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超高圧希ガスを用いる超小型真空紫外マイクロレーザーへの挑戦

研究課題

研究課題/領域番号 18656106
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関宮崎大学

研究代表者

窪寺 昌一  宮崎大学, 工学部, 教授 (00264359)

研究分担者 加来 昌典  宮崎大学, 工学部, 助教 (10425621)
研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2007年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
2006年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワード超高圧希ガス / 希ガスダイマー / 希ガスエキシマ / 光励起 / 真空紫外 / マイクロレーザー / 真空紫外光 / 希ガスダイマ / 真空紫外分光 / レーザー生成プラズマ光源 / 希ガスエキシマランプ
研究概要

今年度はクリプトンの共鳴吸収線である123.6nmの真空紫外域での吸収分光を行った.低圧では共鳴吸収線のスペクトル広がりは対称的であるが,高圧になるにつれて吸収スペクトル形状は非対称性を示した.理論的に共鳴吸収線の長波長側に遷移波長が存在するクリプトンダイマーからの吸収の寄与であると仮定し,スペクトル広がりのフィッティングを行い,非対称成分のスペクトル幅の圧力依存性等の諸特性を測定した.その結果,圧力とともに単調増加するスペクトル成分が抽出された.理論的には圧力の二乗に比例してダイマー密度は増加すると考えていたことから,実験結果,理論結果ともども見直しを含め検討を加えた.その結果,この非対称成分はクリプトンダイマーの生成によるものと結論づけた.生成したクリプトンダイマーはその吸収波長帯が126nm近辺にあることからこのダイマーをアルゴンエキシマランプ(中心波長126nm)で光励起したところ,アルゴンエキシマスペクトルの著しい吸収が見られ,同時にクリプトンエキシマ発光(波長147nm)が観測された.アルゴンエキシマスペクトルはクリプトン原子の共鳴吸収の影響を強く受けると思われ,低圧化ではKr+hv→Kr*, Kr*+2Kr→Kr_2*+Krのような圧力の二乗に比例する通常の三体衝突反応によるクリプトンエキシマ生成が進行したが,高圧側ではKr+Kr→Kr_2, Kr_2+hv→Kr_2*と推測される圧力の一乗に比例するクリプトンエキシマの発光が得られた.理論的な化学平衡の結果と比較しても定性的にはよい一致を示している.このクリプトンエキシマ生成のデータを基に高圧クリプトン内でのプラズマ生成を試み,この場合も波長147nmのエキシマ発光を観測するに至った.これらの成果より,超高圧希ガス内では新しい希ガスエキシマ生成チャネルが存在することを初めて実証できたと考えている.

報告書

(2件)
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] High-intensity subpicosecond vacuum ultraviolet laser system2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, et. al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (掲載予定)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, et. al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6452

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセス -高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発とその応用技術の開発-2006

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人, 他
    • 雑誌名

      レーザー学会第352回研究会報告 RTM-6-27-34

      ページ: 1-5

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] 高強度真空紫外エキシマレーザー2007

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一, 加来昌典
    • 学会等名
      光・量子デバイス研究会「次世代光源に関する提案」
    • 発表場所
      九州大学西新プラザ
    • 年月日
      2007-12-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of high-pressure rare-gases2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato, et. al.
    • 学会等名
      第60回電気関係学会九州支部連合大会(国際セッション, 光および量子エレクトロニクス)
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2007-09-18
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 超高圧希ガスの真空紫外吸収分光測定2007

    • 著者名/発表者名
      加来昌典, ら
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.opt.miyazaki-u.ac.jp

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

URL: 

公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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