| 研究課題/領域番号 |
18740355
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 宮崎大学 |
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研究代表者 |
迫田 達也 宮崎大学, 工学部・電気電子工学科, 准教授 (90310028)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,580千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 180千円)
2008年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2007年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2006年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
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| キーワード | 高効率太陽光発電材料・素子 / 材料加工・処理 / マイクロ・ナノデバイス / 沿面放電 / 太陽電池 / 背後電極 / 電極溝 / エッチング / 誘電体バリア放電 |
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| 研究概要 |
本研究は、大気圧プラズマを用いた新しい太陽電池の高校率化プロセスの開発として、太陽電池用単結晶シリコン基板表面の低反射率化、及び太陽電池回路内の接触抵抗の向上を目的とした電極溝の作製を実施した。その結果、大気圧下で生成した誘電体バリア放電源による表面処理で、125mm角サイズでほぼ均一な低反射率化処理を実現した。また、沿面放電プラズマを用いた太陽電池表面の電極溝の作製に関する研究では、処理時間3sで溝幅100?m以下の微細な電極溝をマスクレスで作製可能できることを明らかにした。
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