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プローブ型データ記録装置への応用を目指す超高性能MEMS静電インチワームモータ

研究課題

研究課題/領域番号 18810010
研究種目

若手研究(スタートアップ)

配分区分補助金
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関東京大学

研究代表者

SARAJLIC Edin  東京大学, 生産技術研究所, 特定プロジェクト研究員 (50431820)

研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
2,780千円 (直接経費: 2,780千円)
2007年度: 1,390千円 (直接経費: 1,390千円)
2006年度: 1,390千円 (直接経費: 1,390千円)
キーワードマイクロマシン / マイクロアクチュエータ / 微小位置決め / データ記録装置 / シリコン / 尺取虫駆動 / マイクロマシニング / 垂直トレンチ分離
研究概要

このプロジェクトの目的は、データ記憶装置のための高性能な静電ステッピング・モータを開発することである。これらの装置には、「データ保存のための探針位置決め」と「ハードディスクドライブのトラッキング機構」も含まれる。
私たちはマイクロ静電機械を用いて12bitのデジタル、アナログ変換機(12-bit MEMDAC)を製作しテストした。[J1,C1]。そして直線[C4]もしくは回転[C5]運動をする、静電3相ステッピング・モータを試作した。これらのモータにより、データ保存容量と記憶装置の性能向上が期待できる。従来のモータと比較して、このマイクロモータには以下の利点がある。(1)Open-loopで操作が可能、(2)電圧のインプットノイズに影響されない、(3)出力変位が再現可能な点である。
マイクロモータを現実的に作製できるかどうかは、その微細加工が可能かどうかに強く依存している。そのために私たちは新しい作製手法を開発し、実行した[J2,J3,C2,C3,C4]。これらの開発した方法と、垂直溝による分離[C4]、HAREM [J3,C2]により、マイクロモータの駆動部と固定部の作動部品同士を、適切に絶縁ができるようになった。洗練されたこの電気的絶縁法は、全く新しい種類のマイクロシステムを可能にすると同時に、設計を容易にし、現存するモータの性能をさらに向上させることができる。

報告書

(2件)
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] HAREM: High Aspect Ratio Etching and Metallization for microsystems fabrication2008

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Christophe Yamahata, Mauricio Cordero, D. Collard, Hiroyuki Fujita
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Micoreng ineering (印刷中)掲載確定

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement2007

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
    • 雑誌名

      Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2(3)

      ページ: 357-364

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Towards wet anisotropic silicon etching of perfect pyramid al pits2007

    • 著者名/発表者名
      E. Sarajlic, C. Yamahata and H. Fujita
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 84(5-8)

      ページ: 1419-1422

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 12-Bit Microelectromechanical Digital-to-Analog Converter of Displacement2007

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita
    • 雑誌名

      20th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007) (Kobe, Japan)

      ページ: 679-682

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 2007 Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement2007

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita
    • 雑誌名

      Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2007 (IEEJ Trans 2007) 2

      ページ: 1-8

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] Electrostatic 3-phase rotary stepper motor for hard-disk drives2009

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, C. Yamahata and Hiroyuki Fujita
    • 学会等名
      22nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2009)
    • 発表場所
      Sorrento, Italy
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Towards wet anisotropic silicon etching of perfect pyramidal pits2008

    • 著者名/発表者名
      E. Sarajlic, C. Yamahata and H. Fujita
    • 学会等名
      32nd Int. Conf. on Micro-and Nano-Engineering(MNE 2008)
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Electrostatic 3-phase linear stepper motor fabricated by vertical trench isolation technology2008

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita
    • 学会等名
      19th Micro Mechanics Europe Workshop(MME 2008)
    • 発表場所
      Aachen, Germany
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] HAREM: High Aspect Ratio Etching and Metallization2008

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, C. Yamahata, Mauricio Cordero, Dominique Collard and Hiroyuki Fujita
    • 学会等名
      21th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Sysems (MEMS 2008)
    • 発表場所
      Tucson, USA
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 12-Bit Microelectromechanical Digital-to-Analog Converter of Displacement: Design, Fabrication and Characterization2007

    • 著者名/発表者名
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
    • 学会等名
      20th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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