| 研究概要 |
19.1 任意波形追随型変調熱プラズマ(AMITP)の可視光領域変化の高速度ビデオ測定
前年度維持に成功した任意波形追随型変調プラズマの可視光領域がどのように変化するのかを高速度ビデオカメラ観測により検討した。その結果,変調波形により様々な変化を見せることがわかり,変調波形により熱プラズマ自身に大きな擾乱を与え,変動できることが確認できた。
19.2 Ar AMITPの安定維持範囲の測定
AMITPはプラズマに擾乱を与えるため,一般にその維持は無変調の場合に比較して難しい。したがってその安定維持範囲を把握しておくことは運用上重要である。今回は三角波と矩形波変調の揚合について,電力15kW,Ar80slpmとした。圧力,SCLを変更してそれぞれの変調の場合について安定維持範囲を実験的に明らかにした。矩形波変調はいずれの場合についても三角波変調より維持しにくいことも確認できた。
19.3 AMITPの周波数,入力電力変化
AMITPはプラズマが大きく変動する。電源からみてこの大きな負荷変動に対しPLL制御で周波数を変更している。したがって周波数変化,入力電力変化などはプラズマ負荷変動に起因している。そこでコイル電流,電圧波形から周波数変動,入力電力変化を求めた。その結果,周波数,入力電力ともプラズマ変動に従い変動していることがわかった。特に周波数変化は以下に示すAr励起温度変化波形とほぼ相似の関係にあることが実験的にわかった。
19.4 AMITPのAr励起温度変化
任意波形追随の変化がプラズマの温度に対し変動効果があるのかをAr励起温度を測定することにより調べた。その結果,Ar励起温度も各変調波形に対して大きく変動し,条件によっては数千Kもの変動が生じていることがわかった。
19.5 AMITP用解析プログラムの開発
任意波形追随熱プラズマに対し解析できる電磁熱流体解析モデルを開発した。
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