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3次元フォトリソグラフィによる高機能MEMSデバイス

研究課題

研究課題/領域番号 18681023
研究種目

若手研究(A)

配分区分補助金
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関豊田工業大学 (2007-2008)
東北大学 (2006)

研究代表者

佐々木 実  豊田工業大学, 工学部, 教授 (70282100)

研究期間 (年度) 2006 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
25,610千円 (直接経費: 19,700千円、間接経費: 5,910千円)
2008年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
2007年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
2006年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
キーワードマイクロファブリケーション / マイクロマシン / デバイス設計・製造プロセス / 3次元フォトリソグラフィ / 3次元デバイス / 垂直壁 / 3次元実装 / 流体解析 / 先端機能デバイス
研究概要

3次元フォトリソグラフィの応用可能性をニーズのあるデバイスの形で示す試みは、ニーズを持つ外部研究グループと一緒に行った。関西大学の青柳教授らとの、自立カンチレバーと組み合わされたMOSFET容量センサ、香川大学の大平教授らとの、ICパッケージ側壁への配線パターン形成である。露光技術などの推敲と、成膜の基礎研究(評価法、気流解析)も平行して進めた。応用展開と、プロセス技術全般の推敲、学術的基礎の蓄積が進展した。

報告書

(4件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (53件)

すべて 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (22件) 図書 (12件) 備考 (5件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2008

    • 著者名/発表者名
      Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.128-E, No.3

      ページ: 102-107

    • NAID

      10021135078

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2008

    • 著者名/発表者名
      H. Izumi, Y. Matsumoto, S. Aoyagi, Y. Harada, S. Shingubara, M. Sasaki, K. Hane, H. Tokunaga
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 128-E, No.3

      ページ: 102-107

    • NAID

      10021135078

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures2007

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar SINGH, Minoru SASAKI, and Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.46, No.9B

      ページ: 6449-6453

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method2007

    • 著者名/発表者名
      Seiji Aoyagi, Yuichi Matsui, Kenji Makihira, Hiroshi Tokunaga, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.127-E, No.3

      ページ: 153-159

    • NAID

      10018737787

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method2007

    • 著者名/発表者名
      S. Aoyagi, Y. Matsui, K. Makihira, H. Tokunaga, M. Sasaki, K. Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 127-E, No.3

      ページ: 153-159

    • NAID

      10018737787

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures2007

    • 著者名/発表者名
      V.K. Singh, M. Sasaki, K. Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46, No.9B

      ページ: 6449-6453

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method2007

    • 著者名/発表者名
      Seiji Aoyagi
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 127-E・3

      ページ: 153-159

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,陳俊中エドウィン,羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.126-E, No.6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017582294

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 126-E・6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017582294

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Angled exposure method for patterning 3D samples with slant side surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh
    • 雑誌名

      Proc. of International Microprocesses and Nanotechnology Conference, (2006.10.27 Kamakura) 27A-11-2

      ページ: 386-387

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料センサ・マイクロマシン準部門総合研究会,2006.5.15-16 MSS-06-19

      ページ: 89-92

    • NAID

      10017586211

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of Angled Exposure Light for Three-Dimensional Lithography2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh
    • 雑誌名

      Proceedings of the 23rd Sensor Symposium

      ページ: 181-184

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] MEMS用アッシング装置の開発2009

    • 著者名/発表者名
      岩本拓也,佐々木実,熊谷慎也
    • 学会等名
      日本機械学会東海学生会、第40回学生員卒業研究発表講演会講演前刷集
    • 発表場所
      岐阜大学
    • 年月日
      2009-03-16
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] MEMS用アッシング装置の開発2009

    • 著者名/発表者名
      岩本拓也
    • 学会等名
      日本機械学会東海学生会、第40回学生員卒業研究発表講演会講演前刷集, 116, pp.29-30
    • 発表場所
      岐阜
    • 年月日
      2009-03-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography2009

    • 著者名/発表者名
      TAKAFUMI HOSONO, SHINYA KUMAGAI, MINORU SASAKI
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2009-03-09
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Hosono
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009) Poster, Mo-20, p.142
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側面への配線形成技術2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      中部地区ナノテク総合支援 : ナノ材料創製加工と先端機器分析、平成20年度成果報告会, T20, pp.37-38
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-05
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 「スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側面への配線形成技術」中部地区ナノテク総合支援 : ナノ材料創製加工と先端機器分析2009

    • 著者名/発表者名
      森井裕貴,大平文和,佐々木実
    • 学会等名
      平成20年度成果報告会T20
    • 発表場所
      名古屋
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Conductive pattern forming method on vertical wall using spray coating and angled exposure technologies2008

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Morii, Fumikazu Oohira, Minoru Sasaki, Toshihiko Ochi, Asumi Yuzuriha, Katsuhito Wani
    • 学会等名
      Proceedings of The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-10-23
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] A Monitoring Method for Spray Coated Resist Film2008

    • 著者名/発表者名
      Hisayoshi Tajima, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-10-23
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側壁への配線形成技術2008

