CARSによるダイヤモンド薄膜燃焼合成場の温度分布測定と合成機構の解明

• 研究課題/領域番号: 18760156
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 沼津工業高等専門学校
• 研究代表者: 新冨 雅仁 沼津工業高等専門学校, 機械工学科, 講師 (40290754)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 3,170千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 270千円); 2008年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2007年度: 900千円 (直接経費: 900千円); 2006年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
• キーワード: ダイヤモンド薄膜 / 燃焼炎法 / CARS / 先駆物質 / 燃焼合成 / 温度勾配 / 化学種濃度 / 窒素添加 / 等量比

研究概要

燃焼炎法によるダイヤモンド薄膜の合成において,合成場の温度分布測定をレーザを用いた燃焼診断装置を使用して行った結果,計算で求めた温度分布とは差異があることが分かった.基板表面温度によりダイヤモンド薄膜の結晶状態は変化することが分かり,化学種濃度計算の比較からは,ダイヤモンドの先駆物質となる化学種は単一のものではなく,基板表面温度によって変化する可能性を見出した.

研究成果

• [雑誌論文] Map of growth rate of diamond film synthesized by use of flame CVD (2009)
  • 著者名/発表者名: Masahito Shintomi
  • 雑誌名: Proceedings of the Combustion Institute 32 ページ: 1863-1870
  • 査読あり
• [雑誌論文] Map of growth rate of diamond film synthesized by use of flame CVD (2008)
  • 著者名/発表者名: Masahito Shintomi, Atsushi Makino, Nobuyuki Araki
  • 雑誌名: Proceedings of the Combustion Institute 32 ページ: 1863-1870
  • 査読あり
• [学会発表] Map of growth rate of diamond film synthesized by use of flame CVD (2008)
  • 著者名/発表者名: Masahito Shintomi
  • 学会等名: 32nd International Symposium on Combustion
  • 発表場所: モントリオール(カナダ)
  • 年月日: 2008-08-07
• [学会発表] ダイヤモンド薄膜の燃焼合成における窒素添加の影響 (2007)
  • 著者名/発表者名: 笹目健太,新冨雅仁,牧野敦,荒木信幸
  • 学会等名: 第45回燃焼シンポジウム
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2007-12-07
• [学会発表] ダイヤモンド薄膜の燃焼合成における窒素添加の影響 (2007)
  • 著者名/発表者名: 笹目健太
  • 学会等名: 第45回燃焼シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際センター
  • 年月日: 2007-12-07
• [学会発表] Map of growth rate of diamond film synthesized by use of flame CVD (2007)
  • 著者名/発表者名: Masahito Shintomi, Atsushi Makino, Nobuyuki Araki
  • 学会等名: 32nd International Symposium on Combustion
  • 発表場所: モントリオール
  • 年月日: 2007-08-07