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高機能細径医療ツールのための円筒面に適したMEMSプロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18650118
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 医用生体工学・生体材料学
研究機関東北大学

研究代表者

松永 忠雄  東北大学, 先進医工学研究機構, 助教 (00396540)

研究分担者 芳賀 洋一  東北大学, 先進医工学研究機構, 准教授 (00282096)
牧志 渉  東北大学, 先進医工学研究機構, 助教 (60400454)
江刺 正喜  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2007年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2006年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
キーワード円筒面MEMSプロセス / フォトリソグラフィー / コーティング
研究概要

本研究の目的は、マスクレス露光を用いたフォトリソグラフィーをはじめとする半導体微細加工技術および微小機械要素を取り入れたMEMS技術を、細径の円筒面に適応することにより、高機能医療ツールを実現することである。医療機器など高付加価値のデバイスの形状に着目すると、ほとんどが円筒形状であり、この目的に特化して新たな微細加工および集積化技術を開発することにより、今までにない有用で高機能なデバイスを実現できる。昨年度から遂行している円筒形状サンプル表面にフォトリソグラフィーを行うための要素技術(露光、レジストスプレーコーティング、成膜、めっき)、および非平面サンプル上へのレーザー局所加熱を用いた集積回路実装技術はほぼ確立した。
本年度は露光光を微小点で照射し,ステージを多軸で制御することにより描画する点照射を用いたマスクレス露光により、血管内MRIプローブの作製を行った。本デバイスは血管病変をコントラスト良く高解像度イメージングするために用いられる。外径φ2mmのガラスチューブ上にサドルコイル(RFコイル)を作製し、マッチング回路を組み込みこんだデバイスをMRI装置に接続し、イメージングを行った。ブタ鎖骨下動脈摘出サンプル内に本デバイスを挿入しイメージングを行った結果、φ7.5mm範囲の撮像が可能であり、その有効性を確認した。
以上の結果から、円筒面に適したMEMSプロセスを用いた高機能細径医療ツールのフィージビリティを確認し、本研究の目的をほぼ計画通り達した。

報告書

(2件)
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (2件) 学会発表 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Fabrication Techniques for Multilayer Matalization and Patterning, and Surface Mountings of Components on Cyrindrical Substrates for Tube-Shaped Micro-Tools2006

    • 著者名/発表者名
      S.Goto
    • 雑誌名

      Proc. of 1st IEEE/RAS-EMBS 2006 International Conference on Biomedical Robotics and Biomechatoronics (Biorobo2006)

      ページ: 217-220

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of High-Resolution Intraluminal and Intravascular MRI Probe Using Microfabrication on Cylindrical Substrates2006

    • 著者名/発表者名
      S.Goto
    • 雑誌名

      IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2007)

      ページ: 1603-1606

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of receive coil for intravascular and intraluminal MRI using photolithography technique on cylindrical substrates2007

    • 著者名/発表者名
      S. Goto
    • 学会等名
      The 19th International Conference of Society for Medical Innovation and Technology (SMIT2007)
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 年月日
      2007-11-20
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 立体形状に適したフォトリソグラフィー装置2006

    • 発明者名
      芳賀洋一, 松永忠雄, 江刺正喜, 戸津健太郎
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2006-250761
    • 出願年月日
      2006-09-15
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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