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チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化

研究課題

研究課題/領域番号 18740354
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 プラズマ科学
研究機関長崎大学

研究代表者

篠原 正典  長崎大学, 工学部, 助教 (80346931)

研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2007年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2006年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードプラズマ / 赤外分光 / アモルファス炭素膜 / プラズマ診断 / 成長機構 / 薄膜堆積 / 炭素薄膜
研究概要

我々の生活を安全・安心で快適なものにしていくことが人間の究極の課題である。21世紀はバイオ分子の力をいかに使いこなすかが勝負となる。それゆえ、バイオ分子の機能を最大限に引き出すために固体表面にバイオ分子を固定化することが重要であり、様々な方法が提案されてきた。研究代表者は以下の方法を提案している。無機と有機の中間の性質を持つアモルファス炭素炭素薄膜を密着性よく基板に堆積する。炭素膜堆積反応を制御して炭素膜表面はバイオ分子との反応性を高い表面層を形成し、バイオ分子の修飾をしやすくする法である。この方法は大量生産を踏まえた工業的にも最適であると考えられる。さらに、柔軟性のあるバイオ分子を柔軟性のある高分子フィルム上に、固定化できれば柔軟性を必要とする箇所に使うことができ、その応用範囲は一段と拡大する。しかし、高分子フィルムは融点が低いという問題点もあり、結局のところ、炭素膜堆積プロセスの確立が第一に必要である。そこで、本研究では、アモルファス炭素膜の堆積プロセスの確立および高分子フィルム・高分子チューブ内への膜堆積が可能なプロセスの確立を目指した。この研究の結果、プラズマで生成された化学種が吸着し膜となっていくアモルファス炭素膜の成膜機構の一端を明らかにすることができ、今後の研究に大きな道標を与えることができた。次に、管内にアモルファス炭素膜を堆積させ、その堆積過程を制御するために、その計測法として多重表面反射赤外分光法を提案し、管内の物質を赤外分光法で計測することに成功した。新たな計測方法を確立でき、今後の研究全般の進展に寄与できた。

報告書

(2件)
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 253

      ページ: 6242-6247

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Transaction of the Materials Research Society of Japan 32

      ページ: 473-476

    • NAID

      130007922828

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interaction of hydrogen plasma with hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (In press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Transaction of MRS-J (In press)

    • NAID

      130007922828

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of hydrogen plasma treatment on amorphous carbon films2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Proceedings of the 24t^<th> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 261-262

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Dependence of adsorption of hydrocarbon species generated in a methane plasma on substrate temperatures2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Proceedings of the 24^<th> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 397-398

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species2006

    • 著者名/発表者名
      H.Shibata
    • 雑誌名

      Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

      ページ: 188-188

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2006

    • 著者名/発表者名
      M.Shinohara
    • 雑誌名

      Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

      ページ: 189-189

    • NAID

      130007922828

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (In press)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 学会等名
      International Conference of Advanced Materials and Devices
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2007-12-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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