| 研究課題/領域番号 |
18760050
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 山形大学 |
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研究代表者 |
田村 英樹 山形大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (90396581)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 270千円)
2008年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2007年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2006年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
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| キーワード | ジャイロセンサ / 圧電 / 3軸角速度 / 多軸ジャイロ / 水晶 / モノリシック振動子 / 超音波 / 振動デバイス |
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| 研究概要 |
組込用途などの小形で低コストな回転角速度センサの利用と要求が広がっており、振動型ジャイロセンサは最も有望なタイプであるが、通常は一つのデバイスで一つ無いし二つの回転軸しか検出出来ない。小形化アプローチとして一つのモノリシック振動デバイスにおいて三軸全ての回転角速度が検出されれば有用である。本研究ではフォトリソグラフィならびにエッチング加工で量産可能な水晶Z板より得られる単一振動子を用いて三軸ジャイロ実現の可能性を示した。
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