    • 著者名/発表者名
      森井裕貴
    • 学会等名
      第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, A1-6, pp.29-32
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2008-10-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, P-1-10, pp.250-253
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2008-10-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies2008

    • 著者名/発表者名
      H. Morii, F. Oohira, M. Sasaki, T. Ochi, A. Yuzuriha
    • 学会等名
      Final Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies2008

    • 著者名/発表者名
      H. Morii
    • 学会等名
      Final Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Opt ical MEMS and Nanophotonics, P30, pp.156-157
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 3次元フォトリソグラフィと側面へのパターニング技術2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 大平文和
    • 学会等名
      平成19年度中部地区ナノテクノロジー・ネットワーク総合支援成果報告会
    • 発表場所
      岡崎
    • 年月日
      2008-03-19
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] レジストの Spray Coating とMEMS応用2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      Convertech JAPAN/新機能性材料展テクニカルフォーラム,ナノコーティングセッション予稿集
    • 発表場所
      東京国際展示場
    • 年月日
      2008-02-13
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] レジストのSpray CoatingとMEMS応用2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      コンバーティングテクノロジー総合展 テクニカルフォーラム
    • 発表場所
      東京国際展示場
    • 年月日
      2008-02-13
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2007

    • 著者名/発表者名
      Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga
    • 学会等名
      Proceedings of the 24th Sensor Symposium
    • 発表場所
      Funabori
    • 年月日
      2007-10-16
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2007

    • 著者名/発表者名
      H. Izumi, Y. Matsumoto, S. Aoyagi, Y. Harada, S. Shingubara, M. Sasaki, K. Hane, H. Tokunaga
    • 学会等名
      Proceedings of the 24th Sensor Symposium, pp.254-258
    • 発表場所
      船堀
    • 年月日
      2007-10-16
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Angled exposure method for patterning 3D samples with slant side surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedins of 2006 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kamakura
    • 年月日
      2006-10-27
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 基調講演「ナノ・マイクロ形状と加工技術の現状と動向」Electronic Journal2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第137回Technical Symposium,新・微細加工技術徹底検証
    • 発表場所
      品川,コクヨホール
    • 年月日
      2006-08-30
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of Angled Exposure Light for Three-Dimensional Lithography2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh, Minoru Sasaki and Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 23rd Sensor Symposium
    • 発表場所
      Takamatsu
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor Using Spray Coating Method2006

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Matsui, Seiji Aoyagi, Kenji Makihira, Hiroshi Tokunaga, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 23rd Sensor Symposium
    • 発表場所
      Takamatsu
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,陳俊中エドウィン,羽根一博
    • 学会等名
      MSS-06-19,電気学会研究会資料センサ・マイクロマシン準部門総合研究会
    • 発表場所
      東京大学
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] レジスト膜を利用した立体加工2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      テクノシステム
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 「MEMS/NEMS工学全集」3. 11. 2レジスト膜を利用した立体加工2009

    • 著者名/発表者名
      監修桑野博喜、分担佐々木実
    • 出版者
      (株)テクノシステム(2009. 4.22発刊)
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] MEMS用途フォトリソグラフィプロセス2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      技術情報協会
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(2)露光2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(1)成膜2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博,青柳誠司
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] 「微細転写・加工技術全集」第4章第3[3]節「MEMS用途フォトリソグラフィプロセス」2008

    • 著者名/発表者名
      分担佐々木実
    • 出版者
      (株)技術情報協会(第1版第1刷2008年8月29日)ISBN978-4-86104-248-5C3053
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] エレクトロニクス実装学会誌(講座ちょっとMEMS第9回), Vol.11, No.42008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(2)露光
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] エレクトロニクス実装学会誌(講座ちょっとMEMS第8回),Vol.11, No.32008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(1)成膜
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] 講座ちょっとMEMS 第6回 MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 総ページ数
      4
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌(Vol.11, No.1, Jan.2008)
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] レジスト塗布・露光技術2007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [図書] MEMSマテリアルの最新技術、第2章 第1節 レジスト塗布・露光技術2007

    • 著者名/発表者名
      監修:江刺正喜, 分担:佐々木実
    • 総ページ数
      10
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://ttiweb.toyota-ti.ac.jp/1432/pub_teacher_show.php?t=166

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考] 分析・評価装置→スプレーコーター

    • URL

      http://www.vic-int.co.jp/

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [備考] 平成20年度(財)中部科学技術センタープヒジェクト形成研究会F「3次元フォトリソグラフィ加工の高度化技術」オーガナイザーとして活動

    • URL

      http://ttiweb.toyota-ti.ac.Jp/1432/pub-teacher-show.php?t=166

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考] 分析・評価装置→スプレーコーター

    • URL

      http://www.vic-int.co.jp/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://ttiweb.toyota-ti.ac.jp/1432/pub_teacher_show.php

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 露光方法及び露光装置2006

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学, ウシオ電機株式会社
    • 出願年月日
      2006-10-04
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [産業財産権] 露光方法及び露光装置2006

    • 発明者名
      佐々木実他2名
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2006-273326
    • 出願年月日
      2006-10-04
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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