幸、古屋一夫
    • 権利者名
      物質・材料研究機構
    • 取得年月日
      2008-03-18
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [産業財産権] 触媒作用を有する塩化物と収束電子線を用いる微細構造物の製造方法とその装置2008

    • 発明者名
      下条雅幸, 古屋一夫
    • 権利者名
      物質材料研究機構
    • 出願年月日
      2008-05-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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